【发明公布】保护装置、具有至少一个保护装置的晶圆运输容器、具有该保护装置的保护系统及方法_徽拓真空阀门有限公司_201880090997.0 

申请/专利权人:徽拓真空阀门有限公司

申请日:2018-03-22

发明/设计人:弗洛里安·埃恩;马丁·内策尔;安德列亚斯·霍费尔

公开(公告)日:2020-10-23

代理机构:上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)

公开(公告)号:CN111819677A

代理人:尹洪波

主分类号:H01L21/673(20060101)

地址:瑞士哈格

分类号:H01L21/673(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.10.23#公开

摘要:本发明提供一种保护装置,特别是用于晶圆运输容器的保护装置,其具有至少一个正配合单元10,该正配合单元10配置为至少用于保护晶圆运输容器16的晶圆运输容器开启元件14,该晶圆运输容器开启元件14藉由关闭机构12保持在其关闭位置。

主权项:1.一种保护装置,特别是用于晶圆运输容器的保护装置,具有配置为至少用于保护晶圆运输容器16的晶圆运输容器开启元件14的至少一个正配合单元10,所述晶圆运输容器开启元件14藉由关闭机构12保持在其关闭位置。

全文数据:

权利要求:

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