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【发明公布】偏光对位检测装置及检测方法_阳程科技股份有限公司_201910266978.5 

申请/专利权人:阳程科技股份有限公司

申请日:2019-04-03

公开(公告)日:2020-10-16

公开(公告)号:CN111781169A

主分类号:G01N21/59(20060101)

分类号:G01N21/59(20060101);G01N21/01(20060101);G01M11/02(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.08.22#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要:本发明公开了一种偏光对位检测装置,利用检测装置的光源系统通过光源发射器投射光源至光束扩展器进行扩展,再将光源投射至待检测物,以供光源穿透待检测物后投射至另一侧的光侦测系统,则光侦测系统的偏振分光棱镜将光源并予以分光成两道光源、且以两道光源向外投射至穿透偏光片进行偏转投射,并由光电探测器接收穿透待检测物的两道光源再予以转换为电子信号,以将电子信号传输至检测单元的处理模块,通过处理模块将接收的电子信号进行处理以侦测偏振光源角度,达到进行偏光对位检测的目的。

主权项:1.一种偏光对位检测装置,包括光源系统、光侦测系统及检测单元,其特征在于:该光源系统包括投射光源的光发射器、接收光源后进行扩展至待检测物的光束扩展器;该光侦测系统位于相对光源系统的待检测物另一侧,包括接收穿透待检测物的光源并予以分光成两道光源的偏振分光棱镜、供偏振分光棱镜的两道光源进行偏转投射的偏光片;及该检测单元位于相对光源系统、待检测物及光侦测系统的偏光片的另一侧,设有接收偏光片偏转投射的两道光源再予以转换为电子信号的光电探测器,电性连接光电探测器以将接收的电子信号进行处理以侦测偏振光源角度的处理模块。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 阳程科技股份有限公司 偏光对位检测装置及检测方法

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