【发明授权】抛光液输送装置_清华大学;华海清科股份有限公司_201810215679.4 

申请/专利权人:清华大学;华海清科股份有限公司

申请日:2018-03-15

发明/设计人:许振杰;赵德文;沈攀;王同庆;路新春

公开(公告)日:2020-09-15

代理机构:

公开(公告)号:CN108326748B

代理人:

主分类号:B24B57/02(20060101)

地址:100084 北京市海淀区清华园

分类号:B24B57/02(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.09.15#授权;2020.06.26#著录事项变更;2018.08.21#实质审查的生效;2018.07.27#公开

摘要:本发明公开了一种抛光液输送装置,抛光液输送装置包括:基座、转轴、悬臂和定位件,基座上设有基座孔;转轴设在基座孔内,转轴上设有定位槽;悬臂相对于转轴可转动地设在转轴上,其中悬臂上设有定位孔;定位件至少具有锁止和解锁两个位置,当定位件位于锁止位置时,定位件穿过定位孔和定位槽以对悬臂进行定位锁止,当定位件位于解锁位置时,定位件远离定位槽以对悬臂进行解锁。由此,通过基座、转轴、悬臂和定位件配合,能够方便地使悬臂恢复至原点位置,可以很容易地调整抛光液落点,并且,也能够准确检测出悬臂是否在原点,可以防止误操作造成事故,从而可以提升用户满意度。

主权项:1.一种抛光液输送装置,其特征在于,包括:基座,所述基座上设有基座孔;转轴,所述转轴设在所述基座孔内,且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动,所述转轴上设有定位槽;悬臂,所述悬臂相对于所述转轴可转动地设在所述转轴上,其中所述悬臂上设有定位孔;定位件,所述定位件至少具有锁止和解锁两个位置,当所述定位件位于所述锁止位置时,所述定位件穿过所述定位孔和所述定位槽以对所述悬臂进行定位锁止,当所述定位件位于所述解锁位置时,所述定位件远离所述定位槽以对所述悬臂进行解锁;还包括锁定件,所述转轴相对于所述基座可转动,所述基座的外壁上设有连通所述基座孔的锁定孔,所述锁定件可移动地设在所述锁定孔内以对所述转轴进行锁定和释放,当所述锁定件对所述转轴进行锁定时,所述锁定件止抵在所述转轴的外壁上。

全文数据:抛光液输送装置技术领域[0001]本发明涉及晶圆加工设备技术领域,尤其是涉及一种抛光液输送装置。背景技术[0002]大规模集成电路生产过程中,晶圆需要经过多道工序最终形成产品。化学机械抛光是其中的一道关键工序。在化学机械抛光工艺中,抛光液在抛光盘的落点是影响抛光质量的重要因素。[0003]相关技术中,当抛光液在抛光盘的落点确定,并且中途对悬臂位置进行调整后,例如修理悬臂时将悬臂转动,后需要再次将悬臂旋转到初始位置时,g卩原点位置,由于现有的装置结构不具有定位结构,因此目前使用的抛光液输送装置存在以下问题:1、调整抛光液落点以及悬臂原点位置操作复杂;2、悬臂原点位置无记录,g卩使原点位置改变不能轻易观察,往往在抛光质量出现问题后再去查找调整原点位置;3、悬臂是否在原点无检测,机台维护时,如果临时移动抛光液输送装置的悬臂而未恢复到原点,系统会出现事故。发明内容[0004]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种抛光液输送装置,该抛光液输送装置可以很容易地调整到抛光液落点。[0005]根据本发明的抛光液输送装置包括:基座、转轴、悬臂和定位件,所述基座上设有基座孔;所述转轴设在所述基座孔内,所述转轴上设有定位槽;所述悬臂相对于所述转轴可转动地设在所述转轴上,其中所述悬臂上设有定位孔;所述定位件至少具有锁止和解锁两个位置,当所述定位件位于所述锁止位置时,所述定位件穿过所述定位孔和所述定位槽以对所述悬臂进行定位锁止,当所述定位件位于所述解锁位置时,所述定位件远离所述定位槽以对所述悬臂进行解锁。[0006]根据本发明的抛光液输送装置,通过基座、转轴、悬臂和定位件配合,能够方便地使悬臂恢复至原点位置,可以很容易地调整抛光液落点,并且,也能够准确检测出悬臂是否在原点,可以防止误操作造成事故,从而可以提升用户满意度。[0007]进一步地,所述的抛光液输送装置还包括锁定件,所述转轴相对于所述基座可转动,所述基座的外壁上设有连通所述基座孔的锁定孔,所述锁定件可移动地设在所述锁定孔内以对所述转轴进行锁定和释放当所述锁定件对所述转轴进行锁定时,所述锁定件止抵在所述转轴的外壁上。[0008]可选地,所述的抛光液输送装置还包括用于检测所述定位件是否位于所述锁止位置的检测件。[0009]进一步地,所述定位槽设在所述转轴的上端面上,所述定位槽的下端设有安装孔,所述检测件设在所述安装孔内。[0010]具体地,所述的抛光液输送装置还包括套筒,所述套筒可转动地设在所述转轴的外部,所述套筒的上端与所述悬臂相连且与所述悬臂相对静止。[0011]可选地,所述套筒的下端设有挡板,所述挡板上设有第一标记,所述挡板套设在所述基座的上部外侧,其中所述基座的上部设有可与所述第一标记配合使用的第二标记。[0012]具体地,所述的抛光液输送装置还包括:复位弹簧,所述复位弹簧被构成可驱动所述定位件从所述解锁位置移动到所述锁止位置。[0013]可选地,所述定位件包括:把手部和定位部,所述定位部设在所述把手部的一端且与所述把手部构成L形,所述定位部可上下移动地设在所述定位孔内。[0014]进一步地,所述悬臂包括:本体、喷嘴座和罩壳,所述本体包括彼此相连的固定部和悬挂部;所述喷嘴座设在所述悬挂部的底部;所述罩壳设在所述本体的上方,其中所述把手部从所述罩壳伸出。[0015]具体地,所述的抛光液输送装置还包括:水管和抛光液管,所述水管依次穿过所述基座、所述转轴和所述固定部后与所述喷嘴座相连;所述抛光液管依次穿过所述基座、所述转轴和所述固定部后,向下穿过所述喷嘴座。附图说明[0016]图1是根据本发明实施例的抛光液输送装置的剖视图;[0017]图2是根据本发明实施例的抛光液输送装置的基座的剖面图;[0018]图3是根据本发明实施例的抛光液输送装置的转轴的示意图;[0019]图4是根据本发明实施例的抛光液输送装置的套筒的剖面图;[0020]图5是根据本发明实施例的抛光液输送装置的悬臂的示意图;[0021]图6是根据本发明实施例的抛光液输送装置的喷嘴座的示意图。[0022]附图标记:[0023]抛光液输送装置10;[0024]基座1;基座孔11;支撑台阶12;锁定孔13;第二标记14;挡边15;[0025]转轴2;定位槽21;安装孔22;中心通孔23;旋转面24;下槽口25;连接部26;[0026]悬臂3;定位孔31;本体32;固定部33;[0027]悬挂部34;避位孔341;[0028]喷嘴座35;通水孔351;喷嘴安装孔352;管道固定孔353;[0029]罩壳36;[0030]定位件4;把手部41;定位部42;[0031]锁定件5;检测件6;[0032]套筒7;挡板71;第一标记72;[0033]轴承8;水管9;抛光液管101。具体实施方式[0034]下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。[0035]在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针,,、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。[0036]在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。[0037]下面参考图1-图6描述根据本发明实施例的抛光液输送装置10。[0038]如图1-图5所示,根据本发明实施例的抛光液输送装置1〇包括:基座1、转轴2、悬臂3和定位件4,基座1上设有基座孔11,转轴2设在基座孔11内,转轴2上设有定位槽21,悬臂3相对于转轴2可转动地设在转轴2上,其中悬臂3上设有定位孔31。[0039]定位件4至少具有锁止和解锁两个位置,当定位件4位于锁止位置时,定位件4穿过定位孔31和定位槽21,这样设置可以对悬臂3进行定位锁止,此时悬臂3相对转轴2不可转动,当定位件4位于解锁位置时,定位件4远离定位槽21,如此设置可以对悬臂3进行解锁,此时悬臂3相对转轴2可转动。[0040]其中在正常使用时,定位槽21的位置可以确定悬臂3的位置,也就是说,当调节定位槽21的位置并且使悬臂3的位置处于预定的位置时,此时可以随意旋转悬臂3,此时若需要悬臂3再次恢复到上述的预定位置时,可以旋转悬臂3使定位孔31与定位槽21位置对应,再将定位件依次插入到定位孔31和定位槽21内,此时悬臂3可以很容易地回复到预定位置,即原点位置。[0041]例如,当抛光液在抛光盘的落点确定,并且中途对悬臂3位置进行调整后,例如修理悬臂3时将悬臂3转动,后需要再次将悬臂3旋转到初始位置时,即原点位置,此时将定位件4调节到解锁位置,然后转动悬臂3,并且对悬臂3进行修理,当修理完毕后,再次转动悬臂3调整到使定位孔31与定位槽21位置对应,再将定位件依次插入到定位孔31和定位槽21内,并且将定位件4穿过定位孔31和定位槽21,此时定位件4位于锁止位置,如此设置可以很方便地完成对悬臂3再次定位,也可以方便地使悬臂3的恢复到原点位置,从而可以使调整工作更加简单,进而可以提升用户满意度。[0042]需要说明的是,当定位件4穿过悬臂3的定位孔31,并且定位件4没有穿过转轴2的定位槽21时,悬臂3相对转轴2可自由转动,此时悬臂3位置可调,当定位件4同时穿过悬臂3的定位孔31和转轴2的定位槽21时,悬臂3相对转轴2不可转动,此时悬臂3处于原点位置,这样的设置还能够准确检测出悬臂3是否在原点,可以防止误操作造成事故。[0043]由此,通过基座1、转轴2、悬臂3和定位件4配合,能够方便地使悬臂3恢复至原点位置,可以很容易地调整抛光液落点,并且,也能够准确检测出悬臂3是否在原点,可以防止误操作造成事故,从而可以提升用户满意度。[0044]可选地,抛光液输送装置10还可以包括用于检测定位件4是否位于锁止位置的检测件6,其中,由于定位件4位于锁止位置时,定位件4位于定位槽21内,因此,将检测件6设在定位槽21的下方,如此设置能够使检测件6更好地检测出定位件4是否位于锁止位置,当检测件6检测到定位件4位于锁止位置时,检测件6会发出悬臂3在位信号,此时悬臂3处于原点位置,这样就可以准确地判断出悬臂3是否在原点。[0045]进一步地,如图3所示,定位槽21设在转轴2的上端面上,定位槽21的下端设有安装孔22,检测件6设在安装孔22内,如此设置能够保证检测件6与定位件4相对应,检测件6可以更加准确地检测出定位件4是否在定位槽21内,从而可以提升检测件6的工作性能,并且,安装孔22能够对检测件6起到保护作用,可以防止检测件6与外界环境接触受到损坏,从而可以延长检测件6的使用寿命。[0046]另外,转轴2还可以具有下槽口25,定位槽21设置在转轴2的上端面,定位槽21和下槽口25贯穿转轴2的外圆柱面和中心通孔23,定位槽21和下槽口25之间的连接部26设置有安装孔22,检测件6安装在安装孔22内,其中,下槽口25能够为检测件6的走线提供充足的空间,可以提升空间利用率。可选地,检测件6可以是位置传感器。[0047]可选地,如图1和图2所示,基座1内设有支撑台阶12,支撑台阶12具有支撑功能,支撑台阶12围绕基座孔11的中心设置,其中,基座1可以是具有下端面和上端面的圆柱形,上端面上可以具有挡边15,基座孔11贯穿下端面和上端面,挡边15和基座孔11同轴心,当转轴2支撑在支撑台阶12上时,支撑台阶12能够对转轴2起到支撑作用,可以使转轴2很好地装配在基座孔11内,从而可以保证转轴2的工作可靠性。[0048]进一步地,如图1和图2所示,抛光液输送装置10还可以包括锁定件5,转轴2相对于基座1可转动,基座1的外壁上设有连通基座孔11的锁定孔13,锁定件5可移动地设在锁定孔13内,如此设置可以对转轴2进行锁定和释放,其中,当锁定件5位于锁定孔13内时,将锁定件5向基座1的外侧移动,这样可以对转轴2进行释放,转轴2可以携带悬臂3相对基座1旋转,然后根据抛光液落点就可以调节悬臂3的原点位置,另外,将锁定件5向基座1的内侧移动,这样可以对转轴2进行锁定,转轴2携带悬臂3相对基座1不可旋转,此时原点位置就可以固定在当前位置。[0049]需要说明的是,当旋转转轴2时,定位槽21的位置改变,由此可以调整悬臂3的原点位置,也就是说,当定位槽21的位置改变时,定位件4对悬臂3的锁定位置也发生了改变,也就是说,通过调整定位槽21的位置,可以调整抛光液的落点位置,即可以调整悬臂3的原点位置。使用方便。[0050]具体地,当锁定件5对转轴2进行锁定时,锁定件5止抵在转轴2的外壁上,其中,当锁定件5止抵在转轴2的外壁上时,锁定件5与转轴2之间会产生摩擦力,通过摩擦力的作用可以对转轴2进行限位,从而可以实现对转轴2进行锁定的工作目的。[0051]另外,转轴2的外壁上可以设置定位孔(图未示出),锁定件5可以伸入到定位孔内,通过定位孔与锁定件5的配合,锁定件5能够对转轴2进行更好地限位,可以提升抛光液输送装置10的工作性能。[0052]具体地,如图1和图4所示,抛光液输送装置10还可以包括套筒7,套筒7可转动地设在转轴2的外部,需要说明的是,转轴2与套筒7可相对旋转,套筒7的上端与悬臂3相连,而且套筒7与悬臂3相对静止,当需要调整悬臂3的位置时,可以使套筒7绕着转轴2转动,由此可以带动悬臂3同时转动,从而可以对悬臂3的位置进行调整,如此设置可以使进一步简化调整步骤,从而可以使操作更加简单、方便。[0053]进一步地,如图1所示,套筒7和转轴2之间设有轴承8,轴承8设在套筒7的上部和或下部,需要解释的是,轴承8可以设在套筒7的上部,轴承8也可以设在套筒7的下部,轴承8还可以同时设在套筒7的上部和下部,其中,套筒7通过轴承8安装于转轴2上,转轴2可以具有中心通孔23,转轴2也可以具有上端面和下端面,而且,转轴2的外部轮廓可以为圆柱形,转轴2的外圆柱面靠近转轴2的下端面部分为旋转面24,转轴2的旋转面24以外的外圆柱面两端为轴承8安装位,轴承8安装在轴承8安装位处,如此设置能够提升套筒7与转轴2的装配质量,可以更好地实现套筒7与转轴2之间的相对转动,从而可以进一步方便调整悬臂3的位置。[0054]可选地,如图1和如图4所示,套筒7的下端设有挡板71,挡板71套设在基座1的上部外侧,其中,挡板71套在基座1的上端面的挡边15外侧,这样设置能够使套筒7和基座1很好地装配在一起,可以提升套筒7与基座1的连接处更加严密,从而可以实现套筒7与基座1的连接处的密封的工作目的。[0055]另外,挡板71的外表面上设有第一标记72,基座1的上部设有可与第一标记72配合使用的第二标记14,其中,基座1的外表面靠近上端面的部分设置有多条第二标记14,其中,通过第一标记72与第二标记14进行配合,能够标记出调整后悬臂3的原点位置,可以使用户清楚地观察出悬臂3的原点是否改变,从而可以提升抛光质量,并且,当对机台进行维修后,如果在维修过程中临时移动了悬臂3的位置,如此设置可以将悬臂3准确地移回到原点,从而可以进一步防止抛光液输送装置10在工作过程中出现事故。[0056]具体地,抛光液输送装置10还可以包括:复位弹簧,复位弹簧被构成可驱动定位件4从解锁位置移动到锁止位置,需要说明的是,当定位件4处在解锁位置时,复位弹簧具有弹力,在弹力的作用下,复位弹簧能够驱动定位件4从解锁位置移动到锁止位置,从而可以保证悬臂3能够恢复到原点位置。[0057]可选地,如图1所示,定位件4可以包括:把手部41和定位部42,定位部42设在把手部41的一端,而且定位部42与把手部41构成L形,定位部42可上下移动地设在定位孔31内,当需要调整悬臂3的原点位置时,操作人员用手握住把手部41使定位件4向上移动,然后定位部42就会从定位槽21内移出,然后转动悬臂3就可以实现调整悬臂3原点位置的工作目的。[0058]进一步地,如图1、图5和图6所示,悬臂3可以包括:本体32、喷嘴座35和罩壳36,本体32可以包括彼此相连的固定部33和悬挂部34,本体32的固定部33的形状与套筒7的上端面的形状适配,固定部33具有定位孔31,悬挂部34可以设置有避位孔341,如此设置可以使本体32与套筒7很好地装配在一起。[0059]喷嘴座35设在悬挂部34的底部,需要说明的是,喷嘴座35固定于悬挂部34的下表面,喷嘴座35具有上表面和下表面,喷嘴座35的上表面具有通水孔351,喷嘴座35的下表面具有一组喷嘴安装孔352,通水孔351和喷嘴安装孔352相联通,喷嘴座35的一端设置有管道固定孔353,其中,通水孔351与避位孔341相配合,罩壳36与本体32的形状适配,罩壳36设在本体32的上方,其中,把手部41从罩壳36伸出,如此设置能够操作人员操作把手部41,可以保证调整悬臂3原点工作的顺利进行。[0060]具体地,如图1所示,抛光液输送装置10还可以包括:水管9和抛光液管101,水管9依次穿过基座1、转轴2和固定部33后与喷嘴座35相连,抛光液管101依次穿过基座1、转轴2和固定部33后,抛光液管101向下穿过喷嘴座35,其中,抛光液管101固定于喷嘴座35的管道固定孔353,水管9连接于喷嘴座35的通水孔351,如此设置可以使水管9和抛光液管101的布置更加合理,从而可以提升水管9和抛光液管101的工作性能,进而可以进一步升抛光液输送装置10的工作性能。[0061]在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。[0062]尽管已经示出和描述了本发明的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

权利要求:1.一种抛光液输送装置,其特征在于,包括:基座,所述基座上设有基座孔;转轴,所述转轴设在所述基座孔内,所述转轴上设有定位槽;悬臂,所述悬臂相对于所述转轴可转动地设在所述转轴上,其中所述悬臂上设有定位孔;定位件,所述定位件至少具有锁止和解锁两个位置,当所述定位件位于所述锁止位置时,所述定位件穿过所述定位孔和所述定位槽以对所述悬臂进行定位锁止,当所述定位件位于所述解锁位置时,所述定位件远离所述定位槽以对所述悬臂进行解锁。2.根据权利要求1所述的抛光液输送装置,其特征在于,还包括锁定件,所述转轴相对于所述基座可转动,所述基座的外壁上设有连通所述基座孔的锁定孔,所述锁定件可移动地设在所述锁定孔内以对所述转轴进行锁定和释放,当所述锁定件对所述转轴进行锁定时,所述锁定件止抵在所述转轴的外壁上。3.根据权利要求1所述的抛光液输送装置,其特征在于,还包括用于检测所述定位件是否位于所述锁止位置的检测件。4.根据权利要求3所述的抛光液输送装置,其特征在于,所述定位槽设在所述转轴的上端面上,所述定位槽的下端设有安装孔,所述检测件设在所述安装孔内。5.根据权利要求1所述的抛光液输送装置,其特征在于,还包括套筒,所述套筒可转动地设在所述转轴的外部,所述套筒的上端与所述悬臂相连且与所述悬臂相对静止。6.根据权利要求5所述的抛光液输送装置,其特征在于,所述套筒的下端设有挡板,所述挡板上设有第一标记,所述挡板套设在所述基座的上部外侧,其中所述基座的上部设有可与所述第一标记配合使用的第二标记。7.根据权利要求1所述的抛光液输送装置,其特征在于,还包括:复位弹簧,所述复位弹簧被构成可驱动所述定位件从所述解锁位置移动到所述锁止位置。8.根据权利要求1所述的抛光液输送装置,其特征在于,所述定位件包括:把手部;定位部,所述定位部设在所述把手部的一端且与所述把手部构成L形,所述定位部可上下移动地设在所述定位孔内。9.根据权利要求8所述的抛光液输送装置,其特征在于,所述悬臂包括:本体,所述本体包括彼此相连的固定部和悬挂部;喷嘴座,所述喷嘴座设在所述悬挂部的底部;罩壳,所述罩壳设在所述本体的上方,其中所述把手部从所述罩壳伸出。10.根据权利要求9所述的抛光液输送装置,其特征在于,还包括:水管,所述水管依次穿过所述基座、所述转轴和所述固定部后与所述喷嘴座相连;抛光液管,所述抛光液管依次穿过所述基座、所述转轴和所述固定部后,向下穿过所述喷嘴座。

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