申请/专利权人：林崇荣

申请日：2019-04-03

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111785650A

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101);G01R31/28(20060101);G01R31/302(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.04#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明是提供一种微型探测器及缺陷量测方法，微型探测器包含一基板、一鳍状结构、一浮动栅极、一感测栅极、一读取栅极以及一天线层。鳍状结构位于基板上。浮动栅极位于基板上，浮动栅极与鳍状结构彼此垂直交叉。感测栅极位于鳍状结构的一侧。读取栅极形成于鳍状结构的另一侧。天线层连接感测栅极，其位于感测栅极上方。天线层接触一外部能量源后产生一引致电荷，透过一耦合效应将引致电荷储存于浮动栅极内。借此，可透过计算引致电荷推估晶圆制程中的缺陷分布。

主权项：1.一种微型探测器，其特征在于，包含：一基板；一鳍状结构，位于该基板上；一浮动栅极，位于该基板上，该浮动栅极与该鳍状结构彼此垂直交叉；一感测栅极，位于该鳍状结构的一侧；一读取栅极，位于该鳍状结构的另一侧；以及一天线层，连接该感测栅极，该天线层位于该感测栅极上方；其中该天线层接触一外部能量源后产生一引致电荷，透过一耦合效应将该引致电荷储存于该浮动栅极内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 林崇荣 微型探测器及缺陷量测方法

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