申请/专利权人：住友电气工业株式会社

申请日：2017-08-29

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN107795546B

主分类号：F15B20/00(20060101)

分类号：F15B20/00(20060101);F15B13/02(20060101);F15B21/08(20060101)

优先权：["20160905 JP 2016-172613"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权;2019.07.26#实质审查的生效;2018.03.13#公开

摘要：提供一种玻璃合成用流体供给装置，其在从停电等异常时进行恢复供电时等在使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。具有对反应容器11供给腐蚀性流体的腐蚀性流体供给线L1和在腐蚀性流体供给线L1设置的MFC15，在流过MFC15的腐蚀性流体的路径中，在比MFC15上游侧的腐蚀性流体供给线L1和比MFC15下游侧的腐蚀性流体供给线L1分别设置有通过电磁阀16a、16c进行操作的空气式操作阀17a、17c，空气式操作阀17a、17c全部是常闭型，在比MFC15下游侧设置的空气式操作阀17c的工作压力高于在比MFC15上游侧设置的空气式操作阀17a的工作压力。

主权项：1.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。

全文数据：玻璃合成用流体供给装置技术领域[0001]本发明涉及一种玻璃合成用流体供给装置。背景技术[0002]已知一种玻璃合成用流体供给装置，其将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置例如，参照专利文献1。[0003]专利文献1:日本特开2014—131946号公报[0004]例如，专利文献1中记载的玻璃合成用流体供给装置，在将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置的路径中设置有空气式操作阀。空气式操作阀根据所供给的空气压力进行阀的开闭，在空气压力大于或等于工作压力的情况下打开，在空气压力小于工作压力的情况下关闭。该空气式操作阀是常闭型如果不作用空气压力，则维持关闭状态）。[0005]另外，常闭型的空气式操作阀在所供给的空气压力与工作压力是同等程度的情况下，由于空气式操作阀的个体差异等原因，有可能存在多个空气式操作阀中的仅一部分的常闭型的空气式操作阀成为打开状态。[0006]因此，在所供给的空气压力成为低状态的情况下，一部分的常闭型的空气式操作阀有时不打开。例如，如果与流量控制装置相比设置在下游的空气式操作阀打开、设置于上游的空气式操作阀关闭，则反应容器内、除害装置内的气体有可能向配管上游侧逆流，发生扩散。[0007]另一方面，对空气式操作阀的空气压力的供给是通过在空气压力供给路径中设置的电磁阀的开闭进行控制的。电磁阀的开闭被电气地控制，具有下述类型，g卩，在停电等没有电源供给的情况下，维持关闭状态的常闭型和维持打开状态的常开型。[0008]通常，在玻璃合成用流体供给装置中，关于在各路径中设置的对空气式操作阀进行控制的电磁阀，适当配置常闭型和常开型，在由于发生停电等异常而电源供给被切断的情况下，使得在流量控制装置前后的配管、流量控制装置中流动吹扫气体。但是，在从停电等异常时恢复供电时，有时使空气式操作阀工作的空气压力成为低于适当范围的状态，此时例如如上述所示，有可能发生反应容器内、除害装置内的气体向配管上游侧逆流、扩散等现象，配管或者流量控制装置的劣化防止变得不充分。发明内容[0009]本发明的目的在于提供一种玻璃合成用流体供给装置，该玻璃合成用流体供给装置即使在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。[0010]本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：[0011]腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体;以及[0012]流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，[0013]在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[00M]所述空气式操作阀全部是常闭型，[0015]设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0016]另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：[0017]吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体;以及[0018]流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，[0019]在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[0020]所述空气式操作阀全部是常闭型，[0021]设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0022]另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：[0023]腐蚀性流体供给线，其供给腐蚀性流体；[0024]吹扫气体供给线，其供给吹扫气体；[0025]汇流线，其是所述吹扫气体供给线和所述腐蚀性流体供给线汇流而成的；[0026]流量控制装置，其设置于所述汇流线；[0027]反应容器线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向反应容器；以及[0028]排放气体线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向除害装置，[0029]在所述腐蚀性流体供给线、所述吹扫气体供给线、所述反应容器线和所述排放气体线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[0030]设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常开型，[0031]设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常闭型，[0032]设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力，[0033]设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0034]发明的效果[0035]根据上述发明，即使在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。附图说明[0036]图1是表示本实施方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置的概略结构的枢图。[0037]标号的说明[0038]1玻璃合成用流体供给装置11反应容器12除害装置13腐蚀性流体供给部14吹扫气体供给部I5流量控制装置MFC16a〜16d电磁阀17a〜17d空气式操作阀18流量节流阀L1腐蚀性流体供给线L2吹扫气体供给线L3汇流线L4反应容器线L5排放气体线具体实施方式[0039]本发明的实施方式的说明）[0040]首先，列举本发明的实施方式而进行说明。[0041]本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，[0042]1其具有：[0043]腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体;以及[0044]流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，[0045]在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[0046]所述空气式操作阀全部是常闭型，[0047]设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0048]根据上述结构，设置在与流量控制装置相比下游侧的空气式操作阀，具有比设置在与流量控制装置相比上游侧的空气式操作阀的工作压力高的工作压力，因此在使空气式操作阀工作的空气压力从低于适当范围的状态起逐渐增高的情况下，上游侧的空气式操作阀先打开，下游侧的空气式操作阀后打开。由此，能够防止在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，反应容器内的气体向配管上游侧逆流，发生扩散，因此能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。[0049]另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，[0050]⑵其具有：[0051]吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体;以及[0052]流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，[0053]在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[0054]所述空气式操作阀全部是常闭型，[0055]设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0056]根据上述结构，设置在与流量控制装置相比下游侧的空气式操作阀，具有比设置在与流量控制装置相比上游侧的空气式操作阀的工作压力高的工作压力，因此在使空气式操作阀工作的空气压力从低于适当范围的状态起逐渐增高的情况下，上游侧的空气式操作阀先打开，下游侧的空气式操作阀后打开。由此，能够防止在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，反应容器内的气体向配管上游侧逆流，发生扩散，因此能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。[0057]另外，本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，[0058]3其具有：[0059]腐蚀性流体供给线，其供给腐蚀性流体；[0060]吹扫气体供给线，其供给吹扫气体；[0061]汇流线，其是所述吹扫气体供给线和所述腐蚀性流体供给线汇流而成的；[0062]流量控制装置，其设置于所述汇流线；[0063]反应容器线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向反应容器;以及[00M]排放气体线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向除害装置，[0065]在所述腐蚀性流体供给线、所述吹扫气体供给线、所述反应容器线和所述排放气体线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，[0066]设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常开型，[0067]设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常闭型，[0068]设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力，[0069]设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。[0070]根据上述结构，设置在与流量控制装置相比下游侧的空气式操作阀，具有比设置在与流量控制装置相比上游侧的空气式操作阀的工作压力高的工作压力，因此在使空气式操作阀工作的空气压力从低于适当范围的状态起逐渐增高的情况下，腐蚀性流体供给线或者吹扫气体供给线的空气式操作阀先打开，反应容器线或者排放气体线的空气式操作阀后打开。由此，能够防止在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，反应容器内或者除害装置内的气体向配管上游侧逆流，发生扩散，因此能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。[0071]⑷优选在所述吹扫气体供给线设置有流量节流阀。[0072]由于在吹扫气体供给线设置有流量节流阀，因此能够抑制停电时的吹扫气体流量。由此，能够节约吹扫气体，另外，能够抑制恢复供电时的吹扫压力的降低。[0073]本发明的实施方式的详细内容）[0074]下面，参照附图对本发明的实施方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置的具体例进行说明。[0075]此外，本发明并不限定于这些例示，而是由权利要求书表示，包含与权利要求书等同的含义及范围内的全部变更。[0076]图1是表示玻璃合成用流体供给装置的一个例子的图。[0077]图1所示的玻璃合成用流体供给装置1将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体向反应容器11供给。另外，玻璃合成用流体供给装置1将合成玻璃时没有使用的腐蚀性流体向除害装置12排出。[0078]在反应容器11中，通过例如0VD法、VAD法，进行光纤用的圆柱状玻璃母材等的玻璃合成。在OVD法的情况下，在反应容器11内使初始玻璃杆沿轴向往复移动并旋转，同时将从腐蚀性流体供给部13供给的成为玻璃原料的腐蚀性流体与H2等燃料气体和〇2等助燃气体一起从燃烧器喷向其外周。而且，通过火焰加水分解反应而生成玻璃微粒并沉积，作为玻璃微粒沉积体而合成圆柱状玻璃母材。另外，在除害装置12中，对合成玻璃时没有使用的腐蚀性流体进行净化处理。作为腐蚀性流体，使用玻璃合成用原料气体或者液体P〇Cl3、TiCl4、SiCl4、GeCl4等）、工艺用气体或者液体BCl3、SF6、Cl2、SiF4、CF^。[0079]在玻璃合成用流体供给装置1中，作为供给流体的流路，具有:从腐蚀性流体供给部13朝向反应容器11供给腐蚀性流体的腐蚀性流体供给线L1、和从吹扫气体供给部14朝向反应容器11供给吹扫气体的吹扫气体供给线L2。另外，玻璃合成用流体供给装置1具有:将腐蚀性流体供给线L1和吹扫气体供给线L2汇流而成的汇流线L3;从汇流线L3进行分支而朝向反应容器11的反应容器线L4;以及从汇流线L3进行分支而朝向除害装置12的排放气体线L5。[0080]在腐蚀性流体供给线L1设置有通过电磁阀16a进行操作的空气式操作阀17a，在吹扫气体供给线L2设置有通过电磁阀16b进行操作的空气式操作阀17b。另外，在吹扫气体供给线L2，在与空气式操作阀17b相比上游侧设置有能够对经过的吹扫气体的流量进行控制的流量节流阀（例如，针阀等）18。而且，腐蚀性流体供给线L1的空气式操作阀17a的下游侧和吹扫气体供给线L2的空气式操作阀17b的下游侧汇流而成为汇流线L3。[0081]在汇流线L3腐蚀性流体供给线L1且吹扫气体供给线L2的中途，设置有能够对经过的流体的流量进行控制的流量控制装置例如，MassFlowController:MFC15。而且，在汇流线L3的MFC15的下游侧，反应容器线L4和排放气体线L5从汇流线L3进行分支。[0082]在反应容器线L4设置有通过电磁阀16c进行操作的空气式操作阀17c，在排放气体线L5设置有通过电磁阀16d进行操作的空气式操作阀17d。而且，在反应容器线L4的空气式操作阀17c的下游侧连接有反应容器11，在排放气体线L5的空气式操作阀17d的下游侧连接有除害装置12。此外，在反应容器线L4中流动腐蚀性流体，因此也将反应容器线L4称为MFC15的下游侧的腐蚀性流体供给线。另外，在排放气体线L5中流动吹扫气体，因此也将排放气体线L5称为MFC15的下游侧的吹扫气体供给线。[0083]空气式操作阀17a〜17d是通过驱动用的空气压力进行开闭动作的阀。电磁阀16a〜16d是对螺线管的线圈供给电流而进行开闭动作的阀。电磁阀16a〜16d通过省略图示的电磁阀控制部对各自的开闭进行控制。通过各电磁阀16a〜16d的接通断开，吹扫气体供给部14的吹扫气体作为驱动用的空气压力而作用于各空气式操作阀17a〜nd，通过该空气压力对各空气式操作阀17a〜17d的开闭进行操作。即，在各流路L1、L2、L4、L5设置的空气式操作阀17a〜17d分别通过控制驱动用的电磁阀16a〜16d而进行动作，能够将各流路江1、L2、L4、L5设为打开状态或者关闭状态。[0084]在与MFC15相比下游侧的反应容器线L4设置的空气式操作阀17c，使用了工作压力比在与MFC15相比上游侧的腐蚀性流体供给线L1设置的空气式操作阀Ua高的阀。另外，在与MFC15相比下游侧的排放气体线L5设置的空气式操作阀17d，使用了工作压力比在与MFC15相比上游侧的吹扫气体供给线L2设置的空气式操作阀17b高的阀。[0085]空气式操作阀17a〜17d使用了在非动作时流路成为关闭状态的常闭型。另外，电磁阀16a、16c使用了在螺线管的非动作时流路成为关闭状态的常闭型，电磁阀16b、led使用了在螺线管的非动作时流路成为打开状态的常开型。另外，MFC15使用了在非动作时流路成为打开状态的常开型。[0086]接下来，对玻璃合成用流体供给装置1的动作进行说明。[0087]玻璃合成时）[0088]在玻璃合成时，玻璃合成用流体供给装置1控制为，通过将电磁阀16b关闭而将空气式操作阀17b关闭，通过将电磁阀16a打开而将空气式操作阀17a打开。由此，在汇流线L3的MFC15的上游侧，不从吹扫气体供给线L2供给吹扫气体，而从腐蚀性流体供给线L1供给玻璃原料气体等腐蚀性流体。而且，通过MFC15对流量进行适当控制，向MFC15的下游侧供给腐蚀性流体。[0089]另外，控制为，通过将电磁阀16d关闭而将空气式操作阀17d关闭，通过将电磁阀16c打开而将空气式操作阀17c打开。由此，不从MFC15的下游侧对除害装置12供给腐蚀性流体，而向反应容器11供给腐蚀性流体。[0090]玻璃非合成时）[0091]在玻璃非合成时，玻璃合成用流体供给装置1控制为，通过将电磁阀16a关闭而将空气式操作阀17a关闭，通过将电磁阀16b打开而将空气式操作阀17b打开。由此，在汇流线L3的MFC15的上游侧，不从腐蚀性流体供给线L1供给玻璃原料气体等腐蚀性流体，而从吹扫气体供给线L2供给吹扫气体。而且，通过MFC15对流量进行适当控制，向MFC15的下游侧供给吹扫气体。[0092]而且，控制为，通过将电磁阀16c关闭而将空气式操作阀17c关闭，通过将电磁阀16d打开而将空气式操作阀17d打开。由此，在MFC15的内部、MFC15的前后的线中残留的腐蚀性流体与吹扫气体一起经过排放气体线L5而向除害装置12排出。[0093]下面，举出动作例对发生停电等异常的情况下的玻璃合成用流体供给装置1的动作进行说明。[0094]动作例1[0095]在发生停电等异常而电源的供给被切断的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0096]电磁阀16a是常闭型，因此通过电源的切断，自动地维持关闭状态。因此，作为常闭型的空气式操作阀17a，不被施加驱动用的空气压力（吹扫气体而成为关闭状态。另外，电磁阀16b是常开型，因此通过电源的切断，自动地维持打开状态。因此，空气式操作阀17b不被施加驱动用的空气压力而成为打开状态。由此，在汇流线L3的MFC15的上游侧，成为不从腐蚀性流体供给线L1供给腐蚀性流体，而从吹扫气体供给线L2供给吹扫气体的状态。[0097]MFC15是常开型，因此通过电源的切断，自动地而成为打开状态。因此，MFC15的上游侧的吹扫气体向MFC15的下游侧供给。电磁阀16c是常闭型，因此通过电源的切断，自动地维持关闭状态。因此，作为常闭型的空气式操作阀17c，不被施加驱动用的空气压力而成为关闭状态。另外，电磁阀16d是常开型，因此通过电源的切断，自动地维持打开状态。因此，空气式操作阀17d不被施加驱动用的空气压力而成为打开状态。由此，MFC15的下游侧的吹扫气体不向反应容器11供给，而从排放气体线L5供给至除害装置12。此时，例如在MFC15的内部、MFC15的前后的线中残留的腐蚀性流体与吹扫气体一起经过排放气体线L5而向除害装置12排出。[0098]另外，在发生了停电等异常的情况下，MFC15是常开型，因此成为全开，通过流量节流阀18对流量进行节流。由此，对从吹扫气体供给部14供给的吹扫气体的流量进行抑制。[0099]动作例2[0100]在停电等异常时，在发生了用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力（吹扫气体的压力降低的异常的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0101]如上述所示，在停电时，空气式操作阀17b和空气式操作阀17d成为打开状态，从吹扫气体供给部14供给的吹扫气体经过吹扫气体供给线L2、汇流线L3及排放气体线L5而向除害装置12流动。[0102]在如上所述的状态下，如果吹扫气体的压力逐渐降低，则成为打开状态的空气式操作阀17b和空气式操作阀17d中的、工作压力高的空气式操作阀17d的动作首先出现变化。如果吹扫气体的压力低于空气式操作阀17d的工作压力，则空气式操作阀17d成为关闭状态。此时，工作压力比空气式操作阀17d低的空气式操作阀17b维持打开状态。而且，在吹扫气体的压力进一步降低而低于空气式操作阀17b的工作压力时，空气式操作阀成为关闭状态。如上所述，下游侧的空气式操作阀17d比上游侧的空气式操作阀17b先成为关闭状态。[0103]动作例3[0104]在从停电等异常时恢复供电时，发生了用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力（吹扫气体的压力）降低的异常的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0105]在刚刚恢复供电后系统处于启动过程中的情况下，有可能发生吹扫气体的压力不稳定而降低。[0106]玻璃合成用流体供给装置1在恢复供电的情况下，设定为例如维持与上述动作例1相同的状态。即，设定为空气式操作阀17b、17d成为打开状态，吹扫气体经过吹扫气体供给线L2、汇流线L3及排放气体线L5而向除害装置12流动。[0107]因此，在恢复供电时吹扫气体的压力发生了降低的情况下，与上述动作例2同样地，下游侧的空气式操作阀17d比上游侧的空气式操作阀17b先成为关闭状态。[0108]动作例4[0109]在玻璃合成时，在发生了用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力（吹扫气体的压力降低的异常的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0110]在玻璃合成时，如前所述，控制为将空气式操作阀17b关闭，将空气式操作阀17a打开，控制为将空气式操作阀17d关闭，将空气式操作阀17c打开。由此，腐蚀性流体经过反应容器线L4而向反应容器11供给。[0111]在如上所述的状态下，如果吹扫气体的压力逐渐降低，则成为打开状态的空气式操作阀17a、17c中的、工作压力高的空气式操作阀17c首先成为关闭状态。而且，如果吹扫气体的压力进一步降低，则工作压力比空气式操作阀17c低的空气式操作阀l7a成为关闭状态。如上所述，下游侧的空气式操作阀17c比上游侧的空气式操作阀17a先成为关闭状态。[0112]动作例5[0113]在玻璃非合成时，发生了用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力（吹扫气体的压力降低的异常的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0114]在玻璃非合成时，如前所述，控制为将空气式操作阀17a关闭，将空气式操作阀17b打开，将空气式操作阀17c关闭，将空气式操作阀17d打开。由此，吹扫气体经过排放气体线L5而向除害装置12供给。[0115]在如上所述的状态下，如果吹扫气体的压力降低，则工作压力高的空气式操作阀17d首先成为关闭状态。而且，如果吹扫气体的压力进一步逐渐降低，则工作压力比空气式操作阀17d低的空气式操作阀17b成为关闭状态。如上所述，下游侧的空气式操作阀17d比上游侧的空气式操作阀17b先成为关闭状态。[0116]动作例6[0117]在上述动作例2〜动作例5中，在发生了用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力吹扫气体的压力与空气式操作阀17a〜17d的工作压力相比降低后，逐渐不断上升的异常的情况下，玻璃合成用流体供给装置1以如下方式进行动作。[0118]在动作例2、3、5的情况下，成为关闭状态的空气式操作阀17b、17d中的、上游侧的吹扫气体供给线L2的空气式操作阀17b先成为打开状态，下游侧的排放气体线L5的空气式操作阀17d后成为打开状态。另外，在动作例4的情况下，成为关闭状态的空气式操作阀17a、17c中的、上游侧的腐蚀性流体供给线L1的空气式操作阀17a先成为打开状态，下游侧的反应容器线L4的空气式操作阀17c后成为打开状态。[0119]如上所述，根据本实施方式的玻璃合成用流体供给装置1，在用于使空气式操作阀工作的驱动用的空气压力吹扫气体的压力发生异常，例如吹扫气体的压力逐渐降低的情况下，下游侧的空气式操作阀先成为关闭状态，上游侧的空气式操作阀在其之后成为关闭状态。另外，在例如吹扫气体的压力降低至小于空气式操作阀的工作压力之后逐渐上升的情况下，上游侧的空气式操作阀先成为打开状态，下游侧的空气式操作阀在其之后成为打开状态。因此，例如在停电时、恢复供电时、玻璃合成时及玻璃非合成时，发生了吹扫气体的压力降低的异常的情况下，也能够对气体从反应容器11或者除害装置12向配管上游侧逆流，发生扩散进行抑制。由此，能够抑制配管或者MFC15的劣化。[0120]另外，在停电时，由于MFC成为全开状态，因此过大流量的吹扫气体流动。因此，如果停电持续长时间，则吹扫气体供给部的气体缺乏而无法进行吹扫，气体的损失变多，成本增大。另外，在吹扫气体和空气式操作阀的驱动气体的供给源相同的情况下，导致由于吹扫气体的缺乏而无法进行空气式操作阀的驱动。[0121]与此相对，根据玻璃合成用流体供给装置1，在吹扫气体供给线L2设置有流量节流阀18,因此通过流量节流阀18的调节，能够抑制在停电时供给的吹扫气体流量。由此，能够节约吹扫气体，另外，能够对恢复供电时的吹扫压力的降低进行抑制。[0122]以上，详细且参照特定的实施方式对本发明进行了说明，但对于本领域的技术人员而言，显然可以在不脱离本发明的精神、范围的前提下进行各种变更或修正。另外，上述说明的构成部件的数量、位置、形状等并不限定于上述实施方式，能够变更为适于实施本发明的数量、位置、形状等。

权利要求：1.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体;以及流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。2.—种玻璃合成用流体供给装置，其具有：吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体;以及流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，所述空气式操作阀全部是常闭型，设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。3.—种玻璃合成用流体供给装置，其具有：腐蚀性流体供给线，其供给腐蚀性流体；吹扫气体供给线，其供给吹扫气体；汇流线，其是所述吹扫气体供给线和所述腐蚀性流体供给线汇流而成的；流量控制装置，其设置于所述汇流线；反应容器线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向反应容器；以及排放气体线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向除害装置，在所述腐蚀性流体供给线、所述吹扫气体供给线、所述反应容器线和所述排放气体线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常开型，设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常闭型，设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力，设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。4.根据权利要求2或3所述的玻璃合成用流体供给装置，其中，在所述吹扫气体供给线设置有流量节流阀。

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