申请/专利权人：MKS韩国株式会社

申请日：2019-06-27

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111801766A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101);H03H7/38(20060101)

优先权：["20190207 KR 10-2019-0014594"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.25#授权;2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：频率调谐阻抗匹配方法包括分析由用户设置的起始驱动频率和RF输出信号，以改变驱动频率。具体地，可以使用在第n个脉冲中测量的导纳的作为虚部的电纳来预测下一频率。因此，可以高速地完成阻抗匹配，或者可以高速地达到最佳频率。

主权项：1.脉冲式可变频率RF发生器的驱动频率的控制方法，脉冲式可变频率RF发生器利用具有交替的接通时段T_ON和断开时段T_OFF的脉冲向负载提供RF功率，并且包括在接通时段T_ON中改变驱动频率的控制环，控制方法包括：改变第n个脉冲的接通时段T_ONn中的驱动频率fn,m；通过使用第n个脉冲的接通时段T_ONn的导纳来预测第n+1个脉冲的接通时段T_ONn+1的驱动频率；并且在第n+1个脉冲的接通时间T_ONn+1中依照所预测的驱动频率fn+1,1提供脉冲式可变频率RF发生器的RF输出，其中，fn,m是第n个脉冲的接通时段T_ONn中的第m个处理号中的驱动频率，n表示脉冲序号，m是1至q的正整数，并且m表示如下指数，该指数指示用于改变接通时段T_ON中的驱动频率的控制环的处理号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： MKS韩国株式会社 脉冲式可变频率RF发生器的驱动频率的控制方法

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