申请/专利权人：领凡新能源科技(北京)有限公司

申请日：2019-04-04

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111778486A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2024.04.19#发明专利申请公布后的视为撤回;2022.06.21#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明公开了一种旋转靶材的绑定方法，涉及靶材技术，能够解决通过人工钎焊绑定靶材费时费力的问题。所述旋转靶材的绑定方法包括：将背衬管装配在可旋转底座上；将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

主权项：1.一种旋转靶材的绑定方法，其特征在于，包括：将背衬管装配在可旋转底座上；将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 领凡新能源科技(北京)有限公司 旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置

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