申请/专利权人：恩特格里斯公司

申请日：2019-02-21

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111771081A

主分类号：F17C11/00(20060101)

分类号：F17C11/00(20060101);F17C13/04(20060101)

优先权：["20180306 US 62/639,462"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.09.14#授权;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：本发明揭示一种用于存储及施配试剂气体的气体供应容器，其包含过滤器，使得所述容器能够在其过滤之后以高纯度水平来输送所述试剂气体。所述过滤器包含多孔烧结主体，且在低压下，在以相对较低流动速率且伴随跨越所述过滤器的相对较低压降从所述容器输送期间，通过使供应试剂气体通过所述过滤器流动，而有效地提供所述试剂气体的所要纯度水平。

主权项：1.一种用于存储及施配试剂气体的气体供应容器，所述容器包括：内部容积，吸附剂，其位于所述内部容积内，试剂气体，其位于所述内部容积内，所述试剂气体包括吸附于所述吸附剂上的一部分，及作为与所述吸附试剂气体平衡的气态试剂气体存在的一部分，至少一个阀，其与所述内部容积连通，所述至少一个阀具有阀入口及阀出口，出口，其与所述内部容积连通，及过滤器，其位于所述内部容积与所述出口之间的流动路径中，所述过滤器包括多孔烧结主体，其中在每分钟20标准立方厘米的流动速率下，所述过滤器具有在特定MPPS下至少为4的对数减少值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 恩特格里斯公司 气体供应容器

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