申请/专利权人：北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司

申请日：2019-12-06

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN211665167U

主分类号：C23C14/32(20060101)

分类号：C23C14/32(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.13#授权

摘要：本实用新型公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本实用新型克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本实用新型能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。

主权项：1.一种磁过滤管道，其特征在于：包括第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内填充冷水。

全文数据：

权利要求：

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