申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-06-01

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111805410A

主分类号：B24B37/005(20120101)

分类号：B24B37/005(20120101);B24B37/34(20120101);B24B49/12(20060101);B24B37/10(20120101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.07.29#发明专利申请公布后的驳回;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本申请公开了一种研磨系统，包括：壳体，具有至少一个操作窗口；至少一个研磨装置，位于壳体内部，研磨装置包括研磨头；控制装置，具有操作部，操作部位于壳体外部，以便于在壳体外部控制研磨头旋转；以及防护装置，用于检测至少一个操作窗口是否处于操作状态，并在至少一个操作窗口处于操作状态的情况下向控制装置发送提示信息，以便防止研磨头旋转，该研磨系统通过设置防护装置，保护了检修人员的人身安全。

主权项：1.一种研磨系统，其特征在于，包括：壳体，具有至少一个操作窗口；至少一个研磨装置，位于所述壳体内部，所述研磨装置包括研磨头；控制装置，具有操作部，所述操作部位于所述壳体外部，以便于在所述壳体外部控制所述研磨头旋转；以及防护装置，用于检测所述至少一个操作窗口是否处于操作状态，并在至少一个所述操作窗口处于操作状态的情况下向所述控制装置发送提示信息，以便防止所述研磨头旋转。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 研磨系统

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