申请/专利权人：国立研究开发法人理化学研究所

申请日：2019-01-24

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111819485A

主分类号：G02B7/28(20060101)

分类号：G02B7/28(20060101);G02B7/32(20060101);G02B21/26(20060101);G03B13/36(20060101);H04N5/225(20060101);H04N5/232(20060101)

优先权：["20180214 JP 2018-024408"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.29#授权;2020.12.29#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：自动对焦装置，包括：支撑载置试样20的玻璃部件19的载物台ST；观察试样20的放大光学系统L2、HM、DM、OL；经过放大光学系统对试样20发射光的光源装置11、M、13；配置在和放大光学系统的试样20相反的位置，限制从光源装置发射的发射光的光圈IR；经由放大光学系统接收反射光的AF用相机22，该反射光为经由光圈IR以及放大光学系统到达玻璃部件19的发射光在反射面S所反射的反射光。光源装置相对于放大光学系统的轴以非零的角度φ发射光。控制装置100调整载物台ST的位置，以使被拍摄的遮蔽物的像的位置和目标位置一致。通过设置这种结构，能够实现高速的自动对焦。

主权项：1.自动对焦装置，用于具有支撑载置观察对象物的透明部件的载物台，和对所述观察对象物进行观察的放大光学系统的光学装置，包括：光源装置，经过所述放大光学系统对所述观察对象物发射光；遮蔽物，相对于所述放大光学系统，配置在和所述观察对象物相反的位置，限制从所述光源装置发射的发射光；光检测装置，经由所述放大光学系统接收反射光，所述反射光为经由所述遮蔽物以及所述放大光学系统到达所述透明部件的反射面的、来自所述光源装置的发射光在所述反射面所反射的反射光；控制装置，对所述载物台或者所述放大光学系统的位置进行控制；所述控制装置基于使被所述遮蔽物限制的来自所述光源装置的发射光以多种不同的条件入射到所述观察对象物而得到的所述遮蔽物的反射光，调整所述载物台或者所述放大光学系统的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国立研究开发法人理化学研究所 自动对焦装置和具备其的光学装置以及显微镜

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