申请/专利权人：诺威量测设备股份有限公司

申请日：2020-03-16

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN211670177U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：["20200127 US 62/966,152"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.10.13#授权

摘要：本申请公开了一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其包括：主体，具有后侧部和前侧部，前侧部限定主体的前边界；键盘，能移动地耦接到主体；其中，键盘被构造成在多个位置之间移动，多个位置包括第一位置和第二位置；其中，当定位在第一位置处时，键盘延伸到前边界的外部一第一距离，并且其中，当定位在第二位置处时，键盘不延伸到位于与前边界相距高达第二距离的假想线之外，其中，第二距离小于第一距离。本申请的集成式计量系统是紧凑的、易于维修并能执行高度精确的计量处理。

主权项：1.一种用于评估半导体晶圆的集成式计量系统，其特征在于，所述集成式计量系统包括：主体，具有后侧部和前侧部，所述前侧部限定所述主体的前边界；键盘，能移动地耦接到所述主体；其中，所述键盘被构造成在多个位置之间移动，所述多个位置包括第一位置和第二位置；其中，当定位在所述第一位置处时，所述键盘延伸到所述前边界的外部一第一距离，并且其中，当定位在所述第二位置处时，所述键盘不延伸到位于与所述前边界相距高达第二距离的假想线之外，其中，所述第二距离小于所述第一距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 诺威量测设备股份有限公司 集成式计量系统

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