申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-01-28

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111788868A

主分类号：H05G2/00(20060101)

分类号：H05G2/00(20060101)

优先权：["20180228 EP 18159200.7"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.19#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：描述了一种激光产生等离子体类型的辐射源SO。所述辐射源SO包括液滴发生器3a，所述液滴发生器3a被配置成提供燃料液滴60。所述辐射源SO包括激光系统1，所述激光系统1被配置成提供前置脉冲和主脉冲。所述前置脉冲能够被操作以调节所述燃料液滴60以供接收主脉冲。所述主脉冲能够被操作以将调节后的燃料液滴60转换成等离子体。所述辐射源SO包括感测系统16，所述感测系统16被配置用于感测所述燃料液滴60的空间质量分布的振荡的特性。所述辐射源SO包括控制系统44，所述控制系统44能够被操作以在所感测的特性的控制下调整所述前置脉冲的偏振。所述前置脉冲的偏振可以影响调节后的燃料液滴60的空间质量分布。

主权项：1.一种激光产生等离子体类型的辐射源，包括：液滴发生器，所述液滴发生器被配置成提供燃料液滴；激光系统，所述激光系统被配置成提供第一激光辐射和第二激光辐射，其中所述第一激光辐射能够被操作以调节所述燃料液滴以供接收所述第二激光辐射，并且其中所述第二激光辐射能够被操作以将调节后的燃料液滴转换成等离子体；感测系统，所述感测系统被配置成感测所述燃料液滴的空间质量分布的振荡的特性；以及控制系统，所述控制系统能够被操作以在所感测的特性的控制下调整所述第一激光辐射的偏振。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 辐射源

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