【发明公布】研磨液、研磨液套剂和研磨方法_日立化成株式会社_201880090885.5 

申请/专利权人:日立化成株式会社

申请日:2018-09-25

发明/设计人:岩野友洋

公开(公告)日:2020-10-23

代理机构:上海华诚知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN111819263A

代理人:杜娟

主分类号:C09K3/14(20060101)

地址:日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号

分类号:C09K3/14(20060101);H01L21/304(20060101)

优先权:["20180322 JP PCT/JP2018/011464","20180726 JP PCT/JP2018/028105"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.10.23#公开

摘要:一种研磨液,其含有磨粒、羟基酸、多元醇和液状介质,磨粒的ζ电位为正,羟基酸具有1个羧基和1~3个羟基。

主权项:1.一种研磨液,其含有磨粒、羟基酸、多元醇和液状介质,其中,所述磨粒的ζ电位为正,所述羟基酸具有1个羧基和1~3个羟基。

全文数据:

权利要求:

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