【发明公布】控制系统和方法_ASML荷兰有限公司_201980017695.5 

申请/专利权人:ASML荷兰有限公司

申请日:2019-02-21

发明/设计人:H·P·戈德弗里德;F·埃弗茨;W·P·E·M·奥普特·鲁特

公开(公告)日:2020-10-23

代理机构:北京市金杜律师事务所

公开(公告)号:CN111819741A

代理人:董莘

主分类号:H01S3/13(20060101)

地址:荷兰维德霍温

分类号:H01S3/13(20060101);H01S3/134(20060101);G03F7/20(20060101);H01S3/097(20060101);H01S3/104(20060101)

优先权:["20180312 EP 18161160.9"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.10.23#公开

摘要:一种用于控制激光器的控制系统,包括:用于感测物理值的传感器,物理值指示由激光器发出的激光束的特性;开关;第一控制器和第二控制器。每个控制器被配置为:从传感器接收又一传感器值;基于接收到的又一传感器值调整接收到的设定点值以给出输出值;并且使激光器根据该输出值进行操作。开关被配置为在控制器之间切换,使得输出值以循环的方式从每个控制器被提供。

主权项:1.一种用于控制激光器的控制系统,所述控制系统包括:用于感测物理值的传感器,所述物理值指示由所述激光器发出的激光束的特性;开关;第一控制器和第二控制器,其中每个控制器被配置为:接收设定点值;从所述传感器接收又一传感器值;基于所接收到的又一传感器值调整所接收到的设定点值以给出输出值;使所述激光器根据所述输出值进行操作;其中:来自所述第一控制器的输出值不同于来自所述第二控制器的输出值;所述开关被配置为在所述控制器之间进行切换,使得输出值以循环方式从每个控制器被提供;所述控制器被配置为彼此通信;并且由所述第二控制器对所述设定点值进行的至少一个调整至少部分地通过由所述第一控制器对所述设定点值进行的至少一个调整而被确定。

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