申请/专利权人：株式会社尼康

申请日：2016-06-17

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111665686A

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101);H04N1/113(20060101);G02B26/10(20060101);G02B26/12(20060101)

优先权：["20150617 JP 2015-121839"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.05#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：本发明的图案描绘装置及图案描绘方法，稳定地维持描绘超详细图案所需的扫描线的配置精度或光学性能。图案描绘装置EX，使基板P上所聚光的光点SP沿着描绘线SL进行主扫描，并且使基板P进行副扫描，藉此于基板P上描绘既定图案；该图案描绘装置EX使由多面镜PM反射的第1光束LBa聚光并作为光点SPa而投射至第1描绘线SLa上，并且使由多面镜PM反射的第2光束LBb聚光并作为光点SPb而投射至第2描绘线SLb上。上述两条描绘线SLa、SLb于基板P上位于副扫描方向上的相同位置，且于主扫描方向上错开。

主权项：1.一种图案描绘方法，一边沿着副扫描方向搬送被照射体、一边使来自光源装置的光束呈点状地聚光于上述被照射体上，使聚光后的光点沿着于与上述副扫描方向正交的主扫描方向延伸的扫描线进行主扫描，藉此在上述被照射体上描绘既定图案，其包含如下步骤：将来自上述光源装置的第1光束从第1方向朝旋转多面镜的1个反射面投射；将来自上述光源装置的第2光束从与上述第1方向不同的第2方向朝上述旋转多面镜的其他反射面投射；通过上述旋转多面镜的旋转，对射入至上述旋转多面镜的不同反射面而反射的上述第1光束及上述第2光束进行偏向扫描；使由上述旋转多面镜反射的上述第1光束聚光并作为第1光点而投射至第1扫描线上；使由上述旋转多面镜反射的上述第2光束聚光并作为第2光点而投射至第2扫描线上；以及以旋动中心轴为中心，使上述第1扫描线与上述第2扫描线旋动，上述旋动中心轴相对于上述被照射体的面垂直，且设定于上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社尼康 图案描绘方法

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