申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日:2019-09-26
公开(公告)日:2020-10-13
公开(公告)号:CN110541148B
主分类号:C23C14/26(20060101)
分类号:C23C14/26(20060101);C23C14/54(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.10.13#授权;2019.12.31#实质审查的生效;2019.12.06#公开
摘要:本发明提供了一种真空蒸镀装置,包括由顶板、底板及多个侧板相互连接密封形成的蒸镀腔,所述蒸镀腔内设置有蒸发源以及与所述蒸发源一一对应的材料回收装置,所述材料回收装置包括:蒸发源挡板,所述蒸发源挡板内部设置有加热电阻圈;回收结构,所述回收结构连接有移动结构,所述移动结构用于移动所述回收结构。本发明通过回收结构与移动结构相结合,对蒸镀腔内蒸发源挡板上的残留材料进行回收,回收时,不需长时间开启蒸镀腔,避免外来杂质进入腔体内,能够减少粒子产生、避免污染腔体、避免回收材料二次污染、保证作业人员的身体健康且降低后期材料再利用的成本。
主权项:1.一种真空蒸镀装置,包括由顶板、底板及多个侧板相互连接密封形成的蒸镀腔,其特征在于,所述蒸镀腔内设置有蒸发源以及与所述蒸发源一一对应的材料回收装置,所述材料回收装置包括:蒸发源挡板,所述蒸发源挡板内部设置有加热电阻圈,用于在所述蒸发源挡板靠近所述底板一侧的表面附着残余材料时,加热所述蒸发源挡板,使所述残余材料脱离所述蒸发源挡板;回收结构,所述回收结构连接有移动结构,所述移动结构用于移动所述回收结构,所述回收结构包括回收容器和冷却板,所述回收容器中设有容纳槽,所述容纳槽用于收集脱离所述蒸发源挡板的所述残余材料,所述冷却板设置于所述容纳槽的底部,用于对脱离的所述残余材料进行冷却,使所述残余材料成为固体以附着在所述容纳槽内。
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权利要求:
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