申请/专利权人：阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请日：2019-12-27

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN211678996U

主分类号：B08B3/02(20060101)

分类号：B08B3/02(20060101);B08B3/12(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2022.12.06#未缴年费专利权终止;2020.10.16#授权

摘要：本实用新型提供了一种硅片清洗系统，包括集成清洗槽、储液装置、废液回收装置以及控制装置，所述集成清洗槽具有与储液装置管路连接的喷淋机构以及用于进行超声清洗的超声振动机构，所述喷淋机构与所述控制装置控制连接，以使得所述喷淋机构的喷淋水压可调；硅片经喷淋机构进行首次喷淋清洗后在超声振动机构的超声作用下进一步分离硅片表面的污物，硅片清洗后的废液经管路排放至废液回收装置中进行处理及再次利用。本实用新型的硅片清洗系统的喷淋压力可调且可对硅片清洗过程中产生的废液进行在线处理及回收，在保证硅片清洗系统的实用性的同时减小了占地面积，达到了降低硅片清洗成本的目的。

主权项：1.一种硅片清洗系统，包括集成清洗槽、储液装置、废液回收装置以及控制装置，其特征在于：所述集成清洗槽具有与储液装置管路连接的喷淋机构以及用于进行超声清洗的超声振动机构，所述喷淋机构与所述控制装置控制连接，以使得所述喷淋机构的喷淋水压可调；硅片经喷淋机构进行首次喷淋清洗后在超声振动机构的超声作用下进一步分离硅片表面的污物，硅片清洗后的废液经管路排放至废液回收装置中进行处理及再次利用。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 硅片清洗系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD