申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2019-04-03

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111774368A

主分类号：B08B3/08(20060101)

分类号：B08B3/08(20060101);B08B3/14(20060101);B08B13/00(20060101);F26B21/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.12.30#发明专利申请公布后的驳回;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明提供一种清洗设备及清洗方法，清洗设备包括清洗部，包括多个溶液池，多个所述溶液池包括至少两个清洗试剂存放池，以及接收清洗试剂清洗池中的清洗试剂并对待清洗物进行清洗的清洗池，清洗试剂存放池用于存放去除待清洗物上的不同杂质的清洗试剂；干燥部，形成一侧开口的腔室，腔室设置有干燥气体通道，干燥部与外部干燥气体源连接，以通过干燥气体通道释放干燥气体对清洗完毕的待清洗物进行干燥；至少一个机械臂。本发明中清洗试剂在清洗试剂存放池和第一清洗池之间循环泵送，可针对带有不同污染物质的待清洗物向第一清洗池中泵送相应的清洗试剂。实现了带有不同污染物质的待清洗物在同一设备中进行清洗，而无需频繁更换清洗试剂。

主权项：1.一种清洗设备，其特征在于，包括：清洗部，包括多个溶液池，多个所述溶液池包括至少两个清洗试剂存放池，以及接收所述清洗试剂清洗池中的清洗试剂并对待清洗物进行清洗的清洗池，至少两个所述清洗试剂存放池用于分别存放去除待清洗物上的不同杂质的所述清洗试剂；干燥部，设置在所述清洗部的上方，形成一侧开口的腔室，所述腔室设置有干燥气体通道，所述干燥部与外部干燥气体源连接，以通过所述干燥气体通道释放干燥气体对清洗完毕的所述待清洗物进行干燥；至少一个机械臂，设置在所述腔室的上部，所述机械臂可以在第一方向及第二方向上移动，所述第一方向垂直于所述第二方向，并且每一个机械臂分别独立地运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 一种清洗设备及清洗方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD