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【发明公布】硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法_亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司_202010740661.3 

申请/专利权人:亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司

申请日:2020-07-27

公开(公告)日:2020-10-16

公开(公告)号:CN111774956A

主分类号:B24B5/50(20060101)

分类号:B24B5/50(20060101);C01B33/035(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.20#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要:本发明提供了一种硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法,涉及多晶硅生产技术领域,该硅芯沿其轴向设有多个间隔设置的凹陷部,凹陷部沿垂直于硅芯的轴向向内形成周向凹陷部。该硅棒制备装置包括还原炉和硅芯,硅芯安装在还原炉内。该硅棒制备方法包括沿硅芯的轴向量取所需长度并设置标记点;在标记点处构建多个凹陷部;将硅芯安装在还原炉内生长,待硅棒生长到一定直径后停炉;取出生长到一定直径的硅棒,通过敲击的方式获得所需尺寸的硅棒。解决了现有技术中存在的硅棒在人工敲砸时容易直接敲成碎块,进而造成浪费的技术问题。

主权项:1.一种硅芯,其特征在于,所述硅芯100沿其轴向设有多个间隔设置的凹陷部,所述凹陷部沿垂直于所述硅芯100的轴向向内形成周向凹陷部110。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法

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