申请/专利权人：横滨领先设计合资会社

申请日：2017-08-04

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN107728433B

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：["20160810 JP 2016-157450"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权;2018.11.30#实质审查的生效;2018.02.23#公开

摘要：本发明提供了一种曝光照明装置，所述曝光照明装置1将从具有按规定间隔离散配置的多个LED组件11的光源10射出的光束照射到曝光面80，在多个LED组件11中的每一个的出射侧有多个锥形第1导光体20，沿LED组件11射出的光束的光轴方向70，该多个锥形第1导光体20的尺寸逐渐扩大，并且出射端面22的面积设定为大于光束的入射端面21的面积，从第1导光体20的入射端面21处的LED组件11射出的光束的大小设定为大于第1导光体20的入射端面21。所述曝光照明装置能够确保从按规定间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的亮度分布的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。

主权项：1.一种曝光照明装置，所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面，所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，在所述多个LED组件中的每一个的出射侧，所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向，所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸，从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小，设定为大于所述第1导光体的入射端面，所述LED组件设置于所述第1导光体的入射端面的外侧，所述LED组件的大小设定为分别大于入射端面的高度方向和深度方向的大小，以覆盖整个入射端面，从所述第1导光体的入射端面处的LED组件射出的垂直于光轴方向的光束的大小尺寸，设定为大于第1导光体的入射端面的尺寸，所述多个锥形第1导光体的所述出射端面呈矩形，通过使所述出射端面的端部相互稠密地接合，所述多个第1导光体在与所述光束的光轴方向垂直的方向上相互并列地相邻设置。

全文数据：曝光照明装置技术领域[0001]本发明涉及一种曝光照明装置，尤其是涉及一种将从间隔地离散配置的多个LED组件射出的光束照射到曝光面的曝光照明装置。背景技术[0002]已知以往进行基板曝光的各种曝光照明装置。曝光照明装置将从光源射出的光束通过透镜^统等光学设备照射到曝光面，并进行基板曝光。对于这种曝光照明装置的光源，选择亮度高的光源。如专利文献1和专利文献2所示，以往使用例如紫外灯或_素灯。[0003]然而，用于曝光照明装置的紫外灯或卤素灯虽然可以获得高的亮度，但通常寿命短。因此，更换频率增加，成本增高等成为提高基板制造成本的一个因素。[0004]^于这个原因，近年来，探讨了使用长寿命的LED组件。也就是说，近年来，开发了可以获得高亮度的大容量LED组件，并对于将其用于曝光照明装置进行了积极的探讨。对于使用这种LED组件的曝光照明装置，例如，参考专利文献3中公开的技术。[0005]也就是说，在文献3的曝光照明装置中，使用多个LED组件芯片LED作为光源，并将从该多个LED组件射出的光束通过锥形棒透镜锥形导光体或棒透镜导光体照射到曝光面。LED组件设置于锥形棒透镜的入射端面，并且LED组件的尺寸设定为小于锥形棒透镜的入射端面的尺寸。[0006]现有技术文献[0007]专利文献[0008][专利文献1]日本特开2007-017897号公报[0009][专利文献2]日本特开2012-238673号公报[0010][专利文献3]日本特开2003-330109号公报发明内容[0011]发明所要解决的问题[0012]可是，在如上述曝光照明装置使用LED组件作为光源的情况下，如图8所示，因配线和发热问题而将多个LED组件按规定间隔离散配置。[0013]然而，如此将多个LED组件离散配置，并且如上所述LED组件的尺寸设定为小于锥形棒透镜的入射端面的尺寸时，在锥形棒透镜或棒透镜的出射端面处光束也变得离散，而得不到面光源。结果相邻的LED组件射出的光束间能量密度降低等，不能从得自光源的光束获得最大限度的照度，而有可能阻碍稳定的基板曝光。[0014]因此，强烈期待开发即便使用多个LED组件，也能够确保光束的亮度分布的均匀性，并且能够以最大照度进行稳定的基板曝光的曝光照明装置。[0015]本发明是鉴于这种情况而做出的，目的在提供一种照明装置，其能够确保从按间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并能够进行稳定的基板曝光。[0016]解决问题的手段[0017]为了达成上述目的，涉及曝光照明装置的权利要求1的发明为一种将从光源射出的光束照射到曝光面的曝光照明装置，该光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，其中，在多个LED组件中的每一个的出射侧，曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从LED组件射出的光束的光轴方向，该多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，且出射端面的尺寸设定为大于光束的入射端面的尺寸，从第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。[0018]根据本发明，在多个LED组件中的每一个的出射侧具有相邻的多个锥形第1导光体，沿LED组件射出的光束的光轴方向，该锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于光束的入射端面的尺寸，第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。因此，可以在从第1导光体的入射端面使与该入射端面的大小同等大小的光束入射的同时，在锥形第1导光体内，使从Lm组件射出的光束重复反射的同时逐渐增大其尺寸，即使在具有按间隔配置的多个LED组件的光源中，也能够防止光束在第1导光体的出射端面变得离散，从而使光束从一个大的面光源射出等，能够防止从相邻的LED组件射出的光束之间发生能量密度降低。如此，能够确保从光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。[0019]此外，在锥形第1导光体内，从LED组件射出的光束在反射角度减小的同时重复反射，能够容易地产生平行相近的光束，结果能够实现提高基板的制造效率。[0020]如果将LED组件设置于第1导光体的入射端面，且将LED组件的大小设定为大于入射端面，则能够确保将第1导光体的入射端面处的LED组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面。[0021]如果通过在多个LED组件中的每一个与第1导光体之间设置光学构件以使LED组件的发光面再成像，而将第1导光体的入射端面处的LH组件射出的光束的大小设定为大于第1导光体的入射端面，则即使在LED组件的尺寸小于第1导光体的入射端面的情况下，也能够容易地使LED组件射出的光的大小大于第1导光体的入射端面的大小等，能够确保LED组件的尺寸选择的自由度。[0022]如果通过使出射端面的端部相互稠密地接合，将多个第1导光体在与光束的光轴方向垂直的方向上相互并列地相邻设置，则能够进一步防止光束在第1导光体的出射端面变得离散，从而使光束从一个大的面光源射出等，能够更可靠地防止在从相邻LED组件射出的光束之间发生能量密度降低。[0023]多个第1导光体在光束的出射侧具有与光轴方向平行的平行部，如果该平行部之间相互接合，则能够使相邻第1导光体之间面接合，因此能够确保稳定的接合状态权利要求5。[0024]第1导光体可以为锥形棒。[0025]如果具有设置于第1导光体的出射侧、沿光束的光轴方向平行地延伸、使第1导光体射出的光束入射的入射端面的大小和使入射的光束出射的出射端面的大小设定为大体相等、并且将从第1导光体出射的光束均勾化的第2导光体，则能够更进一步地防止光束在导光体的出射端面变得离散，从而使光束从大的面光源射出等，能够更可靠地将第1导光体射出的光束均匀化。L」对于第2导光体，能够将该第2导光体的入射端面的端部与第1导光体的出射端面的端部接合。[0027]如果在第1导光体与第2导光体之间设置光学构件，并且第2导光体通过光学构件使从第1导光体出射的光束会聚并入射，则能够将第2导光体的尺寸设为与会聚的光束的大小对应的尺寸等，可以实现第2导光体的紧凑化。[0028]第2导光体可以为棒状积分器或复眼积分器。[0029]发明效果[0030]根据本发明，能够确保从按间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。附图说明[0031]图1是示出显示本发明第1实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成图。[0032]图2是显示同一曝光照明装置的光源的整体构成的构成图。[0033]图3是用于说明同一第1实施方式的技术效果的图。[0034]图4是用于说明同一第1实施方式的技术效果的另一图。[0035]图5是示出显示本发明第2实施方式的曝光照明装置的整体构成的构[0036]图6是示出显示本发明第3实施方式的曝光照明装置的整体构成的构[0037]图7是示出显示本发明第4实施方式的曝光照明装置的整体构成的构成°[0038]图8是用于说明采用LED组件的传统曝光照明装置的课题的图。[0039]附图标记说明[0040]1:曝光照明装置[0041]2:曝光照明装置[0042]3:曝光照明装置[0043]4:曝光照明装置[0044]10:光源[0045]11:LED组件芯片LED[0046]12:基板[0047]20:第1导光体[0048]21:入射端面[0049]22:出射端面[0050]23:平行部[0051]24:接合面[0052]30:第2导光体[0053]31:入射端面[0054]32:出射端面[0055]40:光学构件[0056]50:第1中继透镜[0057]60:第2中继透镜[0058]70:光轴方向[0059]80:曝光面[0060]81:基板[0061]82:掩模[0062]110:光学构件[0063]111:第1中继透镜[0064]112:第2中继透镜[0065]200:第2导光体[0066]201:入射端面[0067]202:出射端面[0068]300:第2导光体[0069]301:入射端面[0070]301a:第1复眼[0071]301b:透镜[0072]302:出射端面[0073]302a:第2复眼[0074]302b:透镜[0075]400:光学构件[0076]400a:光学构件[0077]401:第1中继透镜[0078]401a:中继透镜[0079]402:第2中继透镜[0080]500:光学构件[0081]500a:光学构件[0082]501:第1中继透镜[0083]501a:中继透镜[0084]5〇2:第2中继透镜具体实施方式[0085]以下，参照附图对本发明的第i实施方式至第4实施方式进行详细说明。[0086][第1实施方式][0087]参照图1至图4,对本发明的第1实施方式进行详细说明。图1是示出显示本发明第i实施方式的曝光照明装置的整体构成概要的构成图，图2是显示曝光照明装置中的光源的整体构成的主视图，图3是用于说明第丨实施方式的技术效果的图，图4是用于说明第i实施方式的技术效果的另一图，图4中的斜线部分示出了在第1导光体20的出射端面22中，在形成一个大的面光源的同时使光束出射。[0088]参照图1对本发明的曝光照明装置的概要进行说明。曝光照明装置丨具有光源1〇、第1导光体20、第2导光体30、以及光学构件40,其构成为沿光轴方向70,在与光源1〇射出的光束的光轴方向70垂直的方向上尺寸逐渐增大，并且在将光束的亮度分布均匀化的同时对曝光面8〇进行曝光。作为曝光对象的基板81通过掩模82设置于曝光面80。也就是说，本实施方式的曝光，作为接近式曝光，采用了将基板81与掩模82之间的间隙设定为约数Mi至约数百wn来进行曝光的非接触的曝光方式。[0089]光源10具有多个LED组件11。LED组件11呈矩形，并且如图2所示，在基板12上的高度方向和深度方向按规定间隔离散配置。本发明中，LED组件11为芯片LED1ED组件11直接设置于第1导光体20的入射端面21的外侧，并且LED组件11的大小设定为分别大于入射端面21的高度方向和深度方向的大小，以覆盖整个入射端面21。也就是说，从第1导光体20的入射端面21处的LED组件11射出的垂直于光轴方向的方向的光束的大小尺寸设定为大于第1导光体20的入射端面21的尺寸。[0090]第1导光体20在多个LED组件11中的每一个的出射侧相邻设置，并且为棒。更详细地，第1导光体20是由柱状导光体棒），或者内表面为反射面的管状导光体棒构成的锥形棒状积分器，并且由合成石英等形成。也就是说，第1导光体20呈锥形，入射端面21和出射端面22呈矩形。并且，沿从LED组件11射出的光束的光轴方向70,第1导光体20的尺寸逐渐扩大，出射端面22的尺寸设定为大于光束的入射端面21的尺寸。通过如此构成第1导光体20，能够使从光源10射出的光束在垂直于光轴方向的方向上的尺寸逐渐增大。[0091]在此，对于多个第1导光体20,出射端面22的端部相互稠密地接合，并且在与光束的光轴方向70垂直的方向上相互并列地相邻设置。更详细地，多个第1导光体20在光束的出射侧具有与光轴方向70平行的平行部23,通过该平行部23的接合面24相互稠密地接合。[0092]第2导光体30设置于第1导光体20的出射侧，第2导光体30的入射端面31的端部与第1导光体20的出射端面22的端部接合。第2导光体30为棒。更详细地，第1导光体30是由柱状导光体棒），或者内表面为反射面的管状导光体棒构成的棒状积分器，并且由合成石英等形成。也就是说，第2导光体30沿光束的光轴方向70平行地延伸，从而将从第1导光体20出射的光束入射的入射端面31的大小尺寸与入射的光束出射的出射端面32的大小尺寸设定为相等或大体相等，具有使从第1导光体20出射的光束的亮度分布均匀化的功能。第2导光体30的入射端面31和出射端面32呈矩形。[0093]光学构件40设置于第2导光体30的出射侧。也就是说，光学构件40具有由凸光焦度的透镜构成的第1中继透镜5〇和第2中继透镜60,并且具有使从第2导光体3〇出射的光束折射的同时将其照射到曝光面80的功能。[0094]如此，根据本第1实施方式，在多个LED组件11中的每一个的出射侧，具有相邻的第1导光体20,第1导光体20为锥形棒，沿从LED组件11射出的光束的光轴方向70尺寸逐渐扩大，并且出射端面22的尺寸设定为大于光束的入射端面21的尺寸，同时从第1导光体20的入射端面21处的LED组件11射出的光束的大小设定为大于第1导光体20的入射端面21。因此，在从第1导光体20的入射端面M使与该入射端面21的大小尺寸同等的大小尺寸的光束入射的同时，如图3所示，在锥形第1导光体20内，从LED组件11射出的光束能够在重复反射的同时逐渐增大其尺寸。如此，如图4所示，即使在具有在基板12上按规定间隔离散配置的多个LED组件11的光源10中，也能够防止光束在第1导光体20的出射端面22变得离散，而使光束从一个大的面光源出射等，可以防止在从相邻的LED组件11射出的光束之间发生能量密度降低。如此，能够确保从光源10射出的光束的亮度分布的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。[0095]此外，回到图3，由于在锥形第1导光体20内，从LED组件11射出的光束在减小反射角度的同时重复反射，因此能够容易地产生平行相近的光束，结果能够实现提高基板81的制造效率。[0096]也就是说，在本发明中，从第2中继透镜60观察基板81的光束的角度e变小，数值孔径NA变小。因此，能够适当地防止曝光面80上的“模糊”，并且可以将基板81和掩模82之间的间隙设定为相对较大，从而能够适当地防止掩模82的劣化，能够减少其更换频率。此外，通过使投射在曝光面8〇的能量密度最大化，也能够适当地防止基板81的曝光时间变长。由此，能够提尚基板81的制造效率。[0097]此外，由于多个第1导光体2〇,将出射端面22的端部相互稠密地接合，而在与光束的光轴方向70垂直的方向上相互并列地相邻设置，因此能够进一步防止光束在第丨导光体20的出射端面22变得离散，而使光束从一个大的面光源出射等，可以更可靠地防止在从相邻LED组件11射出的光束之间发生能量密度降低。[0098]另外，多个第1导光体20在光束的出射侧具有与光轴方向70平行的平行部23,该平行部23之间相互稠密地接合，从而能够使相邻的第1导光体20之间面接合，能够确保稳定的接合状态。[00"]另外，在第1导光体2〇的出射侧具有第2导光体30,第2导光体30为棒，更详细地为棒状积分器，其沿光轴方向70平行地延伸，使第1导光体20射出的光束入射的入射端面31的大小尺寸与使入射的光出射的出射端面32的大小尺寸设定为相等或大体相等，具有使从第1导光体20出射的光束的亮度分布均匀化的功能。因此，能够进一步防止光束在导光体的出射端面变得离散，而使光束从一个大的面光源出射等，能够更可靠地使从第1导光体20出射的光束的亮度分布均匀化。顺便提及，如上所述，第1导光体20具有平行部23,虽然该平行部23有可能引起能量密度的降低，但是通过入射到第2导光体30可靠地防止发生这种能量密度的降低，从而可以实现光束的亮度分布的均匀化。[0100][第2实施方式][0101]接下来，参照图5,对本发明的第2实施方式进行详细说明。在本第2实施方式的说明中，对于付以与上述第1实施方式相同的附图标记的构成，将作为相同的构成并省略其说明。[0102]对于本第2实施方式的曝光照明装置2,示出了将第2导光体的位置变更的实施例。也就是说，在本第2实施方式中，在第1导光体20和第2导光体200之间设置光学构件400，第2导光体200通过光学构件400折射并会聚从第1导光体20出射的光束，以将光束变小并使其入射。[0103]与上述第1实施方式相同，第2导光体200为棒。更详细地，第2导光体200是由柱状导光体，或者内表面为反射面的管状导光体构成的棒状积分器，并且由合成石英等形成。也就是说，第2导光体200沿光束的光轴方向7〇平行地延伸，从光学构件400出射的光束入射的入射端面201的大小尺寸与入射的光束出射的出射端面202的大小尺寸设定为相等或大体相等，并且具有使从第1导光体20出射的光束的亮度分布均匀化的功能。[0104]根据本第2实施方式，通过这样的构成，能够将第2导光体200的尺寸设为与会聚的光束的大小对应的尺寸，从而能够实现第2导光体200的紧凑化。[0105]此外，由于从第1导光体20出射的光束通过光学构件400折射并会聚而入射到第2导光体200，因此可以实现光束的亮度分布的均匀化。[0106]同样在本第2头施万式中，光学构件400也由具有凸光焦度的透镜构成，也具有第1中继透镜401和第2中继透镜402。此外，在第2导光体200的出射侧也有光学构件500,光学构件5〇0由具有凸光焦度的透镜构成，具有第1中继透镜501和第2中继透镜502。从第2导光体200出射的光束在折射的同时照射到曝光面80。[0107][第3实施方式][0108]接下来，参照图6,对本发明的第3实施方式进行详细说明。在本第3实施方式的说明中，对于付以与上述第1实施方式和第2实施方式相同的附图标记的构成，将作为相同的构成并省略其说明。[0109]对于本第3实施方式的曝光照明装置3,示出了将第2实施方式中的第2导光体的构成变更的实施例。也就是说，在本第3实施方式中，第2导光体300为复眼，并且由合成石英等形成。更详细地，第2导光体300是在入射端面301侧设置由多个透镜3〇lb形成的第1复眼301a，且在出射端面302侧设置由多个透镜3〇2b形成的第2复眼302a的复眼积分器，构成为使从第1导光体20出射的光束通过光学构件400折射并会聚，从而使光束缩小并入射到复眼积分器。[0110]在复眼积分器的第2导光体300中，多个透镜3〇lb、302b在复眼301a、302a上——对应，例如，第1复眼301a的透镜301b在第2复眼302a的对应透镜302b上具有焦点位置。因此，能够将入射到第1复眼301a的光束的光源像形成在第2复眼加也的各透镜302b上，能够进行均匀的照明。由复眼积分器构成的第2导光体300设定为从光学构件400出射的光束入射的入射端面301的大小尺寸与入射的光束出射的出射端面302的大小尺寸相等或大体相等，具有使从第1导光体20出射的光束的亮度分布均匀化的功能。[0111]在本第3实施方式中，光学构件400a为具有凸光焦度的一中继透镜401a。此外，在第2导光体300的出射侧也具有光学构件500a，光学构件500a也为具有凸光焦度的一中继透镜501a。从第2导光体300出射的光束通过光学构件5〇0a折射并照射到曝光面8〇。[0112][第4实施方式][0113]接下来，参照图7,对本发明的第4实施方式进行详细说明。在本第4实施方式的说明中，对于付以与上述第1实施方式至第3实施方式相同的附图标记的构成，将作为相同的构成并省略其说明。[0114]对于本第4实施方式的曝光照明装置4,示出了将第1实施方式至第3实施方式中的光源10周围的构成变更的实施例。也就是说，在本第4实施方式中，示出了将光源10与第丄导光体20在外侧隔开的构成。通过在光源10具备的多个LED组件11中的每一个与第1导光体2〇之间设置光学构件110以将LED组件11的发光面再成像，将从第1导光体2〇的入射端面21处的LH组件110射出的光束的大小尺寸设定为大于第1导光体20的入射端面21。[0115]通过这样构成本第4实施方式，即使在LED组件11的尺寸小于第丨导光体20的入射端面21的情况下，也能够容易地使LH组件11射出的光束的大小尺寸大于第丨导光体2〇的入射端面21的大小尺寸，能够确保LED组件11的尺寸选择的自由度。[0116]光学构件110由具有凸光焦度的透镜构成，具有第1中继透镜in和第2中继透镜112,将从LED组件11射出的光束折射同时扩大并使其入射到第1导光体20。[0117]在本第4实施方式中，也可以设置将光源10、第1中继透镜1U、第2中继透镜112、第1导光体20的相对位置变更的位置变更机构，构成为对入射到第1导光体20的光束的大小进行适当调整。[0118]产业上的利用可能性[0119]本发明提供一种曝光照明装置，其能够确保从按规定间隔离散配置有多个LED组件的光麵出的光束的亮度分布的均勾性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。因此可以实现削减制造成本，对各种制造业的发展做出大的贡献。’

权利要求：1.一种曝光照明装置，所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面，所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，在所述多个LED组件中的每一个的出射侧，所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向，所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸，从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小，设定为大于所述第1导光体的入射端面。2.根据权利要求1所述的曝光照明装置，其中，所述LED组件设置于所述第1导光体的入射端面，所述LED组件的大小设定为大于所述入射端面。3.根据权利要求1所述的曝光照明装置，其中，通过在所述多个LED组件中的每一个与所述第1导光体之间设置光学构件使所述LED组件的发光面再成像，将从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小设定为大于所述第1导光体的入射端面。4.根据权利要求2或3所述的曝光照明装置，其中，通过使所述出射端面的端部相互稠密地接合，所述多个第1导光体在与所述光束的光轴方向垂直的方向上相互并列地相邻设置。5.根据权利要求4所述的曝光照明装置，其中，所述多个第1导光体在所述光束的出射侧具有与所述光轴方向平行的平行部，该平行部之间相互接合。6.根据权利要求1〜5中任一项所述的曝光照明装置，其中，所述第1导光体为锥形棒。7.根据权利要求1〜6中任一项所述的曝光照明装置，具有将从所述第1导光体出射的光束均匀化的第2导光体，所述第2导光体设置于所述第1导光体的出射侧，并且设定为沿所述光束的光轴方向，从所述第1导光体出射的光束入射的入射端面的大小与所述入射的光束出射的出射端面的大小大体相等。8.根据权利要求7所述曝光照明装置，其中，所述第2导光体为：该第2导光体的入射端面的端部与所述第1导光体的出射端面的端部接合。9.根据权利要求8所述曝光照明装置，其中，所述第丨导光体与所述第2导光体之间设置光学构件，通过所述光学构件，将从所述第1导光体出射的光束会聚并入射到所述第2导光体。10.根据权利要求9所述曝光照明装置，其中，所述第2导光体为棒状积分器或复眼积分器。

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