申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-04-01

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111799206A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101)

优先权：["20190409 JP 2019-074057"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.03.25#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：提供剥离装置，在带剥离装置中从工件剥离保护部件并废弃的情况下，作业者不会由于对所剥离的保护部件进行搬送的搬送机构而受伤，并且不使装置停止而连续地实施对工件粘贴划片带等以及从工件剥离保护部件。剥离装置1具有：箱2，其配设于剥离装置内，具有供剥离单元4所剥离的保护部件投下的开口20，对保护部件进行回收；单元5，其能够使箱移动至投入保护部件的装置内投入位置和取出保护部件的装置外取出位置；以及斜面6，其形成为当为了将所回收的保护部件取出而将箱定位于取出位置时使剥离单元所剥离并投下的保护部件落入到箱中，无论箱定位于投入位置或取出位置中的哪个位置，均能够将保护部件回收至箱中。

主权项：1.一种剥离装置，其至少具有：保持工作台，其对上表面被片状的保护部件覆盖的板状工件的下表面进行保持；以及剥离单元，其将该保护部件从该保持工作台所保持的板状工件剥离，其中，该剥离装置具有：回收箱，其配设于该剥离装置内，具有供该剥离单元所剥离的该保护部件投下的开口，对该保护部件进行回收；移动单元，其能够使该回收箱移动至将该保护部件投入的位于该剥离装置内的投入位置和将该保护部件取出的位于该剥离装置外的取出位置；以及斜面，其形成为当为了将回收至该回收箱的该保护部件取出而将该回收箱定位于该取出位置时使该剥离单元所剥离并投下的该保护部件落入到该回收箱中，无论该回收箱定位于该投入位置或该取出位置中的哪个位置，均能够将该保护部件回收至该回收箱中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 剥离装置

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