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【实用新型】一种晶圆切割机料框夹持装置及晶圆切割机_大族激光科技产业集团股份有限公司_201921603532.9 

申请/专利权人:大族激光科技产业集团股份有限公司

申请日:2019-09-24

公开(公告)日:2020-10-13

公开(公告)号:CN211662379U

主分类号:B28D5/00(20060101)

分类号:B28D5/00(20060101);B28D7/04(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.10.13#授权

摘要:本实用新型提供了一种晶圆切割机料框夹持装置,包括安装座、料框和压紧组件;安装座设置有至少两个,安装座用于与晶圆切割机的真空陶瓷吸盘同步旋转;料框放置在安装座上,料框用于环设于真空陶瓷吸盘,与真空陶瓷吸盘的陶瓷面配合以水平放置晶圆;压紧组件包括夹紧件、驱动件和调节件;驱动件固定在安装座上;夹紧件连接在驱动件的输出轴上,并能够在驱动件的驱动下旋转远离或靠近在料框的放置晶圆的侧面,调节件的一端抵触在夹紧件朝向料框的侧面,调节件的另外一端转动连接在安装座或驱动件上,本实用新型还提供了一种晶圆切割机,用于调节夹紧件与料框接触的间距,使晶圆夹紧在料框更加稳定。

主权项:1.一种晶圆切割机料框夹持装置,其特征在于,包括安装座、料框和压紧组件;所述安装座设置有至少两个,所述安装座用于与所述晶圆切割机的真空陶瓷吸盘同步旋转;所述料框放置在所述安装座上,所述料框用于环设于所述真空陶瓷吸盘,与所述真空陶瓷吸盘的陶瓷面配合以水平放置晶圆;所述压紧组件包括夹紧件、驱动件和调节件;所述驱动件固定在所述安装座上;所述夹紧件连接在所述驱动件的输出轴上,并能够在所述驱动件的驱动下旋转远离或靠近在所述料框的用于放置晶圆的侧面,所述调节件的一端抵触在所述夹紧件朝向所述料框的侧面,所述调节件的另外一端转动连接在所述安装座或所述驱动件上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种晶圆切割机料框夹持装置及晶圆切割机

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