申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2019-04-09

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111790710A

主分类号：B08B13/00(20060101)

分类号：B08B13/00(20060101);B08B3/08(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.22#授权;2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：本发明公开了一种位置转换装置和清洗设备。包括位置转换槽，用于容纳各待处理件；若干组承载件，每组均包括若干个子承载件，每个子承载件均用于承载对应的待处理件；若干个调距组件，对应所述若干组承载件设置，每个调距组件均能够驱动对应的一组承载件内的各子承载件移动，以使得该组内相邻两个子承载件之间的间隔在预设初始间隔和预设目标间隔之间切换；若干个调位组件，至少一组所述承载件能够被对应的所述调位组件驱动移入或驶出所述目标抓取位。可以有效解决花篮在工艺过程中间距不易调节问题、从工艺槽到甩干机转换困难的问题、工艺槽设计尺寸的问题、提升了机台工作效率。

主权项：1.一种位置转换装置，其特征在于，包括：位置转换槽，用于容纳各待处理件，所述位置转换槽内具有预设的目标抓取位；若干组承载件，每组所述承载件均包括若干个子承载件，每个所述子承载件均用于承载对应的所述待处理件；若干个调距组件，对应所述若干组承载件设置，每个所述调距组件均能够驱动对应的一组承载件内的各子承载件移动，以使得该组承载件内相邻两个子承载件之间的间隔在预设初始间隔和预设目标间隔之间转换；若干个调位组件，至少一组所述承载件能够被对应的所述调位组件驱动移入或驶出所述目标抓取位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 位置转换装置和清洗设备

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