申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-01-15

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111670335A

主分类号：G01B9/02(20060101)

分类号：G01B9/02(20060101);G03F7/20(20060101);G01J9/02(20060101)

优先权：["20180131 EP 18154460.2","20180927 EP 18197177.1"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.02.19#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明提供一种包括波长追踪单元和干涉仪系统的波长追踪系统。波长追踪单元具有位于固定位置处的反射表面且提供具有第一路径长度的第一反射路径和具有第二路径长度的第二反射路径。第一路径长度实质上大于第二路径长度。干涉仪系统包括：分束器，用以将光束拆分成第一测量束和第二测量束；至少一个光学元件，用以至少部分地沿第一反射路径第一测量束、和至少部分地沿第二反射路径引导第二测量束；第一光传感器，布置在第一反射路径的端部处，以接收第一测量束并基于第一测量束来提供第一传感器信号；第二光传感器，布置在第二反射路径的端部处，以接收第二测量束并基于第二测量束来提供第二传感器信号；及处理单元，用以基于第一传感器信号和第二传感器信号来确定波长或波长的改变。

主权项：1.一种波长追踪系统，包括：波长追踪单元，所述波长追踪单元具有处于固定位置的反射表面，所述波长追踪单元提供具备第一路径长度的第一反射路径和具备第二路径长度的第二反射路径，其中所述第一路径长度实质上比所述第二路径长度更长，和干涉仪系统，其中所述干涉仪系统包括：分束器，所述分束器用以将光束拆分成第一测量束和第二测量束，至少一个光学元件，所述至少一个光学元件用以至少部分地沿所述第一反射路径引导所述第一测量束、以及至少部分地沿所述第二反射路径引导所述第二测量束，第一光传感器，所述第一光传感器被布置在所述第一反射路径的端部处，以接收所述第一测量束并且基于所述第一测量束来提供第一传感器信号，第二光传感器，所述第二光传感器被布置在所述第二反射路径的端部处，以接收所述第二测量束并且基于所述第二测量束来提供第二传感器信号，以及处理单元，所述处理单元用以基于所述第一传感器信号和所述第二传感器信号来确定波长或波长的改变。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 波长追踪系统、校准波长追踪系统的方法、光刻设备、确定可运动对象的绝对位置的方法、以及干涉仪系统

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