【实用新型】基板检查装置_塔工程有限公司_201922078255.0 

申请/专利权人:塔工程有限公司

申请日:2019-11-27

发明/设计人:张喜童;朴智雄

公开(公告)日:2020-10-13

代理机构:北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)

公开(公告)号:CN211669102U

代理人:许伟群;周晓雨

主分类号:G01N21/95(20060101)

地址:韩国庆尚北道

分类号:G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权:["20190510 KR 10-2019-0055254"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.10.13#授权

摘要:本实用新型的实施例的基板检查装置可以包括:工作台,支承具有曲面的基板;相机,与支承于工作台的基板相对布置,并构成为拍摄基板表面;相机旋转单元,使相机以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转;以及相机驱动单元,使相机以使相机与一个位置靠近或远离的方式移动。

主权项:1.一种基板检查装置,包括:工作台,支承具有曲面的基板;相机,与支承于所述工作台的所述基板相对布置,并构成为拍摄所述基板的表面;相机旋转单元,使所述相机以使所述相机与所述基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转;以及相机驱动单元,使所述相机以使所述相机与所述一个位置靠近或远离的方式移动。

全文数据:

权利要求:

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