申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2019-03-05

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111665882A

主分类号：G05D23/22(20060101)

分类号：G05D23/22(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.04.22#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明提供一种温度控制方法及系统、半导体设备，该温度控制方法用于控制腔室的温度变化，方法包括：建立模型的步骤：控制腔室加热装置以向所述腔室输出不同测试功率值，获取与各个所述测试功率值所对应的所述腔室的实际温度值，根据所述实际温度值与所述测试功率值之间的关系建立模型，所述模型用于表示腔室温度与加热功率之间的关系；基于所述模型计算得到全局参数表，所述全局参数表用于表示腔室温度值与加热功率值的对应关系；根据所述全局参数表控制腔室加热装置输出的加热功率值，以控制腔室的温度变化。通过本发明，灵活、准确地控制了腔室温度。

主权项：1.一种温度控制方法，用于控制腔室的温度变化，其特征在于，所述方法包括：建立模型的步骤：控制腔室加热装置以向所述腔室输出不同测试功率值，获取与各个所述测试功率值所对应的所述腔室的实际温度值，根据所述实际温度值与所述测试功率值之间的关系建立模型，所述模型用于表示腔室温度与加热功率之间的关系；基于所述模型计算得到全局参数表，所述全局参数表用于表示腔室温度值与加热功率值的对应关系；根据所述全局参数表控制所述腔室加热装置输出的加热功率值，以控制所述腔室的温度变化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 温度控制方法及系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD