申请/专利权人：株式会社斯库林集团;栗田工业株式会社

申请日：2019-02-20

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788660A

主分类号：H01L21/304(20060101)

分类号：H01L21/304(20060101)

优先权：["20180323 JP 2018-055666"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本发明提供一种减少通过了溶解模块的处理液中的粒子量的技术。处理液供给单元3是将已由过滤器31a～过滤器31d过滤的处理液供给至多个处理单元2中的装置。供给阀33插装于与过滤器31a～过滤器31d连接的一次侧供给配管32上。另外，在一次侧供给配管32中的供给阀33的一次侧连接有排液配管41。而且，排液阀42插装于排液配管41上。控制部52对应于处理液中的粒子量，将供给阀33关闭，并将排液阀42打开，由此将处理液经由溶解模块30及一次侧供给配管32及排液配管41而排液。

主权项：1.一种处理液供给装置，是供给处理液的处理液供给装置，其包括：溶解模块，使气体溶解于处理液的原液中；一次侧供给配管，其一端与所述溶解模块的二次侧连接；过滤器，与所述一次侧供给配管的另一端连接，对所述处理液进行过滤；二次侧供给配管，与所述过滤器的二次侧连接，形成通过了所述过滤器的所述处理液通过的流路；排液配管，与所述一次侧供给配管连接，将所述处理液输送至排液部中；切换部，设置于所述一次侧供给配管上，在所述溶解模块与所述过滤器连通的状态、及所述溶解模块与所述排液部连通的状态之间进行切换；粒子测定部，设置于所述切换部的一次侧，测定通过所述一次侧供给配管的所述处理液中的粒子量；以及控制部，对应于由所述粒子测定部所测定的所述粒子量，控制由所述切换部所进行的切换动作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团;栗田工业株式会社 处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法

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