申请/专利权人：保定光为绿色能源科技有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111769053A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.11.17#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：本发明公开了一种硅晶槽式湿法制绒循环过滤处理方法，属于硅晶单元处理工艺领域，采用S1.制绒、S2.第一次水洗、S3.碱洗、S4.第二次水洗、S5.酸洗、S6.脱水烘干，清洗槽药液采用循环过滤系统，有效降低硅酸盐化合物和络合物的累积，同时节省了化学品的用量，清洗干净的制绒后硅片，避免了后续扩散和烧结高温无机物对光伏电池载流子的影响，制备的黑硅电池填充高，电性能参数优。

主权项：1.一种硅晶槽式湿法制绒循环过滤处理方法，包括其特征在于：包括以下步骤：S1.制绒，配置制绒液，制绒液由重量比为13:1:30:2的聚乙二醇、碳酸钠、纤维素、亚硫酸铁、氢氟酸组成，将硅片置入制绒液中静置直至硅片的腐蚀坑深度达到200-700nm，腐蚀坑宽度达到400-1200nm，取出硅片；S2.第一次水洗，将硅片置入带有清洗液的清洗槽内，清洗槽与用于提供清洗液的清洗液源形成循环供液，清洗槽的进液口设置用于对清洗液进行过滤的滤芯，清洗过程中保持清洗液循环过滤，滤芯为5-50um，进液管的管径50-200mm、管长100-200cm，进液流量为100-300Lmin,水洗时常为25分钟；S3.碱洗，将硅片置入带有碱洗液的碱洗槽内，碱洗液由重量比为1:0.5:18，NH3.H2O、H2O2、H2O组成，碱洗槽与用于提供碱洗槽的碱洗槽源形成循环供液，碱洗槽的进液口设置用于对碱洗槽进行过滤的滤芯，碱洗时常为八分钟，碱洗过程中保持清洗液循环过滤，滤芯为5-50um，进液管的管径50-200mm，管长100-200cm，进液流量为100-300Lmin；S4.第二次水洗，将硅片置入带有清洗液的清洗槽内，清洗槽与用于提供清洗液的清洗液源形成循环供液，清洗槽的进液口设置用于对清洗液进行过滤的滤芯，滤芯为5-50um，进液管的管径50-200mm、管长100-200cm，进液流量为60-170Lmin，水洗时常为25分钟；S5.酸洗，将硅片置入带有酸洗液的酸洗槽内，酸洗液由重量比为1:0.3:16的HF、HCl、H2O药液组成，酸洗时常为十分钟，酸洗过程中保持清洗液循环过滤，酸洗槽的进液口设置用于对清洗液进行过滤的滤芯，滤芯为5-50um，进液管的管径50-200mm、管长100-200cm，进液流量为100-300Lmin；S6.脱水烘干，将硅片提拉至所处液面上方，提拉时保持水温为60℃-70℃，将硅片烘干后出片，扩散印制。

全文数据：

权利要求：

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