申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-01-11

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788668A

主分类号：H01L21/677(20060101)

分类号：H01L21/677(20060101)

优先权：["20180228 JP 2018-035510"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明提供一种能够对在规定位置交付基板进行可靠检测的基板搬运装置以及基板搬运方法。基板搬运装置包括：保持基板的保持部；使所述保持部相对于规定位置往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部。控制部在基板的交付动作中对搬运异常进行判断。基板的交付动作包括通过所述往复机构将所述保持部趋向规定位置移动的前往动作，和所述保持部远离规定位置的返回动作。控制部在基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，该第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板从所述传感器区通过的期间。

主权项：1.一种基板搬运装置，其在规定位置交接基板，其特征在于，具备：保持基板的保持部；使所述保持部相对于所述规定位置进行往复移动的往复机构；光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及控制部，其在包括通过所述往复机构使所述保持部趋向所述规定位置的前往动作、和使所述保持部远离所述规定位置的返回动作在内的基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，所述第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从所述传感器区通过的期间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板搬运装置以及基板搬运方法

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