申请/专利权人：日本碍子株式会社

申请日：2019-12-04

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788862A

主分类号：H05B3/02(20060101)

分类号：H05B3/02(20060101);H05B3/74(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20181220 JP 2018-238226"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.13#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：陶瓷加热器10具备内置有内周侧和外周侧电阻发热体22、24的陶瓷板20和在其背面20b接合的筒状轴40。长孔26从陶瓷板20的起点26s开始延伸至陶瓷板20的外周部的终端位置26e。长孔26的入口部分成为槽26a。长槽26a以从起点26s开始直至扩张区域20f的方式设置。端子22a、22b、24a、24b设置在轴内区域20d中长槽26a以外的位置。

主权项：1.一种陶瓷加热器，具备：具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板；筒状轴，具有小径部和大径部，所述大径部的端面与所述陶瓷板中与所述晶片载置面相反侧的背面接合；埋设在所述陶瓷板的内周部的内周侧电阻发热体；埋设在所述陶瓷板的外周部的外周侧电阻发热体；附属部件，包括所述内周侧电阻发热体的一对端子和所述外周侧电阻发热体的一对端子；以及从所述陶瓷板的所述背面中所述小径部的内侧区域的起点开始直至所述陶瓷板的外周部的预定终端位置为止的长孔，所述筒状轴的内部空间具有直径与所述小径部的内径相同的圆筒空间以及在所述圆筒空间的外侧被所述大径部所包围的环状的扩张空间，所述长孔的入口部分为长槽，所述长槽以从所述起点开始直至所述陶瓷板的所述背面中所述扩张空间内的扩张区域的方式设置，所述附属部件设置在所述陶瓷板的所述背面中所述小径部的内侧区域且为所述长槽以外的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本碍子株式会社 陶瓷加热器

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