申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2019-11-26

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN211662068U

主分类号：B25J11/00(20060101)

分类号：B25J11/00(20060101);B25J15/06(20060101);B25J19/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.13#授权

摘要：本实用新型公开一种用于大气机械手的机械手指，包括：至少一个指叉，指叉的末端设有凸台，凸台上设有负压气孔和围绕负压气孔的吸盘。通过在指叉末端的凸台上设置吸盘，在取放晶圆的过程中，吸盘能够提高凸台与晶圆曲面贴合度，从而防止晶圆滑落，提高机械手的自适应性，解决了原有机械手指无法吸附翘曲大、厚度薄地晶圆的技术问题，增加机械手取放晶圆的效率和成功率，对于特殊工艺需求的薄片晶圆，吸盘可以减轻晶圆与指叉接触时的冲击，起到了缓冲的作用。

主权项：1.一种用于大气机械手的机械手指，其特征在于，包括：至少一个指叉，所述指叉的末端设有凸台，所述凸台上设有负压气孔和围绕所述负压气孔的吸盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 用于大气机械手的机械手指

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