申请/专利权人:优志旺电机株式会社
申请日:2014-10-28
公开(公告)日:2020-09-18
公开(公告)号:CN104714267B
主分类号:G02B5/30(20060101)
分类号:G02B5/30(20060101)
优先权:["20131211 JP 2013-255600"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.09.18#授权;2016.10.19#实质审查的生效;2015.06.17#公开
摘要:一种栅偏振元件,通过做成防止由氧化性气体带来的劣化的构造,从而适当地用于紫外域的光的偏振用。在透明基板1上设有由许多线状部21构成的条纹状的栅层2的构造的栅偏振元件能够使紫外线偏振,栅层2被气体阻断层3覆盖,该气体阻断层将活性氧或臭氧那样的通过紫外线生成的氧化性气体阻断。气体阻断层3在偏振的光的波长中是透明的。
主权项:1.一种栅偏振元件,能够使紫外线偏振,其特征在于,具备透明基板、和设在透明基板上的栅层;栅层是由多个线状部构成的条纹状,各线状部由在接触到由于紫外线生成的氧化性气体时能够劣化的材料形成;栅层被将氧化性气体阻断的气体阻断层覆盖,各线状部之间的空间为被气体阻断层封闭的空间;气体阻断层在偏振的光的波长中是透明的,气体阻断层进入到各线状部之间的空间中而将各线状部的侧面覆盖直至该侧面的下端,并且在各线状部之间不覆盖透明基板,气体阻断层在各线状部的侧面处的平均厚度是各线状部的宽度的50%以下,气体阻断层在各线状部的上表面上的厚度为100nm以上且500nm以下,上述气体阻断层在上述各线状部的侧面处的厚度在上述各线状部的高度方向上不均匀,在上述各线状部的顶部附近厚,在上述各线状部的底部附近薄。
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