申请/专利权人：夏普株式会社

申请日：2018-02-27

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111771426A

主分类号：H05B33/10(20060101)

分类号：H05B33/10(20060101);C23C14/54(20060101);C23C16/52(20060101);G09F9/00(20060101);H01L27/32(20060101);H01L51/50(20060101);H05B33/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.13#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：本发明的显示设备的制造方法，其特征在于，包括：在基板上成膜树脂层的工序；将树脂层被成膜的基板放入在第一腔室，并且将第一腔室内从大气压减压到第一真空压力的工序；从第一腔室向调整为第二真空压力的第二腔室搬入基板的工序；测量在第二腔室中从树脂层脱离的气体的工序；以及在测量气体之后，在第二腔室或第三腔室中在树脂层上成膜无机化合物层的工序。成膜无机化合物层的工序是在成膜之前将第二腔室或第三腔室内设为第三真空压力的工序。第二真空压力是比第三真空压力大的压力。

主权项：1.一种显示设备的制造方法，其特征在于，包括：在基板上成膜树脂层的工序；将所述树脂层被成膜的所述基板放入在第一腔室，并且将所述第一腔室内从大气压减压到第一真空压力的工序；从所述第一腔室向调整为第二真空压力的第二腔室搬入所述基板的工序；测量在所述第二腔室中从所述树脂层脱离的气体的工序；以及在测量所述气体之后，在所述第二腔室或第三腔室中在所述树脂层上成膜无机化合物层的工序，成膜所述无机化合物层的工序是在成膜之前将所述第二腔室或所述第三腔室内设为第三真空压力的工序，所述第二真空压力是比所述第三真空压力大的压力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 夏普株式会社 显示设备的制造方法以及制造装置

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