申请/专利权人：苏州汉天下电子有限公司

申请日：2020-07-06

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111769809A

主分类号：H03H3/02(20060101)

分类号：H03H3/02(20060101);H03H9/02(20060101);H03H9/13(20060101);H03H9/17(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：提供了一种新的体声波谐振器及其制造方法，包括：在衬底上形成第一外延层和第二外延层；在第二外延层上形成下电极层、压电层和上电极层；刻蚀形成多个释放孔，暴露第一外延层；通过多个释放孔，至少部分地去除第一外延层，形成谐振腔。依照本发明的BAW谐振器及其制造方法，无需采用平坦化工艺而在衬底上的外延层中形成谐振空腔，改善了成膜质量，提高了谐振器品质。

主权项：1.一种体声波BAW谐振器制造方法，包括：在衬底上形成第一外延层和第二外延层；在第二外延层上形成下电极层、压电层和上电极层；刻蚀形成多个释放孔，暴露第一外延层；通过多个释放孔，至少部分地去除第一外延层，形成谐振腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州汉天下电子有限公司 一种新的体声波谐振器及其制造方法

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