申请/专利权人：贺利氏贵金属北美代顿有限责任公司

申请日：2019-03-14

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111819495A

主分类号：G03F7/039(20060101)

分类号：G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);C07C309/19(20060101);C07C309/09(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/20(20060101);G03F7/40(20060101)

优先权：["20180316 US 62/644,288"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.18#授权;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：提供了新型光酸产生剂化合物。还提供了包含新型光酸产生剂化合物的组合物。本公开进一步提供了制备和使用本文公开的光酸产生剂化合物和组合物的方法。所述化合物和组合物可用作化学放大抗蚀剂组合物中的光活性组分，用于各种微制造应用。

主权项：1.一种由式I表示的磺酸衍生物化合物： 其中X是H或–OH；且Y是选自式A或B的阳离子： 其中R1、R2和R3各自独立地选自由乙烯基、烯丙基、任选取代的C1-C20烷基和任选取代的C6-C15芳烷基组成的组，其中R1和R2可与它们所连接的硫连结在一起形成环；且n是1至10的整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 贺利氏贵金属北美代顿有限责任公司 在抗蚀剂应用中作为光酸产生剂的环状磺酸盐化合物

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