申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请日：2019-04-04

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111781773A

主分类号：G02F1/1337(20060101)

分类号：G02F1/1337(20060101);G02B26/10(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.01#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。

主权项：1.一种光配向设备，其特征在于，包括：至少一个基板台，用于承载基板；偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 光配向设备以及光配向方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD