申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2020-03-02

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111796122A

主分类号：G01Q60/00(20100101)

分类号：G01Q60/00(20100101);G01Q30/00(20100101)

优先权：["20190404 JP 2019-072088"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.29#授权;2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：本发明提供一种表面分析装置。驱动机构45以测量部20与试样台30的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部20和试样台30相对性地位移。在第2位置关系时，试样台30自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置201包含生成向扫描器32供给的高电压的高电压生成电路203。在第2位置关系时，第1机械式开关253不使电源202的电压向高电压生成电路203供给。

主权项：1.一种表面分析装置，其包括：试样台，其用于载置试样；试样台保持部，其保持所述试样台；测量部，其包含能够配置为与所述试样台相对的悬臂以及用于驱动所述悬臂的悬臂驱动部；驱动机构，其用于以所述测量部与所述试样台的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使所述测量部和所述试样台相对性地位移；控制装置；以及第1机械式开关，所述试样台包含扫描器和试样载置部，所述测量部收纳于上部壳体，在所述第1位置关系时，所述试样台收纳于下部壳体，在所述第2位置关系时，所述试样台自所述下部壳体的内部暴露于外侧，所述控制装置包含与电源连接并生成向所述扫描器供给的高电压的高电压生成电路，在所述第1位置关系时，所述第1机械式开关使所述电源的电压向所述高电压生成电路供给，在所述第2位置关系时，所述第1机械式开关不使所述电源的电压向所述高电压生成电路供给。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 表面分析装置

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