申请/专利权人:深圳新益昌科技股份有限公司
申请日:2020-03-02
公开(公告)日:2020-10-13
公开(公告)号:CN111326472B
主分类号:H01L21/683(20060101)
分类号:H01L21/683(20060101);H01L21/67(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.10.13#授权;2020.07.17#实质审查的生效;2020.06.23#公开
摘要:本申请提供了一种自动更换吸嘴式固晶装置,包括用于固晶的旋转摆臂装置和用于收取旋转摆臂装置上的吸嘴并向该旋转摆臂装置供收吸嘴的收供吸嘴装置;旋转摆臂装置包括旋转座、驱动旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于旋转座上的摆臂机构;摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑气动夹的支撑臂,支撑臂安装于旋转座上。本申请提供的自动更换吸嘴式固晶装置,设置气动夹和收供吸嘴装置,则可以通过气动控制气动夹,使吸嘴从气动夹中推出到收供吸嘴装置,实现自动拆卸吸嘴;收供吸嘴装置自动将吸嘴传送至气动夹,以使吸嘴插入气动夹,实现自动装载吸嘴,实现吸嘴自动更换,无需人工操作,效率高,并且可以及时更换吸嘴,保证固晶质量。
主权项:1.自动更换吸嘴式固晶装置,其特征在于,包括用于固晶的旋转摆臂装置和用于收取所述旋转摆臂装置上的吸嘴并向该旋转摆臂装置供收吸嘴的收供吸嘴装置;所述旋转摆臂装置包括旋转座、驱动所述旋转座水平旋转的旋转驱动器和安装于所述旋转座上的摆臂机构;所述摆臂机构包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑所述气动夹的支撑臂,所述支撑臂安装于所述旋转座上;所述气动夹包括安装于所述支撑臂上的夹头,所述夹头的一端设有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔,所述夹头的另一端设有用于连接气路以供气体进出所述容置孔的通气孔。
全文数据:
权利要求:
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