申请/专利权人：欧菲微电子技术有限公司

申请日：2020-05-29

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111812428A

主分类号：G01R31/00(20060101)

分类号：G01R31/00(20060101);G01M11/08(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2022.07.08#发明专利申请公布后的撤回;2020.12.11#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明提出一种检测装置，用于检测工件，所述工件具有检测部，所述检测部包括至少一个第一检测区域和至少一个第二检测区域，所述检测装置包括：第一感应机构，用于对所述第一检测区域施加预设压力，并检测所述第一检测区域受所述预设压力后的形变量；第二感应机构，用于检测所述第一检测区域受所述预设压力后所述第二检测区域的振幅；承载件，所述第一感应机构和所述第二感应机构均与所述承载件相连，所述承载件与所述工件可相对移动，以使所述第一感应机构对应于任一所述第一检测区域、所述第二感应机构对应于任一所述第二检测区域。本发明同时提供一种检测方法。

主权项：1.一种检测装置，其特征在于：用于检测工件，所述工件具有检测部，所述检测部包括至少一个第一检测区域和至少一个第二检测区域，所述检测装置包括：第一感应机构，用于对所述第一检测区域施加预设压力，并检测所述第一检测区域受所述预设压力后的形变量；第二感应机构，用于检测所述第一检测区域受所述预设压力后所述第二检测区域的振幅；承载件，所述第一感应机构和所述第二感应机构均与所述承载件相连，所述承载件与所述工件可相对移动，以使所述第一感应机构对应于任一所述第一检测区域、所述第二感应机构对应于任一所述第二检测区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 欧菲微电子技术有限公司 检测装置及检测方法

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