申请/专利权人:意法半导体(图尔)公司
申请日:2020-04-03
公开(公告)日:2020-10-20
公开(公告)号:CN111799254A
主分类号:H01L27/02(20060101)
分类号:H01L27/02(20060101);H01L29/06(20060101)
优先权:["20190405 FR 1903659"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开
摘要:本公开的实施例涉及针对静电放电保护的器件。第一导电类型的半导体衬底被涂覆有第二导电类型的半导体层。第二导电类型的掩埋区域形成在半导体衬底与半导体层之间的界面。第一导电类型的第一阱和第二阱提供在半导体层中。第二导电类型的第二区域在第一阱中形成。第二导电类型的第三区域在第二阱中形成。第一阱、半导体层、第二阱和第三区域形成第一横向晶闸管。第二阱、半导体层、第一阱和第二区域形成第二横向晶闸管。掩埋区域和半导体衬底形成齐纳二极管,该齐纳二极管设置横向晶闸管的触发电压。
主权项:1.一种针对静电放电的保护器件,包括:第一导电类型的半导体衬底;第二导电类型的半导体层,所述半导体层涂覆所述半导体衬底;所述第二导电类型的掩埋区域,所述掩埋区域在所述半导体衬底与所述半导体层之间的界面处,具有大于所述半导体层的掺杂水平的掺杂水平;所述第一导电类型的第一阱和第二阱,在与所述半导体衬底相反的表面处的所述半导体层中形成;所述第二导电类型的第二区域,在与所述半导体衬底相反的所述表面处的所述第一阱中形成;以及所述第二导电类型的第三区域,在与所述半导体衬底相反的所述表面处的所述第二阱中形成;所述器件的第一连接端子,被连接到所述第一阱和所述第二区域;所述器件的第二连接端子,被连接到所述第二阱和所述第三区域;其中所述第一阱、所述半导体层、所述第二阱和所述第三区域形成第一横向晶闸管;其中所述第二阱、所述半导体层、所述第一阱和所述第二区域形成第二横向晶闸管;并且其中所述掩埋区域与所述衬底的PN结形成具有雪崩电压的齐纳二极管,所述雪崩电压设置所述保护器件的触发阈值。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 意法半导体(图尔)公司 针对静电放电保护的器件
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