申请/专利权人：株式会社东京精密

申请日：2018-02-13

公开（公告）日：2020-09-18

公开（公告）号：CN110267767B

主分类号：B24D5/12(20060101)

分类号：B24D5/12(20060101);B24B45/00(20060101);B28D5/02(20060101);H01L21/301(20060101)

优先权：["20170213 JP 2017-024400","20170213 JP 2017-024401","20170213 JP 2017-024402","20170213 JP 2017-024403","20170213 JP 2017-024404","20170714 JP 2017-138504"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.09.18#授权;2019.10.22#实质审查的生效;2019.09.20#公开

摘要：一种轮毂式刀片，围绕轴线O1旋转，其特征在于，具备：轮毂110，由铝合金构造并形成有刀片安装面111A；刀片主体130，被配置在所述刀片安装面111A上并在由镍或镍合金构造的金属母材中分散有金刚石超磨粒；以及双面粘着胶带120，被配置在所述轮毂110与所述刀片主体130之间，用于连接所述轮毂110与所述刀片主体130。

主权项：1.一种轮毂式刀片，用于切割半导体材料基板使之单片化为芯片状，其特征在于，具备：轮毂，围绕轴线能够旋转地形成，在所述轴线方向的一方侧形成有刀片安装面；刀片主体，被配置在所述刀片安装面；以及连接部，被配置在所述轮毂与所述刀片主体之间，用于在所述轮毂上安装并连接所述刀片主体，所述连接部由双面粘着胶带构成，所述双面粘着胶带的位于所述轮毂侧和所述刀片主体侧的双面具有粘着性，所述刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm。

全文数据：轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法技术领域本发明涉及用于切割半导体材料等基板使之单片化为芯片状的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法。本申请对于2017年2月13日在日本申请的特愿2017-024400号、特愿2017-024401号、特愿2017-024402号、特愿2017-024403号和特愿2017-024404号以及2017年7月14日在日本申请的特愿2017-138504号主张优先权，在此援用其内容。背景技术众所周知，当切割半导体材料等基板使之单片化为芯片状时，使用形成为圆形状的刀片，作为使刀片稳定旋转的一个方式，广泛使用在保持部件上保持刀片主体的轮毂式刀片例如，参照专利文献1。如图30所示，轮毂式刀片100的结构例如具备由铝合金构造的轮毂910和通过镀镍形成在轮毂910的一方侧表面的电铸刀片主体930，保持部件911与电铸刀片主体930被一体连接。所述以往的轮毂式刀片，例如如图31所示，准备比轮毂大径的铝基体金属S901，对铝基体金属的刀片形成面进行预处理，设为可镀镍的状态S902。而且，例如在分散有约5μm的金刚石超磨粒的镀镍液中浸渍实施了遮蔽的铝基体金属，通过对刀片形成面911A进行镀镍从而形成电铸刀片主体的原板S903。由于电铸刀片主体的原板的外周侧的厚度厚，因此使用圆筒磨削盘等对铝基体金属进行外径加工，使得电铸刀片主体的原板的厚度变得均匀S904。接着，通过对经外径加工的铝基体金属实施遮蔽并进行碱性蚀刻，从而溶解铝基体金属的外周部分并使规定尺寸的刀片主体在外周露出S905。然后，通过电解修整S906从刀片主体的表面溶解镍以使金刚石超磨粒露出，通过切块机修整使刀片主体外周的金刚石超磨粒露出约2μmS907，经过切块机预切S908、检查S909之后完成轮毂式刀片。专利文献1：日本特开平5-345281号公报A但是，所述以往的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法存在以下所示的问题。第一：由于铝比镍的热膨胀系数大，因此在镀镍液内在约40℃～50℃的温度范围在铝基体金属形成的电铸刀片主体在冷却至常温的过程中，并不能追随铝基体金属的收缩，压缩应力残留在电铸刀片主体，通过碱性蚀刻使刀片主体露出时可能会产生变形或翘曲。刀片主体的变形或翘曲会极大影响轮毂式刀片的切割品质，有可能使切割线产生弯曲或产品产生缺陷，因此无法出厂，作为次品被废弃，从而增加废料成本，造成制造成本增大。第二：由于通过分散镀形成的电铸刀片主体的外周侧的厚度较厚形成，因此需要通过外周加工去除厚的部分使其成为均匀的厚度。进而，当进行外径加工时，为了抑制在刀片主体产生的变形，在减小加工负荷的基础上需要长时间。其结果导致成本增大。第三：由于对铝基体金属进行碱性蚀刻以使金刚石超磨粒从刀片主体露出，因此对刀片主体稳定地精加工为希望的厚度和突出量并不容易。第四：当对铝基体金属进行碱性蚀刻时，需要使其浸渍到约80℃的碱性液中，可能会进一步产生膨胀差并产生铝基体金属与刀片主体的剥离。另外，碱性蚀刻需要耗费非常长的时间。发明内容本发明考虑这种事情而提出，目的在于提供一种能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法。因此，本发明人等对高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片的技术深入研究的结果开发了一种不会被以往技术拘束的划时代的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法。为了解决所述课题，本发明具备以下的1～15的方式。1一种轮毂式刀片，其特征在于，具备：轮毂，围绕轴线能够旋转地形成，在所述轴线方向的一方侧形成有刀片安装面；刀片主体，被配置在所述刀片安装面；以及连接部，被配置在所述轮毂与所述刀片主体之间，用于在所述轮毂上安装并连接所述刀片主体，所述连接部由双面粘着胶带构成，所述双面粘着胶带的位于所述轮毂侧和所述刀片主体侧的双面具有粘着性。根据所述1的轮毂式刀片，由于具备轮毂、刀片主体以及连接部，分别形成的轮毂与刀片主体通过连接部安装，因此能够分别检查轮毂与刀片主体，仅使用满足品质特性例如，磨粒的含量、厚度、翘曲、外观等的轮毂和刀片主体来制造。其结果是不会伴随着刀片主体的品质不合格而废弃基体金属轮毂，能够削减制造成本。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。另外，根据所述1的轮毂式刀片，由于当从轮毂突出刀片主体时，无需通过加工或蚀刻去除基体金属，因此能够抑制因材料损耗引起的生产率下降并缩短加工时间。其结果是能够大幅缩短伴随着制造的前置时间，并且以低成本且较短的前置时间制作高精度的试制品。根据所述1的轮毂式刀片，通过从使用后的轮毂式刀片中拆掉刀片主体，从而能够容易地再次利用轮毂。其结果是能够实现节省资源并且削减制造成本。另外，在轮毂上一体形成刀片主体的情况下，在刀片主体产生因分散镀引起的品质不合格时，与刀片主体一起废弃基体金属，但由于通过安装满足品质特性的刀片主体从而抑制了因分散镀引起的轮毂式刀片的品质不合格，因此能够削减制造成本。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而抑制了刀片主体中产生基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，根据所述1的轮毂式刀片，由于轮毂式刀片具备位于轮毂侧与所述刀片主体侧的双面具有粘着性的双面粘着胶带以作为连接部，因此连接部的结构简单，通过管理双面粘着胶带的品质从而能够高效且稳定地安装轮毂与刀片主体。另外，通过轮毂与刀片主体经由双面粘着胶带连接，从而刀片主体在轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，抑制了当刀片主体碰到加工对象物时刀片主体破裂的情况。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而抑制了刀片主体中基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。另外，能够构造一种轮毂式刀片，其具备无法通过镀覆形成刀片主体的材质的轮毂或无法通过镀覆形成的刀片主体。在本说明书中，在轮毂上安装刀片主体是指通过连接部连接分别作成的轮毂与刀片主体来构造一种一体的轮毂式刀片，例如是在轮毂上通过镀覆或蒸镀等直接形成刀片主体以外的方式，包括由粘接胶带包含双面粘接胶带所进行的连接、由涂布的具有粘着性的树脂即通过粘着力连接的树脂以下，称为粘着性树脂所进行的连接、使用粘接胶带和粘接剂来连接的方式、通过涂布的粘着性树脂的粘着力来连接的方式。另外，在本说明书中，在“在轮毂上安装刀片主体的连接部”中包含例如通过由粘接胶带包含粘着胶带、粘接剂硬化形成的粘接树脂部粘接层构成的接合部构成的连接部、通过组合这些而构成例如，由粘接胶带和粘接剂构成的连接部、通过在轮毂和刀片主体的至少一个上涂布的粘着性树脂的粘着力连接的连接部。在此，轮毂侧和刀片主体侧的至少一个通过粘着力连接的粘着性连接部因能够在短时间内连接这点而优选。另外，作为粘接胶带包含：在基材的双面配置有粘接剂的双面粘接胶带包含双面粘着胶带、在基材的单面配置有粘接剂的单面粘接胶带包含单面粘着胶带。另外，作为双面粘接胶带包含：在基材的两侧配置有粘着性树脂并通过粘着力连接的双面粘着胶带、在基材的一个面上配置有粘着性树脂并通过粘着力连接且另一个面上配置有经硬化而粘接的粘接剂的粘接胶带、在基材的两侧面配置有经硬化而粘接的粘接剂的粘接胶带。另外，双面粘着胶带是指如下的粘着胶带：其配置在轮毂与刀片主体之间，在轮毂侧与刀片主体侧这双面上配置有粘着性树脂并具有粘着性，通过该粘着力连接轮毂与刀片主体，该双面粘着胶带例如包含：在基材的双面配置例如，涂布有具有粘着性的粘着性树脂的粘着胶带、通过将粘着性树脂形成为片状从而在两侧的面具有粘着性并通过粘着力进行连接的结构等任意结构的粘着胶带。另外，作为粘接剂包含：具有流动性的粘接树脂、形成为片状的片状粘接树脂、在常温下不具有流动性而是根据温度等物理性条件具有流动性并通过硬化来作为粘接剂发挥功能的粘接剂、通过紫外线硬化的紫外线硬化性树脂、厌氧粘接剂、在使用前具有粘着性并经过硬化来构成粘接树脂部的粘接剂等。2一种轮毂式刀片，其特征在于，具备：轮毂，围绕轴线能够旋转地形成，在所述轴线方向的一方侧形成有刀片安装面；刀片主体，被配置在所述刀片安装面；以及粘接树脂部，被配置在所述轮毂与所述刀片主体之间，用于连接所述轮毂与所述刀片主体。根据所述2的轮毂式刀片，由于是具备轮毂、刀片主体以及粘接树脂部且分别形成的轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接的结构，因此能够分别检查轮毂与刀片主体，仅使用满足品质特性例如，磨粒的含量、厚度、翘曲、外观等的轮毂和刀片主体来制造轮毂式刀片。另外，通过由粘接树脂部连接轮毂与刀片主体，从而刀片主体在轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，抑制了当刀片主体碰到加工对象物时刀片主体破裂的情况。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。另外，不会伴随着刀片主体的品质不合格而废弃基体金属轮毂，能够削减制造成本。另外，根据所述2的轮毂式刀片，由于当突出刀片主体时，无需通过加工或蚀刻去除基体金属，因此能够抑制因材料损耗引起的生产率下降并缩短加工时间。其结果是能够大幅缩短伴随着制造的前置时间，并且以低成本且较短的前置时间制作高精度的试制品。另外，能够构造一种轮毂式刀片，其具备无法通过镀覆形成刀片主体的材质的轮毂和无法通过镀覆形成的刀片主体。另外，通过从使用后的轮毂式刀片去除粘接树脂部来拆掉刀片主体再次利用轮毂，从而能够实现节省资源并且削减制造成本。在本说明书中，粘接树脂部是指在轮毂与刀片主体之间涂布或配置的粘接剂通过随时间变化、干燥、化学反应等硬化从而连接粘接轮毂与刀片主体的部分。另外，作为粘接剂包含：具有流动性的粘接树脂、形成为片状的片状粘接树脂、在常温下不具有流动性而是根据温度等物理条件具有流动性并硬化从而作为粘接剂发挥功能的粘接剂、通过紫外线硬化的紫外线硬化性树脂、厌氧粘接剂、在使用前具有粘着性且经过硬化来构成粘接树脂部的粘接剂等。另外，还可以在配置在轮毂侧的连接树脂部与配置在刀片主体侧的连接树脂部之间配置部件例如，间隔物等。另外，粘接树脂部粘接剂还可以通过导电性物质等的混合物分散等、多个物质构成。另外，在轮毂上安装刀片主体是指将分别形成的轮毂与刀片主体，一体连接为作为轮毂式刀片可使用的状态，不包含例如通过镀覆或蒸镀等在轮毂上直接形成刀片主体的意思。3根据所述1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由铝或铝合金形成。根据所述3的轮毂式刀片，所述轮毂由铝或铝合金形成，从而能够高速旋转并高效地进行切割。4根据所述1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由镁或镁合金形成。根据所述4的轮毂式刀片，所述轮毂由镁或镁合金形成，从而所述轮毂的比强度大，能够高速旋转并高效地进行切割。另外，由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生并稳定地进行切割。5根据所述1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由钛或钛合金形成。根据所述5的轮毂式刀片，由于所述轮毂例如由与铝合金相比较，比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够更高速旋转，进一步高效地进行切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。6根据所述1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由塑料形成。根据所述6的轮毂式刀片，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。7根据所述6所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由聚碳酸酯形成。根据所述7的轮毂式刀片，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，能够高效地进行切割。8根据所述1～6所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片主体具备金属母材和分散在所述金属母材中的磨粒。根据所述8的轮毂式刀片，由于刀片主体具备金属母材和分散在所述金属母材中的磨粒，因此能够高速旋转，并能够高效地进行切割。9根据所述8所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述金属母材由镍或镍合金构成，所述磨粒为金刚石超磨粒。根据所述9的轮毂式刀片，由于所述金属母材为镍或镍合金，因此例如即使将刀片主体的厚度设为约30μm左右的薄壁，也能够确保适于切割的刚性，并且由于磨粒为金刚石超磨粒，因此能够高速旋转且高效地进行切割。10根据所述1所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm，且在所述刀片主体中与双面粘着胶带连接的连接面被形成为磨粒被配置在与连接面相比更靠内方的平坦面。根据所述10的轮毂式刀片，对于刀片主体的与双面粘着胶带连接的连接面来说，由于磨粒不从例如以金属母材为代表的母材突出而是被埋设设置在与连接面相比更靠内方，该连接面被形成为几乎没有凹凸的平坦面，因此能够稳定粘贴双面粘着胶带。其结果是能够在轮毂上稳定安装刀片主体。另外，对于刀片主体的与双面粘着胶带连接的连接面来说，由于磨粒不从例如以金属母材为代表的母材突出而是被埋设设置在与连接面相比更靠内方，该连接面被形成为几乎没有凹凸的平坦面，因此能够稳定粘贴双面粘着胶带。其结果是能够在轮毂上稳定安装刀片主体。另外，由于轮毂的刀片安装面的表面粗糙度Rmax被形成为0～20μm，因此能够在轮毂上稳定粘贴双面粘着胶带。其结果是能够在轮毂上稳定安装刀片主体。11根据所述2～6中的任一项所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm。根据所述11的轮毂式刀片，由于轮毂的刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm，因此能够在轮毂上稳定粘贴双面粘着胶带。其结果是能够在轮毂上稳定安装刀片主体。12一种轮毂式刀片制造方法，用于制造具备轮毂和与所述轮毂连接的刀片主体且围绕轴线能够旋转的轮毂式刀片，其特征在于，具备：准备刀片坯料的刀片坯料准备工序；准备轮毂的轮毂准备工序；刀片安装工序，在所述轮毂的刀片安装面上通过双面粘着胶带安装所述刀片坯料；以及外径加工工序，将安装在所述刀片安装面的刀片坯料形成为与所述轮毂同轴的圆形，在所述外径加工工序中，使安装在所述刀片安装面的刀片坯料与被照射激光束的加工部位在以所述轮毂的轴线为中心的圆轨道上相对移动的同时照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形。13一种轮毂式刀片制造方法，用于制造具备轮毂和与所述轮毂连接的刀片主体且围绕轴线能够旋转的轮毂式刀片，其特征在于，具备：准备刀片坯料的刀片坯料准备工序；准备轮毂的轮毂准备工序；刀片安装工序，在所述轮毂的刀片安装面上通过粘接剂安装所述刀片坯料；以及外径加工工序，将安装在所述刀片安装面的刀片坯料形成为与所述轮毂同轴的圆形，在所述外径加工工序中，使安装在所述刀片安装面的刀片坯料与被照射激光束的加工部位在以所述轮毂的轴线为中心的圆轨道上相对移动的同时照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形。根据所述12或13的轮毂式刀片制造方法，由于具备刀片坯料准备工序、轮毂准备工序、在轮毂的刀片安装面上通过连接部双面粘着胶带或粘接剂安装刀片坯料的刀片安装工序、以及将安装在刀片安装面的刀片坯料形成为与轮毂同轴的圆形的外径加工工序，从而能够分别检查轮毂与刀片主体，仅使用满足品质特性例如，磨粒的含量、厚度、翘曲、外观等的轮毂与刀片主体来制造轮毂式刀片。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。另外，由于当从轮毂突出刀片主体时，不需要通过加工或蚀刻去除基体金属，因此能够抑制因材料损耗引起的生产率的下降并实现制造成本削减。另外，伴随着使刀片主体突出的加工时间消除，能够缩短制造时间。其结果是能够大幅缩短伴随着制造的前置时间，并且以低成本且较短的前置时间制作高精度的试制品。另外，根据所述12的轮毂式刀片制造方法，通过从使用后的轮毂式刀片中拆掉刀片主体，从而能够容易地再次利用轮毂。其结果是能够实现节省资源并且削减制造成本。另外，能够制造一种轮毂式刀片，其具备无法通过镀覆形成刀片主体的材质的轮毂和无法通过镀覆形成的刀片主体。另外，通过从使用后的轮毂式刀片去除粘接树脂部来拆掉刀片主体再次利用轮毂，从而能够实现节省资源并且削减制造成本。另外，由于通过安装满足品质特性的刀片主体，从而抑制了因分散镀引起的轮毂式刀片的品质不合格，因此能够削减制造成本。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而抑制了刀片主体中基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，在所述外径加工工序中，由于使安装在所述刀片安装面的刀片坯料与被照射激光束的加工部位在以所述轮毂的轴线为中心的圆轨道上相对移动的同时照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形，因此能够在短时间切割刀片坯料。其结果是能够在短时间稳定地形成与轮毂同轴的高精度的刀片主体。14根据所述12或13所述的轮毂式刀片制造方法，其特征在于，在所述外径加工工序中，向所述加工部位供给冷却液，并且照射激光束，从而将所述刀片坯料的外形加工为圆形。根据所述14的轮毂式刀片制造方法，通过在所述外径加工工序中，向所述加工部位供给冷却液，并且照射激光束，从而将所述刀片坯料的外形加工为圆形，因此能够高精度且高效地形成刀片主体的外径。其结果是能够在短时间稳定地形成与轮毂同轴的高精度的刀片主体。15根据所述14所述的轮毂式刀片制造方法，其特征在于，在所述外形加工工序中，在进行外形加工的加工部位形成喷流液柱，通过所述喷流液柱引导激光束来照射所述加工部位。根据所述15的轮毂式刀片制造方法，由于通过在进行外径加工的加工部位形成喷流液柱，通过该喷流液柱引导激光束来照射加工部位，从而对刀片主体进行外径加工，因此能够进一步高精度且高效地形成刀片主体的外径。其结果是能够在更短时间稳定地形成与轮毂同轴的高精度的刀片主体。根据本发明所涉及的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法，能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。附图说明图1是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的一例的立体图。图2是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的图，是在图1中由箭头II-II所示的剖视图。图3是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的放大的局部剖视图。图4是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图5是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的图，是示出制造刀片坯料的顺序的概略的流程图。图6A是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是示出制造刀片坯料原板时的SUS基体金属准备的概略的概念图。图6B是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是示出通过分散镀形成有刀片坯料原板的状态的概略结构的概念图。图6C是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明实施了蚀刻前的遮蔽的刀片坯料原板的概略的概念图。图6D是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明蚀刻处理后的刀片坯料原板的概略的概念图。图6E是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明对于刀片坯料原板的内径加工的概略的概念图。图7A是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的预处理工序后的轮毂的概略结构的一例的概念图。图7B是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中粘贴有双面粘着胶带的状态的轮毂的概略结构的概念图。图7C是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中通过双面粘着胶带粘贴有刀片坯料的状态的中间产品的概略结构的概念图。图7D是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的刀片主体的外形加工的概略的概念图。图8是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中外径加工工序后的中间产品的概略结构的剖视图。图9是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中切块机修整工序后的成品的概略结构的剖视图。图10是说明本发明的第二实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的图，是在图1中由箭头X-X所示的剖视图。图11是说明本发明的第二实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的放大的局部剖视图。图12是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的图，是在图1中由箭头XII-XII所示的剖视图。图13是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的放大的局部剖视图。图14是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图15是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的图，是示出制造刀片坯料的顺序的概略的流程图。图16A是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是示出制造刀片坯料原板时的SUS基体金属准备的概略的概念图。图16B是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是示出通过分散镀形成有刀片坯料原板的状态的概略结构的概念图。图16C是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明从SUS基体金属分离的状态的刀片坯料原板的概略的概念图。图16D是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明蚀刻处理后的刀片坯料原板的概略的概念图。图16E是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图，是说明对于刀片坯料原板的内径加工的概略的概念图。图17A是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的预处理工序后的轮毂的概略结构的一例的概念图，是强调示出刀片安装面的凹凸的图。图17B是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上涂布有粘接剂的中间产品的概略结构的概念图。图17C是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上粘接有刀片坯料的状态的中间产品的概略结构的概念图。图17D是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的外形加工的概略的概念图。图18是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中外径加工工序后的中间产品的概略结构的剖视图。图19是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中进行修锐目立て后的轮毂式刀片的概略结构的剖视图。图20是说明本发明的第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图21是说明本发明的第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上配置片状树脂形成的中间产品的概略结构的概念图。图22是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、在图1中由箭头XXII-XXII所示的放大的局部剖视图。图23是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图24A是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在轮毂的刀片安装面上涂布有粘接剂的状态的概略结构的图。图24B是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在刀片安装面上粘接有粘着胶带的状态的概略的图。图24C是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在轮毂上安装有刀片坯料的中间产品的概略结构的图。图25是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、在图1中由箭头XXV-XXV所示的放大的局部剖视图。图26是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图27A是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在刀片坯料上涂布有粘接剂的状态的概略结构的图。图27B是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在刀片坯料上粘接有粘着胶带的状态的概略结构的图。图27C是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在刀片坯料上粘接的粘着胶带上粘贴轮毂的状态的概略结构的图。图27D是说明本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在轮毂上安装有刀片坯料的中间产品的概略结构的图。图28是说明本发明的第七实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、在图1中由箭头XXVIII-XXVIII所示的放大的局部剖视图。图29是说明本发明的第八实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的一例的、在图1中由箭头XXIX-XXIX所示的剖视图。图30是说明以往的轮毂式刀片的概略结构的一例的包含轴线的剖视图。图31是说明以往的轮毂式刀片制造工序的概略的一例的流程图。具体实施方式下面，参照图1～图3，对本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。图1是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的一例的立体图，图2是在图1中由箭头II-II所示的剖视图，图3是放大的局部剖视图。在图1～图3中，附图标记100表示轮毂式刀片，附图标记110表示轮毂，附图标记120表示双面粘着胶带，附图标记130表示刀片主体。如图1所示，轮毂式刀片100例如具备轮毂110、双面粘着胶带120和刀片主体130，能够切割晶圆半导体材料等基板使之单片化为IC芯片芯片状等。如图1～图3所示，轮毂110例如具备最大外径被形成为55.4mm且在轴线O1方向的一方侧形成有刀片安装面111A并随着朝向轴线O1的另一方侧而缩径的刀片安装部11、和与刀片安装部11的轴线O1方向的另一方侧连接的驱动源连接部12。另外，在轮毂110的内周沿着轴线O1形成有圆筒形状的安装孔10H。另外，轮毂110例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂110例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。另外，刀片安装面111A为了确保双面粘着胶带120的有效粘贴，例如优选通过研磨加工等设为表面粗糙度Rmax0～20μmJISB0601-1982的平滑的加工面。如图3所示，双面粘着胶带120例如具备胶带基材121、涂布在胶带基材121的一侧面的粘着剂122和涂布在另一侧面的粘着剂123，双面粘着胶带120被形成为外周与轮毂110的外径对应，并且内周与刀片主体的内径刀片坯料的内径对应的圆环状。在本实施方式中，双面粘着胶带120例如具备胶带基材121、在胶带基材121的一侧面上涂布而具有粘着性的粘着剂122、和在胶带基材121的另一侧面上涂布的粘着剂123。另外，双面粘着胶带120的外径、厚度例如0.1mm以下、弹性系数、保持力粘着力等例如优选被设定为能够保持刀片主体130的平面度相对于轴线O1的直角度且通过轮毂式刀片1切割对象物时的切割扭矩产生的扭曲变形不导致刀片主体130的损坏。另外，双面粘着胶带120优选具有导电性。胶带基材121在本实施方式中例如由厚度25μm的铝箔构成，具有粘着性的粘着剂122、123由混入有导电性粒子的丙烯酸树脂构成，作为双面粘着胶带120的厚度为85μm。另外，轮毂110与刀片主体130之间的电阻约为4.5Ω。此外，可以任意地设置双面粘着胶带120是否具有导电性。作为具有胶带基材的双面粘着胶带，例如作为具有导电性的胶带，可以适用AL-25DC商品名：3M日本株式会社3Mジャパン株式会社制。另外，也可以适用T7620商品名：迪睿合株式会社デクセリアルズ株式会社制、7848YCWB商品名：积水化学工业株式会社積水化学工業株式会社制、7840YCWB商品名：积水化学工业株式会社制等。另外，也可以适用如X-7001商品名：3M日本株式会社制那样以褶皱的导电布为基材的胶带，或者如9720S商品名：3M日本株式会社制那样以无纺布为基材的胶带。另外，作为非导电性的胶带，也可以适用#8602TNFW-05商品名：DIC株式会社DIC株式会社制等。刀片主体130例如为外径55.05mm、刀片厚度0.015～0.04μm例如20μm的圆板状，在内周侧与轴线O1同轴形成有直径42.00mm的圆形孔30H。另外，刀片主体130例如包括以镍Ni或镍合金为主成分的合金构成的金属母材31、和分散在金属母材31中的金刚石超磨粒磨粒32。作为构成金属母材的以镍为主成分的合金，例如优选适用镍-磷Ni-P、镍-钴Ni-Co、镍-硼Ni-B。另外，金刚石超磨粒32例如由3～10μm平均粒径5μm、集中度50～125的金刚石构成。另外，金刚石超磨粒32例如从金属母材31的表面露出约2μm左右。另外，位于刀片主体130的内周侧且通过双面粘着胶带120与轮毂110连接的连接面130T例如被形成为金刚石超磨粒32不从金属母材31的表面突出的平坦面。另外，在刀片主体130中位于与轮毂110相反的一侧的露出面130F及位于刀片主体130的外周的突出部从由镀镍构成的金属母材31露出金刚石超磨粒32。另外，在刀片主体130的突出部，例如在轴向O1方向的一方侧与另一方侧形成有倒角状的修锐部30C。另外，图3所示的修锐部30C是一例，修锐部30C的形态可根据切割对象物适当地设定。下面，参照图4～图9，对本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略进行说明。图4是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图5是说明本发明的第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的图，是示出制造刀片坯料的顺序的概略的流程图。如图4所示，轮毂式刀片制造工序例如具备刀片坯料制造工序S101、和从准备轮毂S102到完成轮毂式刀片S109为止的工序。下面，参照图5、图6A～图6E，对第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的刀片坯料的制造顺序的概略进行说明。图6A～图6E是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图。在图6A～图6E中，附图标记SUS表示SUS基体金属不锈钢基体金属，附图标记W130表示刀片坯料，附图标记W301、W302表示刀片坯料原板。如图5所示，刀片坯料制造工序例如具备SUS基体金属准备工序S11、分散镀工序S12、遮蔽工序S13、蚀刻工序S14和内径加工工序S15，经过这些一系列工序，完成刀片坯料S16。1SUS基体金属准备工序首先，准备适于形成具有与轮毂对应的外径的刀片坯料的SUS基体金属不锈钢制基体金属S11。图6A是表示制造第一实施方式所涉及的刀片坯料原板时的SUS基体金属准备的概略的概念图。SUS基体金属SUS例如由不锈钢圆板构成，由分散镀形成刀片坯料原板的镀镍形成面S10优选进行镜面处理。另外，如图6A所示，SUS基体金属SUS优选按照刀片坯料的形状对不需要镀镍的部分实施遮蔽M1。另外，SUS基体金属SUS的外径例如优选被设定为即使在SUS基体金属的镀镍形成面S10上形成的刀片坯料原板的外周侧较厚地形成，在将刀片坯料安装在轮毂上并经过外径加工和切块机修整之后刀片主体的刃厚及变形等也在轮毂式刀片的尺寸公差内。2分散镀工序接着，对SUS基体金属进行含有金刚石超磨粒的分散镀来形成刀片坯料原板S12。图6B是表示在SUS基体金属SUS的镀镍形成面S10上，通过分散镀形成有刀片坯料原板的状态的概略结构的概念图。在分散镀工序中，将含有金刚石超磨粒的镀镍液储存在分散镀装置未图示中，在镀镍液中配置SUS基体金属SUS。而且，一边搅拌镀镍液，一边将镍作为阳极并通过电解镀方式在SUS基体金属SUS的镀覆形成面S10上使镀镍成长。如图6B所示，其结果是在镀镍形成面S10上形成呈刀片坯料原板W301的分散镀镍层分散有金刚石超磨粒的镍层。刀片坯料原板W301从SUS基体金属SUS剥离之后，检查金刚石含量、刃厚、翘曲和外观等。此外，代替镀镍液，还可以使用含有金刚石超磨粒的Ni-P或Ni-B镀覆液形成刀片坯料原板。另外，由分散镀镍层形成刀片坯料原板的情况下不需要热处理，但在由Ni-P或Ni-B镀层形成刀片坯料原板的情况下，由于Ni-P或Ni-B是析出硬化型，因此热处理例如，250℃×1hr是有效的。另外，也可以代替电解镀法，由无电解镀法形成镀层。3遮蔽工序接着，对从SUS基体金属剥离的刀片坯料原板上不需要蚀刻处理的部分进行遮蔽S13。图6C是说明实施蚀刻前遮蔽的刀片坯料原板的概略的概念图。如图6C所示，在本实施方式中，对位于镀镍形成面S10侧且金刚石超磨粒32不会从由镀镍构成的金属母材31突出而设为表面粗糙度小的镜面状平坦面的连接面130T实施遮蔽M2。4蚀刻工序接着，通过对施加了遮蔽的刀片坯料原板进行蚀刻处理，从而使金刚石超磨粒从由镀镍构成的金属母材露出以进行修锐S14。图6D是说明蚀刻处理后的刀片坯料原板W302的概略的概念图。蚀刻处理是将刀片坯料原板W301用蚀刻装置反向电解，从而从由镀镍构成的金属母材31溶解镍以使金刚石超磨粒32露出，形成刀片坯料原板W302。如图6D所示，刀片坯料原板W302在轮毂式刀片中位于与轮毂110相反的一侧的露出面130F及刀片主体的修锐部是金刚石超磨粒32从由镀镍构成的金属母材31露出，而对粘贴有双面粘着胶带的连接面130T来说，金刚石超磨粒32被配置在金属母材31的内部不从表面突出，从而该连接面130T被平坦地形成。5内径加工工序接着，对在蚀刻工序中进行修锐后的刀片坯料原板进行内径加工并形成刀片坯料S15。图6E是说明对于刀片坯料原板的内径加工的概略的概念图。如图6E所示，刀片坯料原板W302的内径加工向进行内径加工的部位供给液体例如，水，一边冷却一边照射激光束，在刀片坯料W302上加工圆形孔30H，形成刀片坯料303。此外，在向进行内径加工的部位供给液体的情况下，例如，优选在进行内径加工的部位形成喷流液水柱喷流水柱C，在使激光束L在该喷流水柱C内反射的同时引导至加工部位，从而对加工部位进行照射。因此，更优选将喷流水柱喷流液柱作为凹凸尽可能少的层流，使激光束L在喷流水柱C内全反射。另外，激光束L的波长例如优选为200～700nm。另外，也可以不供给水来照射激光束，也可以代替激光束加工，通过放电加工、研磨等众所周知的其他加工方法进行内径加工。6完成刀片坯料若满足品质检查，则完成刀片坯料W303。此外，S11～S16的工序表示一例，可以适当变更或省略。接着，参照图4、图7A～图7D、图8和图9，对从轮毂式刀片制造工序中的准备轮毂到完成轮毂式刀片S102～S109的详细内容进行说明。1轮毂准备工序首先，准备轮毂110S102。图7A是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的预处理工序后的轮毂的概略结构的一例的概念图。轮毂110例如通过使由铝合金构成的圆棒围绕轴线旋转来进行切削加工，并切割为各个轮毂来形成。其结果是形成如图7A所示的轮毂110。2刀片安装面的预处理工序接着，对轮毂的刀片安装面进行用于粘贴双面粘着胶带的预处理，使该刀片安装面成为规定的表面粗糙度S103。作为对刀片安装面111A的预处理，例如优选在切割为各个轮毂110时使切割面成为规定的表面粗糙度来进行切割从而兼作轮毂准备工序。另外，也可以对刀片安装面111A实施研磨加工或放电加工，使其具有规定的表面粗糙度。刀片安装面的表面粗糙度例如优选为表面粗糙度Rmax0～20μm。通过将刀片安装面设为表面粗糙度Rmax0～20μm，从而双面粘着胶带的粘着剂122、123在刀片安装面111A的整个面紧贴，充分发挥双面粘着胶带的粘接能力，并有效地抑制在切割过程中产生的微粒子等侵入轮毂110或刀片主体130与双面粘着胶带120220之间。3双面粘着胶带粘贴工序接着，在轮毂110的刀片安装面上粘贴双面粘着胶带S104。图7B是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中粘贴有双面粘着胶带的状态的轮毂的概略结构的概念图。在轮毂110的刀片安装面111A上粘贴双面粘着胶带120220时，使用预先被形成为与轮毂110的外径及刀片坯料W130的圆形孔30H对应的环形形状的双面粘着胶带120220。而且，例如通过夹具，将双面粘着胶带120220以其中心与轮毂110的旋转轴线O1对齐的方式粘贴。其结果是形成如图7B所示的、轮毂110的轴线O1与双面粘着胶带120220的轴线呈同轴的中间产品W101。4刀片主体安装工序接着，在轮毂上粘贴刀片坯料S105。图7C是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中通过双面粘着胶带粘贴刀片坯料的状态的中间产品的概略结构的概念图。在轮毂110上安装粘贴刀片坯料W130时，例如在平坦的固定盘上配置刀片坯料W130，通过夹具将轮毂110的轴线O1与刀片坯料130的圆形孔30H的中心轴O2对齐并将轮毂110载置到刀片坯料30上，并通过按压由双面粘着胶带120220粘贴并固定。其结果是形成如图7C所示的在轮毂110上粘贴有刀片坯料W130的中间产品。5外径加工工序接着，对在轮毂上粘贴的刀片坯料进行外径加工S106。图7D是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的刀片主体的外形加工的概略的概念图，图8是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中外径加工工序后的中间产品的概略结构的剖视图。如图7D所示，刀片坯料W130的外径加工向进行外径加工的部位供给液体例如，水，一边冷却一边照射激光束来对刀片坯料W130的外径进行加工。此外，在向加工部位供给液体时，例如优选在进行外径加工的部位形成喷流液水柱喷流水柱C，在使激光束L在该喷流水柱C内反射的同时引导至加工部位来照射，因此，更优选将喷流水柱喷流液柱C作为凹凸尽可能少的层流，使激光束L在喷流水柱C内全反射。另外，激光束L的波长例如优选为200～700nm。通过对中间产品W102进行外径加工，从而刀片坯料W130的外周被切割，形成如图8所示的中间产品W103。此外，也可以不供给水来照射激光束，也可以代替激光束加工，通过放电加工、研磨等众所周知的其他加工方法进行外径加工。6切块机修整工序接着，对经外径加工的刀片主体进行切块机修整以进行修锐S107。图9是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中切块机修整工序后的成品的概略结构的剖视图。切块机修整工序中的刀片主体130的修锐例如通过将中间产品W103设置在切块机并切割修整板来进行。通过对中间产品W103进行切块机修整，从而中间产品W103的刀片主体130被修锐，形成如图9所示的修锐部30C。7检查工序然后，实施轮毂式刀片的检查S108。轮毂式刀片1的检查例如对硅晶圆进行切割并测定切口宽度。除此以外，实施规定的检查，检查是否满足检查规格。此外，在检查工序中，可以省略刀片主体130从轮毂110的外周的突出长度。8完成轮毂式刀片若检查合格，则完成轮毂式刀片S109。此外，S101～S109的工序表示一例，可以适当变更或省略。根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片1及轮毂式刀片制造方法，由于其为分别形成的轮毂110和刀片主体130通过双面粘着胶带120连接的结构，能够分别检查轮毂110和刀片主体130，因此能够仅使用满足品质特性的轮毂和刀片主体130来制造。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片100。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，由于通过双面粘着胶带粘着性连接部120连接轮毂110与刀片主体130，因此能够在短时间进行连接。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片100，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第一实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第一实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，作为第一实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片1及轮毂式刀片制造方法，由于能够通过从使用后的轮毂式刀片1中拆掉刀片主体130，从而再次利用轮毂110，因此能够实现节省资源并削减制造成本。另外，根据第一实施方式的轮毂式刀片1及轮毂式刀片制造方法，由于不需要通过蚀刻去除轮毂的外周以使刀片主体130突出，因此能够抑制由材料损耗引起的生产率下降并能缩短加工时间。另外，伴随着使刀片主体130突出的加工时间消除，能够缩短制造时间。其结果是能够大幅缩短伴随着制造的前置时间，并且以低成本且较短的前置时间制作高精度的试制品。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片1及轮毂式刀片制造方法，通过在常温下将刀片主体130安装于轮毂110，从而能够抑制刀片主体130基于温度历史而产生变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片100的品质。根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片100，由于刀片主体130的连接面130T被形成为在金属母材31的内部配置有金刚石超磨粒32，不从表面突出的平坦面，因此能够在刀片主体130上稳定地粘贴双面粘着胶带120。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片100，由于刀片主体130通过双面粘着胶带120与轮毂110连接，因此通过双面粘着胶带120的弹性，刀片主体130在轮毂110的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体130碰到加工对象物时，能够抑制刀片主体130破裂。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片1及轮毂式刀片制造方法，由于刀片安装面111A被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm，能够稳定地粘贴双面粘着胶带120，因此能够在轮毂110上稳定地安装刀片主体130。另外，根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于通过共同加工对轮毂110和刀片坯料W130进行外径加工，因此能够高效地同轴构造轮毂110和刀片主体130。根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于在刀片坯料原板W301上对圆形孔30H进行内径加工时，在加工部位形成喷流液柱C，通过该喷流液柱C引导激光束L来照射加工部位，因此能够高精度且高效地形成刀片主体130的圆形孔30H。根据第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于在对刀片坯料130进行外径加工时，在加工部位形成喷流液柱C，通过该喷流液柱C引导激光束L照射到加工部位，因此能够高精度且高效地进行外径加工并形成。下面，参照图10和图11，对本发明的第二实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。图10是说明本发明的第二实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的一例的立体图，是在图1中由箭头X-X所示的剖视图。另外，图11是在图10中由XI所示的部分的放大图。在图10和图11中，附图标记200表示轮毂式刀片，附图标记110表示轮毂，附图标记220表示双面粘着胶带，附图标记130表示刀片主体。如图10所示，轮毂式刀片200例如具备轮毂110、双面粘着胶带粘着性连接部220和刀片主体130。关于轮毂110和刀片主体130与第一实施方式同样，因此标注相同的附图标记并省略说明。如图10和图11所示，双面粘着胶带220例如为具有粘性的粘着性树脂粘着剂形成为片状的胶带主体24在位于刀片主体130侧的一方侧的面222、以及位于轮毂110侧的另一方侧的面223具有粘着性的结构的粘着剂转印胶带。另外，双面粘着胶带220的外径、厚度、弹性系数、保持力粘着力等例如优选被设定为能够保持刀片主体130的平面度相对于轴线O1的直角度，且通过轮毂式刀片200切割对象物时的切割扭矩产生的扭曲变形不使刀片主体130产生损坏。另外，关于双面粘着胶带220的厚度，例如优选为厚度100μm以下，更优选为厚度30μm以上且50μm以下。另外，双面粘着胶带220优选具有导电性，作为一例，可以适用导电性粘接剂转印胶带9707商品名：3M日本株式会社制、9709S商品名：3M日本株式会社制、T4420W商品名：迪睿合株式会社制。此外，关于轮毂式刀片200的制造方法，除了使用双面粘着胶带220代替双面粘着胶带120这点以外，与第一实施方式同样，因此省略说明。根据第二实施方式所涉及的轮毂式刀片200，由于其为分别形成的轮毂110和刀片主体130由双面粘着胶带220连接的结构，能够仅使用满足品质特性的轮毂110和刀片主体130来制造，因此能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片200。另外，由于通过双面粘着胶带粘着性连接部220连接轮毂110与刀片主体130，因此能够在短时间进行连接。另外，根据第二实施方式所涉及的轮毂式刀片200，其为双面粘着胶带220不具备胶带基材的结构，能够适度抑制双面粘着胶带的弹性，抑制刀片主体130蜿蜒，从而稳定地进行切断。另外，根据第二实施方式所涉及的轮毂式刀片100，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第二实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生，从而稳定地切割。另外，作为第二实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，作为第二实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过双面粘着胶带220连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。下面，参照图1、图12～图13，对本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。图12是图1中箭头XII-XII所示的剖视图，图13是放大的局部剖视图。在图中，附图标记300表示轮毂式刀片，附图标记310表示轮毂，附图标记320表示粘接树脂部粘接剂，连接部，附图标记330表示刀片主体。如图1、图12及图13所示，轮毂式刀片300例如具备轮毂310、粘接树脂部粘接接，连接部320和刀片主体330，能够切割晶圆半导体材料等基板使之单片化为IC芯片等。如图1、图12和图13所示，轮毂310例如具备被形成为外径55.4mm且在轴线O1方向的一方侧形成有刀片安装面311A并随着朝向轴线O1的另一方侧而缩径的刀片安装部11、和与刀片安装部311的轴线O1方向的另一方侧连接的驱动源连接部12。另外，在轮毂310的内周沿着轴线O1形成有圆筒形状的安装孔10H。另外，轮毂310例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂110例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。另外，刀片安装面311A以构成粘接树脂部320的粘接剂有效地固定的方式，例如优选通过喷砂或喷丸等精加工为表面粗糙度Rmax5～50μmJISB06011982。另外，在轮毂由塑料形成时，例如，还可以在刀片安装面311A上实施形成以SiO2为构成成分的约10～100纳米nm的多个粒子的改质处理ITRO处理株式会社ITRO株式会社イトロ。粘接树脂部粘接剂，连接部320例如以环氧树脂或氰基丙烯酸酯树脂为主成分的粘接剂与轮毂310的外径及刀片主体的内径刀片坯料的内径对应地被涂布为圆环状之后经过硬化而形成。此外，代替环氧树脂或氰基丙烯酸酯树脂，还可以通过丙烯酸树脂类粘接剂等形成粘接树脂部320，粘接树脂部320的结构可以任意设定。另外，还可以适用在进行涂布时具有粘着性且在其后硬化的粘着性粘接剂来形成粘接树脂部320。另外，粘接树脂部320的外径、厚度例如，40μm～100μm、弹性系数、保持力粘接力等例如优选被设定为能够保持刀片主体330的平面度相对于轴线O1的直角度，且通过轮毂式刀片1切割对象物时的切割扭矩产生的扭曲变形不使刀片主体330产生损坏。另外，粘接树脂部320优选在轮毂310与刀片主体330之间具有作为触摸传感器发挥功能的程度的导电性，粘接树脂部320是否具有导电性可以任意设定。作为导电性粘接剂，例如，可以在溶剂例如，乙酸乙酯中稀释CN-3160L商品名：化研科技株式会社化研テック株式会社制、三键351C商品名：株式会社三键株式会社スリーボンド制、在环氧树脂中混合有银Ag类填料的三键3380商品名：株式会社三键制等适用。另外，例如还可以适用以紫外线硬化粘接剂延迟硬化型例如，AUV-8800商品名：新田明胶株式会社新田ゼラチン株式会社制、CV7831商品名：松下电器产业株式会社パナソニック株式会社制、SX-UV200商品名：施敏打硬株式会社セメダイン株式会社制、氰基丙烯酸酯类的瞬间粘接剂例如，ALTECOCN2商品名：株式会社安特固株式会社アルテコ制、ALTECOCN4商品名：株式会社安特固制、施敏打硬3000DXF商品名：施敏打硬株式会社制、施敏打硬3000DXLL商品名：施敏打硬株式会社制、施敏打硬3000DXL商品名：施敏打硬株式会社制、阿隆发EXTRA冲击商品名：东亚合成株式会社東亞合成株式会社制、阿隆发EXTRA4000商品名:东亚合成株式会社制为代表的不具有导电性的粘接剂来形成粘接树脂部320。另外，在适用不具有导电性的粘接剂时，例如，还可以通过将以微珍珠AU-201ミクロパールAU-201商品名：积水化学工业株式会社制为代表的金Au、银Ag等金属在粒子上涂覆而形成的导电性粒子例如，粒径10μm与环氧类粘接剂或丙烯酸类粘接剂混合并涂布使其硬化，从而使得轮毂310与刀片主体330可通过导电性粒子通电。刀片主体330例如被形成为外径55.05mm、刃厚0.015～0.04μm例如，20μm的圆板状，在外周的轴线O1方向的一方侧与另一方侧形成倒角状的角部30C。另外，在刀片主体330的内周侧例如形成有与轴线O1同轴的直径42.00mm的圆形孔30H。另外，刀片主体330例如包括以镍Ni或镍合金为主成分的合金构成的金属母材31、和分散在金属母材31中的金刚石超磨粒磨粒32。作为构成金属母材的以镍为主成分的合金，例如优选适用镍-磷Ni-P、镍-钴Ni-Co、镍-硼Ni-B。另外，金刚石超磨粒32例如由3～10μm平均粒径5μm、集中度50～125的金刚石构成。另外，金刚石超磨粒32例如从金属母材31的表面露出约2μm左右。下面，参照图14～图19，对本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略进行说明。图14是说明本发明的第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图15是表示第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中制造刀片坯料的顺序的概略的流程图。如图14所示，轮毂式刀片制造工序例如具备刀片坯料制造工序S301、和从准备轮毂S302到完成轮毂式刀片S309为止的工序。下面，参照图15、图16A～图16E，对第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的刀片坯料的制造顺序的概略进行说明。图16A～图16E是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的图。在图6A～图6E中，附图标记SUS表示SUS基体金属不锈钢基体金属，附图标记W330表示刀片坯料，附图标记W301、W302表示刀片坯料原板。如图15所示，刀片坯料制造工序例如具备SUS基体金属准备工序S31、分散镀工序S32、蚀刻工序S33和内径加工工序S34，经过这些一系列工序完成刀片坯料S35。1SUS基体金属准备工序首先，准备适于形成具有与轮毂对应的外径的刀片坯料的SUS基体金属不锈钢制基体金属S31。图16A是表示制造第三实施方式所涉及的刀片坯料原板时的准备SUS基体金属的概略的概念图。SUS基体金属SUS例如优选为由不锈钢构成的圆板构成，由分散镀形成刀片坯料原板的镀镍形成面S10进行镜面处理。另外，如图16A所示，SUS基体金属SUS优选对在镀镍形成面S10中不需要镀镍的部分实施遮蔽M1。另外，SUS基体金属SUS的外径例如优选被设定为即使在SUS基体金属的镀镍形成面S10上形成的刀片坯料原板的外周侧较厚地形成，也将刀片坯料安装在轮毂上，经过外径加工和切块机修整之后，刀片主体的刃厚、变形等在轮毂式刀片的尺寸公差内。2分散镀工序接着，对SUS基体金属进行含有金刚石超磨粒的分散镀来形成刀片坯料原板S32。图16B是表示在SUS基体金属SUS的镀镍形成面S10上通过分散镀来形成有刀片坯料原板的状态的概略结构的概念图。在分散镀工序中，将含有金刚石超磨粒的镀镍液储存在分散镀装置未图示中，在镀镍液中配置SUS基体金属SUS。而且，将镍作为阳极，一边搅拌镀镍液，一边通过电解镀法使镀镍在SUS基体金属SUS的镀覆形成面S10上成长。如图16B所示，其结果是在镀镍形成面S10上形成除了遮蔽M1的部分以外呈圆环状的刀片坯料原板W301的分散镀镍层分散有金刚石超磨粒的镍层。刀片坯料原板W301从SUS基体金属SUS剥离之后，检查金刚石含量、刃厚、翘曲和外观等。如图16C所示，从SUS基体金属SUS分离的刀片坯料原板W301与镀镍形成面S10相接的部分为金刚石超磨粒32不会从金属母材31突出的平坦面。此外，代替镀镍液，还可以使用含有金刚石超磨粒的Ni-P或Ni-B镀液来形成刀片坯料原板。另外，由分散镀镍层形成刀片坯料原板的情况下不需要热处理，但在由Ni-P或Ni-B镀层形成刀片坯料原板的情况下，由于Ni-P或Ni-B是析出硬化型，因此热处理例如，250℃×1hr是有效的。此外，还可以适用无电解镀法形成分散镀镍层。3蚀刻工序接着，通过对刀片坯料原板进行蚀刻处理，使金刚石超磨粒从由镀镍构成的金属母材露出以进行修锐S33。图16D是说明蚀刻处理后的刀片坯料原板W302的概略的概念图。蚀刻处理是将图16C所述的刀片坯料原板W301用蚀刻装置反向电解，从而从由镀镍构成的金属母材31溶解镍以使金刚石超磨粒32露出，形成刀片坯料原板W302。如图16D所示，刀片坯料原板W302在将轮毂式刀片中位于与轮毂310相反侧的露出面W330F及将涂布粘接剂的连接面W30B包括在内的整面上，金刚石超磨粒32从由镀镍构成的金属母材31露出。4内径加工工序接着，对在蚀刻工序中进行修锐的刀片坯料原板进行内径加工来形成刀片坯料S34。图16E是说明对于刀片坯料原板的内径加工的概略的概念图。如图16E所示，刀片坯料原板W302的内径加工向进行内径加工的部位供给液体例如，水，一边冷却一边照射激光束，从而在刀片坯料W302上加工圆形孔30H来形成刀片坯料303。此外，在向进行内径加工的部位供给液体的情况下，例如，优选在进行内径加工的部位形成喷流液水柱喷流水柱C，将激光束L在该喷流水柱C内反射的同时引导至加工部位来进行照射，因此，更优选将喷流水柱喷流液柱作为凹凸尽可能少的层流，使激光束L在喷流水柱C内全反射。另外，激光束L的波长例如优选为200～700nm。另外，也可以不供给水来照射激光束，也可以代替激光束加工，通过放电加工或其他众所周知的加工方法进行内径加工。5完成刀片坯料若满足品质检查，则完成刀片坯料W303S35。此外，S31～S35的工序表示一例，可以适当变更或省略。接着，参照图14、图17A～图17D、图18及图19，对轮毂式刀片制造工序中的从准备轮毂到完成轮毂式刀片S302～S309的详细内容进行说明。1轮毂准备工序首先，准备轮毂S302。图17A是说明第一实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的预处理工序后的轮毂的概略结构的一例的概念图，是强调示出刀片安装面的凹凸的图。轮毂310例如通过使由铝合金构成的圆棒围绕轴线旋转来进行切削加工，并切割为各个轮毂来形成。轮毂310为了使粘接剂稳定地固定，优选在预处理工序中在刀片安装面11A形成凹凸。2刀片安装面的预处理工序接着，对刀片安装面进行预处理，形成适于粘接剂固定的表面粗糙度的凹凸S303。对于刀片安装面311A的预处理，例如优选通过使用了#120约90～108μm的氧化铝Al2O3的喷砂或喷丸实施。另外，在轮毂由塑料形成时，代替喷沙或喷丸，还可以根据构造轮毂的塑料的材质等，适宜适用电晕处理、火焰处理、等离子体处理等改质处理提高刀片安装面311A的粘接剂固定。其结果是形成如图17A所示的刀片安装面311A具有凹凸且被涂布的粘接剂可稳定地固定的轮毂310。刀片安装面311A例如优选表面粗糙度为Rmax5～50μm。通过设为刀片安装面311A的表面粗糙度Rmax5～50μm，从而粘接树脂部320在刀片安装面311A稳定地固定，能够确保安装刀片主体所需的充分的保持力粘接力，并且能够抑制在切割过程中产生的微粒等侵入轮毂310与刀片主体330之间。另外，在轮毂由塑料形成时，还可以通过在燃料气体中导入硅烷化合物等并生成火焰，使该火焰与刀片安装面11A接触，从而例如对刀片安装面311A适用形成以SiO2为构成成分的约10～100纳米nm的多个粒子的改质处理ITRO处理株式会社ITRO来提高异种材料的塑料与刀片主体330的粘接性。此外，关于是否设定预处理工序以及经过预处理的表面粗糙度的范围可以任意设定。3粘接剂涂布工序接着，在轮毂310的刀片安装面上涂布粘接剂S304。图17B是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上涂布粘接剂的中间产品的概略结构的概念图。在轮毂310的刀片安装面311A上涂布用于形成粘接树脂部320的粘接剂时，例如优选通过刮墨刀片或旋涂涂布为均匀的厚度。此外，关于粘接剂的涂布，并不限定于刮墨刀片或旋涂，能够按照粘接剂的物理性质例如，粘度等适用众所周知的各种涂布手段例如，喷嘴等。其结果是形成如图17B所示的中间产品W301。4刀片主体安装工序接着，在轮毂上粘接刀片坯料S305。图17C是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上粘接有刀片坯料的状态的中间产品的概略结构的概念图。在轮毂310上安装粘接刀片坯料W330时，例如在平坦的固定盘上配置刀片坯料W330，通过夹具将轮毂310的轴线O1与刀片坯料330的圆形孔330H的中心轴O2对齐并将轮毂310载置到刀片坯料30上，并通过按压来粘接。然后，使粘接剂硬化来形成粘接树脂部320。其结果是形成如图17C所示的在轮毂310上粘接有刀片坯料W330的中间产品W302。5外径加工工序接着，对在轮毂上粘接的刀片坯料进行外径加工S306。图17D是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中的外形加工的概略的概念图，图18是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中外径加工工序后的中间产品的概略结构的剖视图。另外，图18是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中外径加工工序后的中间产品的概略结构的剖视图。在图17D和图18中，附图标记W302表示进行外径加工前的中间产品，附图标记W303表示进行外径加工后的中间产品。外径加工例如使中间产品W302围绕轴线O1旋转，例如一边向刀片坯料W330的进行外径加工的部位供给液体例如，水来冷却一边照射激光束来对刀片坯料W330的外径进行加工。此外，在向加工部位供给液体的情况下，例如，优选在进行外径加工的部位形成喷流液水柱喷流液柱C，在将激光束L在该喷流水柱C内反射的同时引导至加工部位来照射，因此，更优选将喷流水柱喷流液柱作为凹凸尽可能少的层流，使激光束L在喷流水柱C内全反射。另外，激光束L的波长例如优选为200～700nm。通过对中间产品W302进行外径加工，从而刀片坯料W330的外周被切割，形成如图18所示的中间产品W303。另外，也可以不供给水来照射激光束，也可以代替激光束加工，通过放电加工或其他众所周知的加工方法进行外径加工。6切块机修整工序接着，对经外径加工的刀片主体进行切块机修整以进行修锐S307。图19是说明第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中进行修锐后的轮毂式刀片的概略结构的剖视图。切块机修整工序中的刀片主体330的修锐例如通过将中间产品W303设置在切块机并切割修整板而进行。通过对中间产品W303进行切块机修整，从而中间产品W303的刀片主体330被修锐，形成如图19所示的修锐部30C。7检查工序然后，实施轮毂式刀片的检查S308。轮毂式刀片300的检查例如对硅晶圆进行切割并测定切口宽度。除此之外，检查是否满足规定的品质特性。此外，在检查工序中，可以省略刀片主体330从轮毂310的外周的突出长度。8完成轮毂式刀片在检查中规定的品质特性合格，则完成轮毂式刀片300S309。此外，S31～S39的工序表示一例，可以适当变更或省略。根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，由于其为分别形成的轮毂310和刀片主体330通过粘接树脂部320连接的结构，能够分别检查轮毂310和刀片主体330，因此能够仅使用满足品质特性的轮毂和刀片主体330来制造。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300，由于轮毂310与刀片主体330经由粘接树脂部320连接，从而刀片主体330在轮毂310的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体330碰到加工对象物时，能够抑制刀片主体330破裂。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，通过在常温下将刀片主体330安装于轮毂110，从而抑制了刀片主体330基于温度历史而产生变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片300的品质。其结果是能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片300。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上，能够高效地切割对象物。另外，作为第三实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第三实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，作为第三实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，由于能够通过从使用后的轮毂式刀片300中去除粘接树脂部320来拆掉刀片主体320，从而再次利用轮毂310，因此能够实现节省资源并削减制造成本。另外，根据第三实施方式的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，由于不需要通过蚀刻消除轮毂的外周使刀片主体330突出，因此抑制了由材料损耗引起的生产率下降并能够缩短加工时间。另外，伴随着使刀片主体330突出的加工时间消除，能够缩短制造时间。其结果是能够大幅缩短伴随着制造的前置时间，并且以低成本且较短的前置时间制作高精度的试制品。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，由于在位于刀片安装面311A的连接面330T上，金刚石超磨粒32从金属母材31的表面露出，因此粘接树脂部粘接剂320在连接面330T上稳定地固定。其结果是能够在轮毂310上稳定安装刀片主体330。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片300及轮毂式刀片制造方法，由于轮毂310的刀片安装面311A被形成为表面粗糙度Rmax5～50μm，因此涂布的粘接剂在刀片安装面311A上作为粘接树脂部320稳定地固定，能够在轮毂310上稳定地粘接连接刀片主体30。另外，根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于通过共同加工对轮毂310和刀片坯料W330进行外径加工，因此能够高效地同轴构造轮毂310和刀片主体330。根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于在刀片坯料原板W301上对圆形孔30H进行内径加工时，在加工部位形成喷流水柱C，通过该喷流水柱C引导激光束L来照射加工部位，因此能够高精度且高效地形成刀片坯料W330的圆形孔30H。根据第三实施方式所涉及的轮毂式刀片制造方法，由于在对刀片坯料330进行外径加工时，在加工部位形成喷流水柱C，通过该喷流水柱C引导激光束L照射到加工部位，因此能够高精度且高效地进行外径加工并形成。下面，参照图1、图20和图21，对本发明的第四实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。在图中，附图标记400表示第四实施方式所涉及的轮毂式刀片，附图标记420表示粘接树脂部片状粘接树脂。如图1所示，轮毂式刀片400例如具备轮毂310、片状粘接树脂粘接树脂部420和刀片主体330。在第四实施方式所涉及的轮毂式刀片400中，代替第三实施方式所涉及的粘接树脂部320，具备片状粘接树脂粘接树脂部420。轮毂310例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂110例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。片状粘接树脂粘接树脂部420例如由如下的粘接树脂构成：该粘接树脂在混合或混炼环氧树脂等多种树脂的状态下被形成为片状，且具有通过外力包括重力等以与粘接对象物互补的方式被填充的流动性或塑性变形性。另外，还可以在常温下不具有流动性但通过加热来流动并具有粘接性。另外，还可以适用在安装轮毂310与刀片主体300时具有粘着性且在其后硬化的粘着性粘接剂来形成粘接树脂部420。另外，片状粘接树脂420例如被形成为外周与轮毂310的外径对应，并且内周与刀片主体330的内径刀片坯料的内径对应的环形形状。另外，片状粘接树脂粘接树脂部420的外径、硬化后厚度例如，40μm～100μm、弹性系数、保持力粘接力等例如优选被设定为能够保持刀片主体330的平面度相对于轴线O1的直角度，且通过轮毂式刀片400切割对象物时的切割扭矩产生的扭曲变形不使刀片主体330产生损坏。其他与第三实施方式同样，因此省略说明。下面，参照图20及图21，对本发明的第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略进行说明。图20是说明第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图。图11是说明第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上配置片状树脂形成的中间产品的概略结构的概念图。如图20所示，轮毂式刀片制造工序例如具备刀片坯料制造工序S402、和准备轮毂并在轮毂上安装刀片主体来制造轮毂式刀片的工序S402～S409。关于刀片坯料准备工序S401，与图15所示的第三实施方式S31～S35同样，因此省略说明。接着，对轮毂式刀片制造工序中的从准备轮毂到完成轮毂式刀片S402～S409的详细内容进行说明。此外，关于S402、S403、S406～S409与第三实施方式同样，因此省略详细的说明。1轮毂准备工序首先，准备轮毂310S402。2刀片安装面的预处理工序接着，对轮毂的刀片安装面进行用于配置片状粘接树脂粘接树脂部的预处理，使该刀片安装面成为规定的表面粗糙度S403。3片状粘接树脂粘接树脂部配置工序接着，在轮毂310的刀片安装面上配置片状粘接树脂粘结树脂部420S404。图21是说明第四实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中通过在轮毂上配置片状树脂形成的中间产品的概略结构的概念图。在轮毂310的刀片安装面311B上配置片状粘接树脂粘接树脂部420时，使用预先被形成为与轮毂311的外径及刀片坯料W330的圆形孔30H对应的环形形状的片状粘接树脂粘接树脂部420。而且，例如通过夹具，将片状粘接树脂粘接树脂部420的中心与轮毂310的旋转轴线O1对齐配置。其结果是如图21所示形成轮毂310的轴线O1与片状粘接树脂粘接树脂部420的轴线呈同轴的中间产品W401A。4刀片主体安装工序接着，在轮毂上配置刀片坯料S405。在轮毂上安装粘接刀片坯料时，例如与第三实施方式同样，在平坦的固定盘上配置刀片坯料W330，通过夹具将轮毂310的轴线O1与刀片坯料的圆形孔30H的中心轴O2对齐并将轮毂310载置到刀片坯料330上，并通过按压由片状粘接树脂粘接树脂部420粘接并固定。5外径加工工序接着，对在轮毂上粘接的刀片坯料进行外径加工S406。6切块机修整工序接着，对经外径加工的刀片主体进行切块机修整以进行修锐S407。7检查工序然后，实施轮毂式刀片的检查S408。8轮毂式刀片完成在检查中规定的品质特性合格则完成轮毂式刀片1S409。此外，S409～S409的工程表示一例，可以适当变更或省略。根据第四实施方式所涉及的轮毂式刀片400，由于其为分别形成的轮毂310和刀片主体330由片状粘接树脂420连接的结构，能够仅使用满足品质特性的轮毂310和刀片主体330来制造，因此能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片1。另外，根据第四实施方式所涉及的轮毂式刀片400，由于轮毂310与刀片主体330通过片状粘接树脂420连接，从而刀片主体330在轮毂310的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体330碰到加工对象物时，能够抑制刀片主体330破裂。根据第四实施方式所涉及的轮毂式刀片400，由于粘接树脂部由片状粘接树脂420构成，因此通过管理片状粘接树脂420的厚度，就能够高精度地确保轮毂310的刀片安装面311A与刀片主体330的平行度相对于轴线O1的垂直度。另外，根据第四实施方式所涉及的轮毂式刀片400，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第四实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第四实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，作为第四实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。下面，参照图1、图22、图23、图24A至图24C对本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。图22是说明本发明的第五实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、图1中由箭头XXII-XXII所示的局部剖视图，图23是说明第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图，图24A至图24C是说明第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图。在图中，附图标记500表示轮毂式刀片，附图标记310表示轮毂，附图标记520表示连接部粘着性连接部，附图标记130表示刀片主体。如图22所示，轮毂式刀片500例如具备轮毂310、连接部520和刀片主体130。轮毂310与第三实施方式同样，刀片主体130与第一实施方式同样，因此标注相同的附图标记并省略说明。另外，轮毂310例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂110例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。这里，轮毂310与第三实施方式同样，优选刀片安装面311A被形成为表面粗糙度Rmax5～50μm。另外，刀片主体130与第一实施方式同样，优选连接面33T被形成为金刚石超磨粒32不从金属母材31的表面突出的平坦面。如图22所示，连接部520例如具备被配置在轮毂310的刀片安装面311A的粘接树脂部521和被配置在粘接树脂部521与刀片主体130之间的粘着胶带522。粘接树脂部521由粘接剂硬化形成。构成粘接树脂部521的粘接剂可适宜设定，例如可适宜适用第三实施方式中用于形成粘接树脂部320的粘接剂、或第四实施方式中用于形成粘接树脂部420的粘接剂包括粘着性粘接材。粘着胶带522具备基材523和粘着剂524，粘着剂524被配置在基材523的一个面上，粘着胶带522被形成为一个面为粘着面的单面粘着胶带。另外，粘着胶带522的粘着剂524被配置在刀片主体130的连接面130T侧。粘着胶带522还可以适用例如配置了第一实施方式的双面粘着胶带120中的基材211和粘着剂122、133的任意一种的结构。此外，基材523可以任意设定，优选为形成粘接树脂部521的面被形成为可浸渍粘接剂或被形成为表面粗糙度Rmax5～50μm，从而使得粘接树脂部521稳定地固定的结构。另外，连接部520的粘接树脂部521与粘着胶带522的合计厚度例如优选为100μm以下，更优选为厚度30μm以上且50μm以下。另外，粘着胶带522的外径、厚度、弹性系数、保持力粘着力等例如优选被设定为能够保持刀片主体130的平面度相对于轴线O1的直角度，且通过轮毂式刀片500切割对象物时的切割扭矩产生的扭曲变形不使刀片主体130产生损坏。另外，粘接树脂部521及粘着胶带522优选具有导电性。接着，参照图23、图24A～图24C，对轮毂式刀片制造工序的概略进行说明。如图23所示，第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序例如具备：刀片坯料制造工序S501、轮毂准备工序S502、刀片安装面的预处理工序S503、轮毂粘接剂涂布工序S504、轮毂粘着胶带粘接工序S505、刀片安装工序S506、外径加工工序S507、切块机修整工序S508、以及经过检查工序S509完成轮毂式刀片S510的工序。这里，关于刀片坯料制造工序S501，由于与第一实施方式的刀片坯料制造工序S101同样，因此省略说明。1轮毂准备工序S5022刀片安装面的预处理工序S503轮毂准备工序S502和刀片安装面的预处理工序S503与第三实施方式所涉及的轮毂准备工序S302和刀片安装面的预处理工序S303同样，因此省略说明。3对轮毂的粘接剂涂布工序接着，在轮毂310的刀片安装面上涂布粘接剂S504。图24A是说明第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图，是示出在轮毂的刀片安装面上涂布有粘接剂的状态的概略结构的图。在轮毂310的刀片安装面311A上涂布形成粘接树脂部521的粘接剂时，例如优选通过刮墨刀片或旋涂涂布为均匀的厚度。此外，关于粘接剂的涂布，并不限定于刮墨刀片或旋涂，可按照粘接剂的物理性质例如，粘度等适用众所周知的各种涂布手段例如，喷嘴等。其结果是形成如图24A所示的中间产品W501。4粘着胶带粘接工序接着，在轮毂上粘接粘着胶带S505。图24B是说明第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂310上粘接粘着胶带522的状态的概略的概念图。在轮毂310的刀片安装面311A粘贴粘着胶带522时，使用预先被形成为与轮毂310的外径及刀片坯料W130的圆形孔30H对应的环形形状的粘着胶带522。而且，如图24B所示，例如通过夹具使粘着胶带522的中心与轮毂310的旋转轴线O1对齐，并且以粘着面与轴线O1成为直角来粘接粘着胶带522。其结果是形成轮毂310的轴线O1与粘着胶带522的轴线呈同轴的中间产品W502。此外，在刀片坯料W130上安装轮毂310优选在粘接剂硬化而形成粘接树脂部521之后进行。5刀片安装工序接着，在轮毂上粘接刀片坯料S506。图24C是说明第五实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在轮毂上安装有刀片坯料的状态的中间产品的概略结构的概念图。在轮毂310上安装粘接刀片坯料W130时，例如在平坦的固定盘上配置刀片坯料W130，通过夹具将轮毂310的轴线O1与刀片坯料W130的圆形孔130H的中心轴O2对齐并将轮毂10载置到刀片坯料W130上，并通过按压来粘贴。此外，在粘接剂未经硬化来形成粘接树脂部521的情况下，之后使粘接剂硬化来形成粘接树脂部521。其结果是形成如图24C所示的在轮毂310上安装有刀片坯料W130的中间产品W503。6外径加工工序S5077切块机修整工序S5088检查工序S5099完成轮毂式刀片S510这里，外径加工工序S507至检查工序S509、完成轮毂式刀片S510的工序与第一实施方式所涉及的外径加工工序S106至检查工序S108、完成轮毂式刀片S109的工序同样，因此省略说明。此外，S501～S510的工序表示一例，可以适当变更或省略。根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500及轮毂式刀片制造方法，由于其为分别形成的轮毂310和刀片主体130通过连接部520连接的结构，能够分别检查并仅使用满足品质特性的轮毂310和刀片主体130来制造。另外，根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500，由于轮毂310与刀片主体130通过连接部520连接，从而刀片主体130在轮毂310的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体130碰到加工对象物时，能够抑制刀片主体130破裂。另外，根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500及轮毂式刀片制造方法，由于刀片主体130的连接面130T设为在金属母材31的内部配置有金刚石超磨粒32不从表面突出的平坦面，因此能够在刀片主体130上稳定地粘贴粘着胶带5220。其结果是能够在轮毂310上稳定安装刀片主体130。另外，根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500及轮毂式刀片制造方法，由于刀片安装面311A被形成为表面粗糙度Rmax5～50μm，因此粘接树脂部521在刀片安装面311A上稳定地固定，能够在轮毂310上稳定地安装刀片主体130。根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500，由于连接部520具备粘着胶带522，因此能够高效地调整连接部520的厚度。另外，基材522的厚度通过适宜设定材质来调整连接部520的弹性系数等，能够缓解刀片主体130在轮毂310的外缘的急剧弯曲来抑制刀片主体130破裂。另外，例如由粘着性粘接剂形成粘接树脂部521的情况下，因能够在短时间连接粘着胶带522这点而优选。另外，根据第五实施方式所涉及的轮毂式刀片500，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，3000rpm以上。另外，作为第五实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第五实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，作为第五实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。下面，参照图1、图25、图26、图27A至图27D对本发明的第六实施方式所涉及的轮毂式刀片进行说明。图25是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、图1中由箭头XXV-XXV所示的局部剖视图，图26是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概略的流程图，图27A至图27D是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序的概念图。在图中，附图标记600表示轮毂式刀片，附图标记110表示轮毂，附图标记620表示连接部粘着性连接部，附图标记330表示刀片主体。如图25所示，轮毂式刀片600例如具备轮毂110、连接部620和刀片主体330。轮毂110与第一实施方式同样，刀片主体330与第三实施方式同样，因此标注相同的附图标记并省略说明。轮毂110例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂110例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。这里，轮毂110与第一实施方式同样，优选刀片安装面111A被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm。另外，刀片主体330与第三实施方式同样，连接面330T被构成为金刚石超磨粒32从金属母材31的表面露出，粘接树脂部粘接剂620在连接面330T上稳定地固定。如图25所示，连接部620例如具备被配置在刀片主体330的连接面330T的粘接树脂部621和被配置在粘接树脂部621与轮毂110的刀片安装面111A之间的粘着胶带522。粘接树脂部621由粘接剂硬化形成。构成粘接树脂部621的粘接剂可适宜设定，例如可适宜适用第三实施方式中用于形成粘接树脂部320的粘接剂、或第四实施方式中用于形成粘接树脂部420的粘接剂包括粘着性粘接剂。粘着胶带522具备基材523和粘着剂524，粘着剂524被配置在基材523的一个面上，从而该粘着胶带522被设为一个面为粘着面的单面粘着胶带。在第六实施方式中，优选粘着胶带522的粘接剂524被配置在刀片安装面111A侧，基材523为粘接树脂部621稳定地固定的结构。其他与第五实施方式同样，因此省略说明。另外，连接部620的粘接树脂部621与粘着胶带522的合计厚度例如优选为100μm以下，更优选为厚度30μm以上且50μm以下。另外，粘接树脂部621及粘着胶带522优选具有导电性。接着，参照图26、图27A～图27D，对轮毂式刀片制造工序的概略进行说明。如图26所示，第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序例如具备：刀片坯料制造工序S601、轮毂准备工序S602、刀片安装面的预处理工序S603、刀片粘接剂涂布工序S604、对刀片的粘着胶带粘接工序S605、刀片安装工序S606、外径加工工序S607、切块机修整工序S608、以及经过检查工序S609完成轮毂式刀片S610的工序。这里，关于刀片坯料制造工序S601，其与第三实施方式的刀片坯料制造工序S301同样，因此省略说明。1轮毂准备工序S6022刀片安装面的预处理工序S603轮毂准备工序S602和刀片安装面的预处理工序S603与第一实施方式所涉及的轮毂准备工序S102和刀片安装面的预处理工序S103同样，因此省略说明。3对刀片的粘接剂涂布工序接着，在刀片坯料的连接面上涂布粘接剂S604。图27A是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在刀片坯料上涂布有粘接剂的状态的概略结构的概念图。在刀片坯料W330的连接面330T上涂布形成粘接树脂部621的粘接剂时，例如优选通过刮墨刀片或旋涂涂布为均匀的厚度。此外，关于粘接剂的涂布，并不限定于刮墨刀片或旋涂，可按照粘接剂的物理性质例如，粘度等适用众所周知的各种涂布手段例如，喷嘴等。其结果是形成如图27A所示的中间产品W601。4粘着胶带粘接工序接着，在刀片坯料上粘接粘着胶带S605。图27B是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在刀片坯料W330上粘接有粘着胶带522的状态的概略结构的概念图。另外，图27C是说明第六实施方式所涉及的轮毂式刀片制造工序中在刀片坯料上粘接的粘着胶带上粘贴轮毂的状态的概略结构的概念图。在刀片坯料W330的连接面330T上粘贴粘着胶带522时，使用预先被形成为与轮毂110的外径及刀片坯料W330的圆形孔30H对应的环形形状的粘着胶带522。而且，如图27B所示，例如通过夹具使粘着胶带522的中心与刀片坯料W330的旋转轴线对齐，并且以粘着面与旋转轴线成为直角来粘接粘着胶带522。其结果是形成如图27C所示的中间产品W602。此外，在轮毂110上安装刀片坯料W330优选在粘接剂硬化形成粘接树脂部621之后进行。5刀片安装工序接着，在刀片坯料上粘接轮毂S606。图27D是表示在轮毂上安装有刀片坯料的中间产品的概略结构的图。在刀片坯料W330上安装粘贴轮毂110时，例如在平坦的固定盘上配置刀片坯料W330，通过夹具将轮毂110的轴线O1与刀片坯料W330的圆形孔330H的中心轴O2对齐并将轮毂110载置到在刀片坯料W330上粘接的粘着胶带522的粘着面上，并通过按压来粘贴。在粘接剂未经硬化来形成粘接树脂部621的情况下，之后使粘接剂硬化来形成粘接树脂部621。其结果是形成如图27D所示的在轮毂110上安装有刀片坯料W330的中间产品W603。6外径加工工序S6077切块机修整工序S6088检查工序S6099完成轮毂式刀片S610这里，外径加工工序S607至检查工序S609和完成轮毂式刀片S610的工序与第一实施方式所涉及的外径加工工序S106至检查工序S108和完成轮毂式刀片S109工序同样，因此省略说明。此外，S601～S610的工序表示一例，可以适当变更或省略。根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600及轮毂式刀片制造方法，由于其为分别形成的轮毂110和刀片主体330通过连接部620连接的结构，能够分别检查并仅使用满足品质特性的轮毂110和刀片主体330来制造。另外，根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600，由于轮毂110与刀片主体330通过连接部620连接，从而刀片主体330在轮毂110的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体330碰到加工对象物时，能够抑制刀片主体330破裂。另外，例如由粘着性粘接剂形成粘接树脂部621时，因能够在短时间连接粘着胶带522这点而优选。另外，根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600及轮毂式刀片制造方法，由于在刀片主体330的连接面330T中，金刚石超磨粒32从金属母材31突出，因此粘接树脂部621能够在刀片主体330上稳定地固定。其结果是能够在轮毂110上稳定安装刀片主体330。另外，根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600及轮毂式刀片制造方法，由于轮毂110的刀片安装面111A被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm，因此能够在轮毂110的刀片安装面111A上稳定地安装粘着胶带522。根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600，由于连接部620具备粘着胶带522，因此能够高效地调整连接部520的厚度。另外，基材522的厚度通过适宜设定材质来调整连接部620的弹性系数等，能够缓解刀片主体330在轮毂110的外缘的急剧弯曲来抑制刀片主体330破裂。另外，根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片600及轮毂式刀片制造方法，由于刀片主体330的连接面330T被粘接树脂部621封装，因此能够在轮毂上稳定地安装钻头刀片ビトブレード这样的具有通气性的刀片主体。另外，根据第六实施方式所涉及的轮毂式刀片500，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第六实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第六实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，作为第六实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。下面，参照图1和图28，对本发明的第七实施方式所涉及的轮毂式刀片700进行说明。图28是说明第七实施方式所涉及的轮毂式刀片的概略结构的、图1中由箭头XXVIII-XXVIII所示的放大的局部剖视图。在图中，附图标记700表示轮毂式刀片，附图标记310表示轮毂，附图标记720表示连接部，附图标记330表示刀片主体。如图28所示，轮毂式刀片700例如具备轮毂310、连接部720和刀片主体330。轮毂310和刀片主体330与第一实施方式同样，因此标注相同的附图标记并省略说明。这里，轮毂310与第三实施方式同样，优选刀片安装面311A被形成为表面粗糙度Rmax5～50μm。轮毂310例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂310例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。另外，刀片主体330与第三实施方式同样，连接面330T优选被构成为金刚石超磨粒32从金属母材31的表面露出，连接部粘接剂720在连接面330T上稳定地固定。如图28所示，连接部720例如具备：基材721、被配置在轮毂310的刀片安装面311A与基材721之间并由粘接剂硬化形成的粘接树脂部722、以及被配置在刀片主体330的连接面330T与基材721之间并由粘接剂硬化形成的粘接树脂部723。作为基材721，例如还可以适用与第一实施方式所示的基材121同样的结构。另外，作为粘接树脂部722和粘接树脂部723，例如还可以适用与第三实施方式所示的粘接树脂部粘接剂，连接部320同样的粘接剂包括粘着性粘接剂。另外，连接部720例如优选为厚度100μm以下，更优选为厚度30μm以上且50μm以下。另外，连接部720优选具有导电性。此外，在制造轮毂式刀片700时，例如还可以使用在基材721的双面涂布有形成粘接树脂部722、粘接树脂部723的粘接剂的双面粘接胶带，适用与第一实施方式同样的制造方法。另外，还可以在对轮毂310的刀片安装面311A和刀片主体330的连接面311A这双方涂布粘接剂的基础上，夹着基材721并按压来制造轮毂式刀片700。另外，还可以在轮毂310的刀片安装面311A和刀片主体330的连接面311A中的任意一方涂布粘接剂，在其上粘接在基材721的单面上涂布有形成粘接树脂部723、722的粘接剂的粘接胶带，在此基础上与对方按压并粘接来制造轮毂式刀片700。根据第七实施方式所涉及的轮毂式刀片700，由于连接部720具备基材721，因此能够高效地调整连接部720的厚度。另外，可通过适宜设定基材721的厚度或材质来调整连接部720的弹性系数等，从而能够缓解刀片主体330在轮毂310的外缘的急剧弯曲来抑制刀片主体330破裂。另外，例如由粘着性粘接剂形成粘接树脂部722、723这双方或任一方时，因能够在短时间连接连接部720这点而优选。另外，根据第七实施方式所涉及的轮毂式刀片700，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第七实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第七实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，作为第七实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。下面，参照图29，对本发明的第八实施方式所涉及的轮毂式刀片800进行说明。图29是说明第八实施方式所涉及的轮毂式刀片800的概略结构的一例的、在图1中由XXIX-XXIX所示的剖面图，附图标记800表示轮毂式刀片，附图标记810表示轮毂，附图标记820表示连接部，附图标记830表示刀片主体，附图标记850表示导电部件。如图30所示，轮毂式刀片800被构造为例如具备轮毂810、连接部820、刀片主体830和导电部件850，在轮毂810与刀片主体830之间能够导电。这里，轮毂式刀片800的制造方法及连接部轮毂820可适宜适用第一～七实施方式所涉及的制造方法及连接部120～720。另外，轮毂810和刀片主体830可适宜适用第一～七实施方式所涉及的轮毂110、310和刀片主体130、330。轮毂810例如由铝或铝合金形成。关于铝合金的材质，可以根据使用条件任意设定，例如优选A2017、A5083、A7075JIS规格等。作为铝或铝合金以外的材质，轮毂810例如还可以由镁或镁合金、钛或钛合金或者塑料形成。塑料可以为聚碳酸酯。导电部件850例如由以铜Cu为代表的金属或各种导电性材料形成，被配置在连接部820的内周侧且与轮毂810及刀片主体830电连接。另外，导电部件850可由钎焊或印刷形成，为了使轮毂式刀片800稳定地旋转，导电部件850优选关于轴线O1对称地形成。此外，还可以在连接部820的面内形成贯通孔未图示，通过贯通孔形成导电部件。其他与第一实施方式～第七实施方式同样，因此省略说明。根据第八实施方式所涉及的轮毂式刀片800，由于具备导电部件850，因此即使在连接部820不具有导电性的情况下，当刀片主体830与基板未图示接触时，从刀片主体830通电至轮毂810，从而也能确实地检测出轮毂式刀片800与基板接触。另外，根据第八实施方式所涉及的轮毂式刀片800，由于轮毂由铝或铝合金形成，因此轻量且能容易应对高速旋转例如，30000rpm以上。另外，作为第八实施方式的变形例之一，在轮毂由镁或镁合金形成时，轮毂的比强度较大。另外，由镁或镁合金形成的轮毂由于衰减能优异，因此能够抑制振动的发生来稳定地切割。另外，作为第八实施方式的变形例之一，在轮毂由钛或钛合金形成时，由于轮毂由与铝合金相比较比强度大的钛或钛合金比强度约288kN·mkg，铝合金的比强度约222kN·mkg形成，因此能够以更高的速度旋转，并且能够更有效地切割。另外，能够抑制因切割时的外力造成轮毂变形。另外，通过在常温下将刀片主体安装于轮毂，从而刀片主体中消除了基于温度历史的变形或翘曲，能够提高轮毂式刀片的品质。另外，作为第八实施方式的变形例之一，在轮毂由塑料形成时，由于轮毂由塑料形成，因此轻量且能高速旋转。另外，能够按照切割对象物来高效地设定各种材质，其结果是能够高效地进行切割。进而，在塑料轮毂与刀片主体通过粘接树脂部连接时，刀片主体在塑料轮毂的外缘的急剧弯曲得到缓解，当刀片主体碰到加工对象物时，抑制了刀片主体破裂。进而，在塑料为聚碳酸酯时，由于塑料轮毂由聚碳酸酯比强度52.2kN·mkg，铝合金的比强度约25.2kN·mkg形成，具有充分的比强度，因此能够高速旋转，并且能够高效地进行切割。此外，关于上述实施方式中记载的技术内容，可在不脱离本发明宗旨的范围内施加各种变更。例如，在上述实施方式中，对构造轮毂式刀片的轮毂110、310、810由铝或铝合金、镁或镁合金、聚碳酸酯等塑料形成的情况进行了说明，但轮毂110、310、810也可以由以陶瓷等为代表的其他材料形成。另外，代替铝或铝合金，还可以由以纯钛TiJIS1种等或钛合金、以镁合金为代表的各种金属材料形成轮毂10，作为钛合金，例如优选为αβ合金Ti-6Al-6V-2Sn、Ti-6Al-4V等、β合金Ti-3Al-8V-6Cr-4Zr-4Mo、Ti-10V-2Fe-3Al、Ti-15V-3Cr-3Sn-3Al等。另外，作为镁合金，例如优选为MB3Mg-8.4％Al-0.6％Zn-0.25％Mn、MB5Mg-3.3％Zn-0.6％Zr、MB6Mg-5.5％Zn-0.6％Zr等，通过由镁或镁合金形成轮毂10，从而能够期待轮毂10的衰减能提高、抑制在切割时产生的振动来稳定地切割对象物的效果。另外，作为其他金属材料，优选为比强度为纯铝比强度JIS规格Al060-O比强度25.9以上的材料。另外，还可以由以聚碳酸酯为代表的工程塑料、纤维强化塑料、丙烯酸树脂等通用塑料为代表的可实用的各种树脂材料形成，可以在可适用的范围内任意设定。另外，还可以由其他的难以实施镀覆的材料来形成轮毂。对于胶带基材的材质、粘着剂粘着性粘接树脂的材质、粘着胶带主体24的材质等双面粘着胶带的结构可以任意设定。另外，胶带基材121的材质、粘着剂粘着性粘接树脂122、123的材质、粘着胶带主体124还可以为包括导电性物质等各种物质的结构。另外，在上述实施方式中，对粘接树脂部由以环氧树脂或氰基丙烯酸酯树脂为主成分的粘接剂硬化形成的情况进行了说明，但关于粘接剂的种类可以任意设定。另外，在上述实施方式中，对于由片状粘接树脂由以环氧树脂为主成分的片状粘接树脂构成的情况进行了说明，但关于片状粘接树脂的结构可以任意设定。另外，在第一实施方式中，对作为双面粘接胶带使用双面粘着胶带的情况进行了说明，但代替双面粘着胶带，还可以适用在基材的两侧表面配置有粘接剂包括粘着性粘接剂的双面粘接胶带、在基材的两侧的表面配置有粘接剂包括粘着性粘接剂且在另一个面上配置有粘着剂的双面粘接胶带等各种双面粘接胶带。另外，在这种情况下，针对怎样形成轮毂的刀片安装面、刀片主体的连接面的表面状态可以任意设定。另外，例如还可以由在轮毂与刀片主体的任一方或双方涂布的粘着剂来形成连接部粘着性连接部。上述情况可以适用第三实施方式中记载的制造工序例如，S304～S309，关于形成轮毂和刀片主体的工序，可以适宜适用第一实施方式或第三实施方式等。另外，在上述实施方式中，对在刀片主体30由镀镍构成的金属母材31中分散有金刚石超磨粒32的情况进行了说明，但还可以使用在以Ni-P镀、Ni-Co镀或Ni-B镀、铜Cu或铜合金例如，Cu-Sn为代表的可适用的各种金属母材中分散有磨粒的金属刀片、由酚醛树脂等构成的树脂刀片、烧成混合了磨粒的包括陶瓷粉末的玻璃粉末无机材料形成的钻头刀片、由硬质合金形成的刀片等各种刀片主体。另外，在上述实施方式中，对通过在SUS基体金属由电解镀法形成分散镀层从而形成刀片坯料原板W301的情况进行了说明，但还可以使分散镀层在SUS不锈钢以外构成的基体金属例如，在表面易于形成氧化皮膜的铝或钛上成长来形成刀片坯料原板。另外，代替电解镀法，还可以适用无电解镀法形成分散镀层。另外，在上述实施方式中，对轮毂110的刀片安装面111A例如被研磨加工为表面粗糙度Rmax0～20μm的光滑的精加工面的情况进行了说明，但还可以在表面粗糙度Rmax0～20μm的范围外形成刀片安装面111A。另外，在对刀片安装面111A进行预处理时，还可以通过研磨加工以外的方法进行预处理。另外，在上述实施方式中，对轮毂310的刀片安装面311A例如被预处理为表面粗糙度Rmax5～50μm的情况进行了说明，但关于是否对刀片安装面311A进行预处理、是否设为表面粗糙度Rmax5～50μm的范围可以任意设定。另外，代替喷砂或喷丸，还可以通过滚花Knurling加工等的机械加工或化学处理进行预处理。另外，在上述实施方式中，对刀片主体130的连接面130T例如被形成为金刚石超磨粒磨粒32不从金属母材镀镍31的表面突出的平坦面的情况进行了说明，但关于刀片主体130的连接面130T，可以在可安装连接部例如双面粘着胶带的范围内任意设定表面形态。另外，在上述实施方式中，对刀片主体330的连接面330T例如被形成为金刚石超磨粒磨粒32从金属母材镀镍31的表面突出的情况进行了说明，但关于刀片主体330的连接面330T，可以在可安装连接部的范围内任意设定表面形态。另外，在第三实施方式中，对轮毂310与刀片主体330通过粘接树脂部320连接的情况进行了说明，但在第三实施方式中，还可以为通过涂布的粘着性树脂粘着剂的粘着力连接的结构。另外，图4、图5、图14、图15、图20、图23及图26所示的流程图表示一例，还可以适宜变更省略、追加。根据本发明所涉及的轮毂式刀片及轮毂式刀片制造方法，能够高效且稳定地制造高精度的轮毂式刀片。附图标记说明100轮毂式刀片第一实施方式200轮毂式刀片第二实施方式300轮毂式刀片第三实施方式400轮毂式刀片第四实施方式500轮毂式刀片第五实施方式600轮毂式刀片第六实施方式700轮毂式刀片第七实施方式800轮毂式刀片第八实施方式110、310轮毂111A、311A刀片安装面130、330刀片主体130T、330T连接面31金属母材镀镍32金刚石超磨粒磨粒120连接部双面粘着胶带第一实施方式220连接部双面粘着胶带第二实施方式320连接部粘接剂硬化的粘接树脂部第三实施方式420连接部片状粘接剂硬化的粘接树脂部第四实施方式520连接部单面粘着胶带及粘接树脂部第五实施方式620连接部单面粘着胶带及粘接树脂部第六实施方式720连接部第七实施方式820连接部第八实施方式911A刀片安装面以往SUSSUS基体金属不锈钢基体金属

权利要求：1.一种轮毂式刀片，其特征在于，具备：轮毂，围绕轴线能够旋转地形成，在所述轴线方向的一方侧形成有刀片安装面；刀片主体，被配置在所述刀片安装面；以及连接部，被配置在所述轮毂与所述刀片主体之间，用于在所述轮毂上安装并连接所述刀片主体，所述连接部由双面粘着胶带构成，所述双面粘着胶带的位于所述轮毂侧和所述刀片主体侧的双面具有粘着性。2.一种轮毂式刀片，其特征在于，具备：轮毂，围绕轴线能够旋转地形成，在所述轴线方向的一方侧形成有刀片安装面；刀片主体，被配置在所述刀片安装面；以及粘接树脂部，被配置在所述轮毂与所述刀片主体之间，用于连接所述轮毂与所述刀片主体。3.根据权利要求1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由铝或铝合金形成。4.根据权利要求1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由镁或镁合金形成。5.根据权利要求1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由钛或钛合金形成。6.根据权利要求1或2所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由塑料形成。7.根据权利要求6所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述轮毂由聚碳酸酯形成。8.根据权利要求1～6中任一项所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片主体具备金属母材和分散在所述金属母材中的磨粒。9.根据权利要求8所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述金属母材由镍或镍合金构造，所述磨粒为金刚石超磨粒。10.根据权利要求1所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm，且在所述刀片主体中与双面粘着胶带连接的连接面被形成为磨粒被配置在与连接面相比更靠内方的平坦面。11.根据权利要求2～6中任一项所述的轮毂式刀片，其特征在于，所述刀片安装面被形成为表面粗糙度Rmax0～20μm。12.一种轮毂式刀片制造方法，用于制造具备轮毂和与所述轮毂连接的刀片主体且围绕轴线能够旋转的轮毂式刀片，其特征在于，具备：准备刀片坯料的刀片坯料准备工序；准备轮毂的轮毂准备工序；刀片安装工序，在所述轮毂的刀片安装面上通过双面粘着胶带安装所述刀片坯料；以及外径加工工序，将安装在所述刀片安装面的刀片坯料形成为与所述轮毂同轴的圆形，在所述外径加工工序中，使安装在所述刀片安装面的刀片坯料与被照射激光束的加工部位在以所述轮毂的轴线为中心的圆轨道上相对移动的同时照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形。13.一种轮毂式刀片制造方法，用于制造轮毂式刀片，所述轮毂式刀片具备轮毂和与所述轮毂连接的刀片主体且围绕轴线能够旋转，其特征在于，具备：准备刀片坯料的刀片坯料准备工序；准备轮毂的轮毂准备工序；刀片安装工序，在所述轮毂的刀片安装面上通过粘接剂安装所述刀片坯料；以及外径加工工序，将安装在所述刀片安装面的刀片坯料形成为与所述轮毂同轴的圆形，在所述外径加工工序中，使安装在所述刀片安装面的刀片坯料与被照射激光束的加工部位在以所述轮毂的轴线为中心的圆轨道上相对移动的同时照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形。14.根据权利要求12或13所述的轮毂式刀片制造方法，其特征在于，在所述外径加工工序中，向所述加工部位供给冷却液，并且照射激光束，从而将所述刀片坯料的外径加工为圆形。15.根据权利要求14所述的轮毂式刀片制造方法，其特征在于，在所述外径加工工序中，在进行外径加工的加工部位形成喷流液柱，通过所述喷流液柱引导激光束来照射所述加工部位。

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