申请/专利权人：艾尔芯思科技股份有限公司

申请日：2018-12-20

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111819660A

主分类号：H01L21/027(20060101)

分类号：H01L21/027(20060101);B41M1/30(20060101);B44C1/16(20060101);B41M3/12(20060101);H01L27/15(20060101);H01L21/306(20060101);H01L21/3213(20060101)

优先权：["20171222 KR 10-2017-0178701"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明涉及一种用于将对象转印到目标基板的转印方法，尤其涉及一种使用变形膜的转印方法，其特征在于，包括：第一步骤，在源基板上形成对象；第二步骤，将变形膜安置在形成有对象的源基板上；第三步骤，将对象嵌入变形膜内部；第四步骤，在源基板中分离将待转印的对象以将转印对象集成在变形膜的内部或表面，并从源基板分离集成有转印对象的变形膜；以及第五步骤，将集成在变形膜的转印对象转移至目标基板。其优点在于，通过将对象集成在变形膜内部并转移至目标基板，可以将由单一或不同形状和不同材料制成且具有不同功能的各种尺寸的对象以大量阵列形式或单个对象形式转印至目标基板。

主权项：1.一种使用变形膜的转印方法，其特征在于，包括：第一步骤，在源基板上形成对象；第二步骤，将变形膜安置在形成有所述对象的源基板上；第三步骤，将所述对象嵌入所述变形膜内部；第四步骤，在所述基板中分离将待转印的对象以下称为“转印对象”以将所述转印对象集成在所述变形膜的内部或表面，并从所述源基板分离集成有所述转印对象的变形膜；以及第五步骤，将集成到所述变形膜的转印对象转移至目标基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾尔芯思科技股份有限公司 使用变形膜的转印方法

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