申请/专利权人：徽拓真空阀门有限公司

申请日：2018-03-22

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111819677A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.08#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明提供一种保护装置，特别是用于晶圆运输容器的保护装置，其具有至少一个正配合单元10，该正配合单元10配置为至少用于保护晶圆运输容器16的晶圆运输容器开启元件14，该晶圆运输容器开启元件14藉由关闭机构12保持在其关闭位置。

主权项：1.一种保护装置，特别是用于晶圆运输容器的保护装置，具有配置为至少用于保护晶圆运输容器16的晶圆运输容器开启元件14的至少一个正配合单元10，所述晶圆运输容器开启元件14藉由关闭机构12保持在其关闭位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 徽拓真空阀门有限公司 保护装置、具有至少一个保护装置的晶圆运输容器、具有该保护装置的保护系统及方法

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