申请/专利权人:株式会社村田制作所
申请日:2018-08-27
公开(公告)日:2020-09-18
公开(公告)号:CN111683896A
主分类号:B81B3/00(20060101)
分类号:B81B3/00(20060101);H03H9/24(20060101);B81C3/00(20060101);H01L41/047(20060101);H01L41/053(20060101);H01L41/09(20060101);H01L41/113(20060101);H01L41/187(20060101)
优先权:["20180209 JP 2018-022278"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.11.10#授权;2020.10.20#实质审查的生效;2020.09.18#公开
摘要:本发明具备:压电膜;第一电极以及第二电极,它们夹着该压电膜;保护膜,其设置为覆盖第二电极的至少一部分,具有将第二电极的一部分开口的开口部;第三电极,其设置为至少在开口部与第二电极接触,且覆盖保护膜的至少一部分;以及第一布线层,其具有与第三电极接触的第一接触部。
主权项:1.一种MEMS设备,其中,具备:压电膜;第一电极以及第二电极,它们夹着该压电膜;保护膜,其设置为覆盖所述第二电极的至少一部分,且具有将所述第二电极的一部分开口的开口部;第三电极,其设置为至少在所述开口部与所述第二电极接触,且覆盖所述保护膜的至少一部分;以及第一布线层,其具有与所述第三电极接触的第一接触部。
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