申请/专利权人：唐山国芯晶源电子有限公司

申请日：2019-06-03

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN110203521B

主分类号：B65D25/02(20060101)

分类号：B65D25/02(20060101);B65D53/02(20060101);B65D25/38(20060101);B65D25/54(20060101);B65D81/20(20060101);B65D85/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权;2019.10.08#实质审查的生效;2019.09.06#公开

摘要：本发明涉及用于存放半导体晶片的周转盒。一种晶片周转盒，包括箱体、门架、气缸、弹簧缸筒、晶片盒安装架和输送机械手；箱体的后部设置有连接法兰板，连接法兰板与输送机械手固定连接；箱体前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座；两个铰接座之间设置有铰接杆；门架中下部与铰接杆的两端铰接；气缸固定端铰接在箱体的右侧外壁上，气缸的移动端与门板的下部右侧外壁铰接；弹簧缸筒的固定端铰接在箱体的左侧外壁上，弹簧缸筒的移动端与门板的下部左侧外壁铰接；打开状态下门板与箱体之间的夹角为90°；晶片盒安装架设置在门板内壁的中部。本发明的晶片周转盒的优点是密封性能好，晶片盒拿取方便以及晶片在移动和运输过程中稳定性好。

主权项：1.一种晶片周转盒，其特征在于，包括箱体（1）、门架（2）、气缸（3）、弹簧缸筒（4）、晶片盒安装架（5）和输送机械手；箱体（1）的前部设置有用于放入晶片盒的箱体开口（100）；所述的箱体（1）的后部设置有连接法兰板（101），所述的连接法兰板（101）与所述的输送机械手固定连接；箱体（1）前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座（102），所述的两个铰接座（102）上设置有铰接罩（1021）；两个铰接座（102）之间设置有铰接轴（103），且铰接轴（103）的两端分别穿过两个铰接座（102）；所述的门架（2）包括第一门架杆（201）、第二门架杆（202）和门架连接杆（203）；所述的第一门架杆（201）的中下部与铰接轴（103）的右端铰接；所述的第二门架杆（202）的中下部与铰接轴（103）的左端铰接；所述的门架连接杆（203）将第一门架杆（201）的下端和第二门架杆（202）的下端固定连接；第一门架杆（201）和第二门架杆（202）的内侧壁上设置有门板（21），所述的门板（21）与箱体（1）的前板相匹配，且闭合时门板（21）的底面与铰接罩（1021）的顶面相衔接；第一门架杆（201）和第二门架杆（202）的外侧壁上设置有门罩（22），所述的门罩（22）的长度大于箱体（1）的长度；门架（2）以铰接轴（103）为旋转轴进行旋转，打开状态下门架（2）与箱体（1）之间的夹角为90°；所述的气缸（3）的固定端铰接在箱体（1）的右侧外壁上，气缸（3）的移动端通过第一销轴铰接在第一门架杆（201）上，且位于门架连接杆（203）和门罩（22）之间；所述的弹簧缸筒（4）的固定端铰接在箱体（1）的左侧外壁上，弹簧缸筒（4）的移动端通过第二销轴铰接在与第二门架杆（202）上，且位于门架连接杆（203）和门罩（22）之间；门架（2）与箱体（1）通过气缸（3）和弹簧缸筒（4）实现开合，且打开时门架（2）的下部内侧面顶在箱体（1）的底面上；所述的晶片盒通过晶片盒安装架（5）设置在门板（21）内壁的中部。

全文数据：一种晶片周转盒技术领域本发明涉及用于存放半导体晶片的周转盒。背景技术在晶片在移动和运输过程中，大多是将晶片放置在晶片周转盒中，现有的晶片周转盒存在以下问题：一、晶片盒的密封性能不够强，容易使空气进入，对晶片表面的清洁度产生一定影响；二、晶片盒通过人工手动进行打开或关闭并且拿取不够方便，在打开或者关闭过程中容易造成晶片盒的晶片进行晃动，由于不稳定导致晶片的表面会受到磨损；三、在输送时不发对晶片进行检测，影响后续加工；四、在输送过程中无法观察晶片盒内的晶片，无法了解内部的状况。发明内容本发明的目的是为了解决现有晶片周转盒存在的晶片周转盒的密封性能差、晶片盒拿取不方便以及晶片在移动和运输过程中不稳定的问题，提供一种通过弹簧缸筒和气缸实现门板与箱体自动开合，方便拿取的同时确保密封型；通过晶片盒放置在晶片盒安装架上提升输送过程中的稳定性的晶片周转盒。为本发明之目的，采用以下技术方案予以实现：一种晶片周转盒，包括箱体、门架、气缸、弹簧缸筒、晶片盒安装架和输送机械手；箱体的前部设置有用于放入晶片盒的箱体开口；所述的箱体的后部设置有连接法兰板，所述的连接法兰板与所述的输送机械手固定连接；箱体前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座，所述的两个铰接座上设置有铰接罩；两个铰接座之间设置有铰接轴，且铰接轴的两端分别穿过两个铰接座；所述的门架包括第一门架杆、第二门架杆和门架连接杆；所述的第一门架杆的中下部与铰接轴的右端铰接；所述的第二门架杆的中下部与铰接轴的左端铰接；所述的门架连接杆将第一门架杆的下端和第二门架杆的下端固定连接；第一门架杆和第二门架杆的内侧壁上设置有门板，所述的门板与箱体的前板相匹配，且闭合时门板的底面与铰接罩的顶面相衔接；第一门架杆和第二门架杆的外侧壁上设置有门罩，所述的门罩的长度大于箱体的长度；门架以铰接轴为旋转轴进行旋转，打开状态下门架与箱体之间的夹角为90°；所述的气缸的固定端铰接在箱体的右侧外壁上，气缸的移动端通过第一销轴铰接在第一门架杆上，且位于门架连接杆和门罩之间；所述的弹簧缸筒的固定端铰接在箱体的左侧外壁上，弹簧缸筒的移动端通过第二销轴铰接在与第二门架杆上，且位于门架连接杆和门罩之间；门架与箱体通过气缸和弹簧缸筒实现开合，且打开时门架的下部内侧面顶在箱体的底面上；所述的晶片盒通过晶片盒安装架设置在门板内壁的中部。该装置增加密封性，提高输送稳定性，便于更有效的进行检测过渡。作为优选，所述的晶片盒安装架截面呈L形，晶片盒安装架的横板的左右两侧设置有晶片盒配合槽；晶片盒安装架的竖板中部设置有U型凹口。提高箱体内晶片盒的稳定性，防止晶片在箱体内晃动造成磨损。作为优选，所述的箱体开口上设置有密封圈。增加密封性。作为优选，所述的箱体的左壁内侧中部设置有多个检测反射镜，箱体内位于反射镜的对称位置设置有相对应的检测反射传感器。实现闭合检测。作为优选，所述的箱体的顶板上设置有观察窗压板，观察窗压板上设置有小玻璃和大玻璃；所述的小玻璃位于大玻璃的后方。便于更好的进行观察。作为优选，所述的箱体的顶板上还设置有多个第一通气接头，箱体的底板中部设置有第二通气接头。便于真空输送。作为优选，所述的箱体外壁上还设置有多个电缆接头。作为优选，所述的箱体的顶板内壁后侧和底板内壁后侧分别设置光电开关；所述的光电开关与U型凹口相配合。便于进行电控制。与现有技术相比较，本发明的有益效果是：通过晶片盒底部的限位横板设置在晶片盒配合槽上，提高晶片盒输送的稳定性；通过气缸和弹簧缸筒使门板与箱体紧密贴合，通过密封圈防止空气进入，提升晶片的质量，同时呈90°打开便于工作人员拿取；通过反射镜与反射镜传感器相配合实现门板闭合检测，提升密封性；通过小玻璃和大玻璃便于员工对箱体内的晶片进行观察，进而更好的关注内部的晶片的情况；通过第一通气接头和第二通气接头上连接气管，便于对箱体内部进行抽空，防止灰尘粘到晶片的表面导致对晶片表面的清洁度产生影响；通过输送机械手代替人工搬运，提升搬运过程中的稳定性，减少移动和运输过程中晶片的磨损。即本发明的晶片周转盒的优点是密封性能好，晶片盒拿取方便以及晶片在移动和运输过程中稳定性好。附图说明图1为本发明的结构示意图。图2为晶片盒的结构示意图。图3为本发明的爆炸图。图4为门架的爆炸图。附图中的标记为：晶片盒a、箱体1、箱体开口100、连接法兰板101、铰接座102、铰接罩1021、铰接杆103、密封圈104、门架2、第一门架杆201、第二门架杆202、门架连接杆203、门板21、门罩22、气缸3、弹簧缸筒4、晶片盒安装架5、晶片盒配合槽501、U型凹口502、观察窗压板6、小玻璃61、大玻璃62、电缆接头7、第一通气接头8、第二通气接头81、检测反射镜9、检测反射传感器91、光电开关10。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明、简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造、操作，因此不能理解为对本发明的限制。如图1至图4所示，一种晶片周转盒，包括箱体1、门架2、气缸3、弹簧缸筒4、晶片盒安装架5和输送机械手；箱体1的前部设置有用于放入晶片盒的箱体开口100，箱体开口100上设置有密封圈104，通过密封圈104进一步确保闭合时的密封性能，防止空气进入。箱体1的顶部设置有连接法兰板101，连接法兰板与输送机械手固定连接，通过输送机械手代替人工手动搬运，提升搬运过程中的稳定性，减少搬运过程中晶片的磨损。箱体1前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座102，两个铰接座102上设置有铰接罩1021，通过铰接罩1021减小箱体1与门架2之间的空隙，提升密封性。两个铰接座102之间设置有铰接杆103，且铰接杆103的两端分别穿过两个铰接座102；门架2包括第一门架杆201、第二门架杆202和门架连接杆203；第一门架杆201的中下部与铰接轴103的右端铰接；第二门架杆202的中下部与铰接轴103的左端铰接；门架连接杆203将第一门架杆201的下端和第二门架杆202的下端固定连接；第一门架杆201和第二门架杆202的内侧壁上设置有门板21，门板21与箱体1的前板相匹配，且闭合时门板21的底面与铰接罩1021的顶面相衔接；第一门架杆201和第二门架杆202的外侧壁上设置有门罩22，门罩22的长度大于箱体1的长度。通过门架2以铰接轴103为旋转轴进行旋转，门架2与箱体1铰接配合并且形成90°转动打开，方便拿取，同时闭合时门板21的底面与铰接罩1021的顶面相衔接，提升密封性；打开时门板呈水平状，便于晶片盒的拿取输送，并且门架2的下部内侧面顶在箱体1的底面上，提升晶片盒的支撑强度。气缸3的固定端铰接在箱体1的右侧外壁上，气缸3的移动端通过第一销轴铰接在第一门架杆201上，且位于门架连接杆203和门罩22之间，通过气缸3进一步便于控制门架2和箱体1之间的开合，减轻人工开合的劳动强度，提升开合效率。弹簧缸筒4的固定端铰接在箱体1的左侧外壁上，弹簧缸筒4的移动端通过第二销轴铰接在与第二门架杆202上，且位于门架连接杆203和门罩22之间，通过弹簧缸筒4进一步加强门架2与箱体1之间的密封间隙，防止空气进入，确保晶片表面的清洁度，提升晶片的质量。晶片盒a通过晶片盒安装架5设置在门板21的内壁中部，晶片盒a上设置有多个晶片槽，晶片竖直排列放置在每个晶片槽内，晶片盒a的底部设置有两块条状的限位横板；晶片盒安装架5截面呈L形，晶片盒安装架5的横板的左右两侧设置有晶片盒配合槽501，晶片盒a底部的限位横板设置在晶片盒配合槽501上，便于在输送过程中确保晶片盒a的稳定性，防止晶片盒a晃动，从而确保晶片的质量，使晶片减少磨损。晶片盒安装架5的竖板中部设置有U型凹口502。门架2与箱体1通过气缸3和弹簧缸筒4移动实现开合，从而使门板21上的晶片盒安装架5中的晶片盒进入到箱体空腔内。箱体1的左壁内侧中部设置有多个反射镜9，箱体1内位于反射镜9的对称位置设置有相对应的反射镜传感器91，通过反射镜9与反射镜传感器91相配合门架2与箱体1闭合情况的检测，提高门架2的闭合效果，提升密封性。如图3所示，箱体1的顶板上设置有观察窗压板6，观察窗压板6上设置有小玻璃61和大玻璃62；小玻璃61位于大玻璃62的后方，通过小玻璃61和大玻璃62便于员工对箱体1内的晶片进行观察，进而更好的保证晶片的质量。箱体1外壁上还设置有多个电缆接头7，通过电缆接头7便于更好的进行电缆连接，进而更好的实现电控制。箱体1的顶板上还设置有多个第一通气接头8，箱体1的底板中部设置有第二通气接头81，通过第一通气接头8和第二通气接头81上连接气管，便于对箱体1内部进行抽空，使箱体1内保持真空状态，防止灰尘粘到晶片的表面，对晶片表面的清洁度产生影响。箱体1的的顶板内壁后侧和底板内壁后侧分别设置光电开关10，通过光电开关10便于更好的进行电控制，便于操作。光电开关10与U型凹口502相配合，节省占用空间。工作时，工作人员只需轻松的将晶片盒a底部的限位横板插入至晶片盒配合槽501上，使晶片盒a的后壁倚靠在晶片盒安装架5的竖板上，通过气缸3和弹簧缸筒4共同作用将门架2逆时针旋转，最终使门架2与箱体1的底部贴合，实现箱体1密封关闭，同时通过反射镜9与反射镜传感器91相配合进行闭合情况检测确保完全闭合，通过第一通气接头8和第二通气接头81对箱体内进行抽气处理；通过输送机械手将晶片盒输送至下一道加工处，到达下一道加工处时，门架2顺时针旋转，使门架2与箱体1之间的夹角为90°，且门架2的下部内侧面顶在箱体1的底面上，工作人员将晶片盒a取出。综上所述，该装置通过晶片盒a底部的限位横板设置在晶片盒配合槽501上，提高晶片盒a输送的稳定性；通过气缸3和弹簧缸筒4使门架2与箱体1紧密贴合，防止空气进入，提升晶片的质量，同时呈90°旋转打开便于工作人员或机械手拿取；通过反射镜9与反射镜传感器91相配合实现门板闭合检测，提升密封性通过小玻璃61和大玻璃62便于员工对箱体1内的晶片进行观察，进而更好的确保晶片的质量；通过第一通气接头8和第二通气接头81上连接气管，便于对箱体1内部进行抽空，防止灰尘粘到晶片的表面导致对晶片表面的清洁度产生影响；通过输送机械手代替人工搬运，提升搬运过程中的稳定性，减少搬运过程中晶片的磨损。以上为对本发明实施例的描述，通过对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的。本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施列，而是要符合与本文所公开的原理、新颖点相一致的最宽的范围。

权利要求：1.一种晶片周转盒，其特征在于，包括箱体（1）、门架（2）、气缸（3）、弹簧缸筒（4）、晶片盒安装架（5）和输送机械手；箱体（1）的前部设置有用于放入晶片盒的箱体开口（100）；所述的箱体（1）的后部设置有连接法兰板（101），所述的连接法兰板（101）与所述的输送机械手固定连接；箱体（1）前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座（102），所述的两个铰接座（102）上设置有铰接罩（1021）；两个铰接座（102）之间设置有铰接轴（103），且铰接轴（103）的两端分别穿过两个铰接座（102）；所述的门架（2）包括第一门架杆（201）、第二门架杆（202）和门架连接杆（203）；所述的第一门架杆（201）的中下部与铰接轴（103）的右端铰接；所述的第二门架杆（202）的中下部与铰接轴（103）的左端铰接；所述的门架连接杆（203）将第一门架杆（201）的下端和第二门架杆（202）的下端固定连接；第一门架杆（201）和第二门架杆（202）的内侧壁上设置有门板（21），所述的门板（21）与箱体（1）的前板相匹配，且闭合时门板（21）的底面与铰接罩（1021）的顶面相衔接；第一门架杆（201）和第二门架杆（202）的外侧壁上设置有门罩（22），所述的门罩（22）的长度大于箱体（1）的长度；门架（2）以铰接轴（103）为旋转轴进行旋转，打开状态下门架（2）与箱体（1）之间的夹角为90°；所述的气缸（3）的固定端铰接在箱体（1）的右侧外壁上，气缸（3）的移动端通过第一销轴铰接在第一门架杆（201）上，且位于门架连接杆（203）和门罩（22）之间；所述的弹簧缸筒（4）的固定端铰接在箱体（1）的左侧外壁上，弹簧缸筒（4）的移动端通过第二销轴铰接在与第二门架杆（202）上，且位于门架连接杆（203）和门罩（22）之间；门架（2）与箱体（1）通过气缸（3）和弹簧缸筒（4）实现开合，且打开时门架（2）的下部内侧面顶在箱体（1）的底面上；所述的晶片盒通过晶片盒安装架（5）设置在门板（21）内壁的中部。2.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的晶片盒安装架（5）截面呈L形，晶片盒安装架（5）的横板的左右两侧设置有晶片盒配合槽（501）；晶片盒安装架（5）的竖板中部设置有U型凹口（502）。3.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体开口（100）上设置有密封圈（104）。4.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体（1）的左壁内侧中部设置有多个检测反射镜（9），箱体（1）内位于反射镜（9）的对称位置设置有相对应的检测反射传感器（91）。5.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体（1）的顶板上设置有观察窗压板（6），观察窗压板（6）上设置有小玻璃（61）和大玻璃（62）；所述的小玻璃（61）位于大玻璃（62）的后方。6.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体（1）的顶板上还设置有多个第一通气接头（8），箱体（1）的底板中部设置有第二通气接头（81）。7.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体（1）外壁上还设置有多个电缆接头（7）。8.根据权利要求1所述的一种晶片周转盒，其特征在于，所述的箱体（1）的顶板内壁后侧和底板内壁后侧分别设置光电开关（10）；所述的光电开关（10）与U型凹口（502）相配合。

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