申请/专利权人：FEI 公司

申请日：2016-02-23

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN105914159B

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101)

优先权：["20150224 US 14/630416"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.15#授权;2018.03.23#实质审查的生效;2016.08.31#公开

摘要：本发明涉及利用已知形状薄片自动STEM采集和计量的图形匹配。一种方法，所述方法用于在电子显微镜，如SEM、TEM或STEM中将在薄片中感兴趣区域中的特征自动成像而不需要先行了解待成像特征，因此使得能够通过从第一图像位置步进来获得多个电子显微图像，而不需要使用对单独图像特征的图像识别。通过消除对图像识别的需要，可以获得图像采集率的实质性增加。

主权项：1.一种将薄片窗口上的感兴趣区域中的特征在透射电子显微镜中自动成像而不需要了解待成像的所述特征的方法，包括：在透射电子显微镜中的透射电子显微镜栅格上提供具有已知几何形状的薄片，所述薄片具有薄片窗口，所述薄片窗口包括所述薄片的被减薄至比所述薄片的其余部分更小厚度的一部分，所述薄片窗口包括所述感兴趣区域的至少一部分；引导电子束朝向所述透射电子显微镜栅格以形成包括所述薄片窗口的图像；确定所述图像内的所述薄片窗口的周界；确定所述感兴趣区域的取向，其中所述感兴趣区域的取向限定步进方向；获得所述感兴趣区域的一部分的第一图像以辨认所述感兴趣区域的一部分；以及通过从所述第一图像的位置沿所述步进方向步进来获得多个图像，以获得所述感兴趣区域的部分的多个图像，其中获得所述多个图像而不使用对所述感兴趣区域中的待查看的单独特征的图像识别。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI 公司 利用已知形状薄片自动S/TEM采集和计量的图形匹配

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD