申请/专利权人：塔工程有限公司

申请日：2019-11-27

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN211669102U

主分类号：G01N21/95(20060101)

分类号：G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：["20190510 KR 10-2019-0055254"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.13#授权

摘要：本实用新型的实施例的基板检查装置可以包括：工作台，支承具有曲面的基板；相机，与支承于工作台的基板相对布置，并构成为拍摄基板表面；相机旋转单元，使相机以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及相机驱动单元，使相机以使相机与一个位置靠近或远离的方式移动。

主权项：1.一种基板检查装置，包括：工作台，支承具有曲面的基板；相机，与支承于所述工作台的所述基板相对布置，并构成为拍摄所述基板的表面；相机旋转单元，使所述相机以使所述相机与所述基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及相机驱动单元，使所述相机以使所述相机与所述一个位置靠近或远离的方式移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 塔工程有限公司 基板检查装置

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