申请/专利权人：株式会社荏原制作所

申请日：2020-04-03

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111799211A

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：["20190404 JP 2019-071877"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.05#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：本发明提供一种基板支承装置及基板清洗装置，本发明的基板支承装置100具有：支承部10，该支承部10用于支承基板W；移动部50，该移动部50抵接于所述支承部10，并用于使所述支承部10沿着轴线方向移动；流体管60，该流体管60的至少一部分设于所述移动部50内，供流体流动，且当所述移动部50抵接于所述支承部10时，通过所述支承部10覆盖流出口61；以及检测部90，该检测部90检测前述流体的状态。

主权项：1.一种基板支承装置，其特征在于，具备：支承部，该支承部用于支承基板；移动部，该移动部抵接于所述支承部，并用于使所述支承部沿着轴线方向移动；流体管，该流体管的至少一部分设于所述移动部内，供流体流动，且当所述移动部抵接于所述支承部时，通过所述支承部覆盖流出口；以及检测部，该检测部检测所述流体的状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社荏原制作所 基板支承装置及基板清洗装置

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