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【发明公布】工件的切断方法及线锯_信越半导体株式会社_201880086941.8 

申请/专利权人:信越半导体株式会社

申请日:2018-12-11

公开(公告)日:2020-09-15

公开(公告)号:CN111670088A

主分类号:B24B27/06(20060101)

分类号:B24B27/06(20060101);B28D5/04(20060101);B28D7/04(20060101);H01L21/304(20060101)

优先权:["20180125 JP 2018-010478"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.03.01#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要:本发明涉及一种工件的切断方法,其通过线锯1进行,通过将固定磨粒金属线2卷绕至多个带沟滚轮3、3’而形成金属线列12,并通过一边使所述固定磨粒金属线2在轴向上往复移动,一边将工件W向所述金属线列12切入进给,从而将所述工件W在轴向排列的多个位置同时切断,其中,所述工件W经由贴附于该工件W的接合部件而通过工件保持机构15进行保持,其特征在于,在所述工件W的切断结束后,且在从所述金属线列12拉出所述工件W前,将另外设置于所述工件W与所述工件保持机构15之间的金属制的金属线磨损部件21向所述金属线列12切入进给,从而使所述固定磨粒金属线2磨损。由此,提供一种工件的切断方法及线锯1,其在从金属线列12拉出切断后的工件W时,不会发生金属线卡住于工件W而产生锯痕或发生金属线断线的情况。

主权项:1.一种工件的切断方法,其通过线锯进行,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列,并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边将工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其中,所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持机构进行保持,其特征在于,在所述工件的切断结束后,且在从所述金属线列拉出所述工件前,将另外设置于所述工件与所述工件保持机构之间的金属制的金属线磨损部件向所述金属线列切入进给,从而使所述固定磨粒金属线磨损。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 信越半导体株式会社 工件的切断方法及线锯

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