申请/专利权人：西安中科微精光子制造科技有限公司

申请日：2020-06-22

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111805099A

主分类号：B23K26/382(20140101)

分类号：B23K26/382(20140101);B23K26/06(20140101);B23K26/082(20140101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.02.22#授权;2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明公开了一种基于区域调制技术的激光扫描装置及扫描方法，包括以下步骤：激光发生组件中的激光器发射激光光束，经光路传输模块进行光束传输、整形，然后射向光束扫描组件的光束扫描模块；所述光束扫描模块进行光束扫描轨迹规划及扫描区域规划并将扫描轨迹及扫描区域规划传输至光束扫描控制模块，所述光束扫描控制模块结合扫描轨迹和激光器的实时输出功率进行实时规划及控制；光束扫描控制模块通过控制光束扫描模块实现已穿透区域关光、未穿透区域开光功能，避免加工时对壁的损伤。本发明实现了光束轨迹扫描位置与激光器能量之间的匹配，能够改善孔型形貌及加工质量，防止对壁损伤。

主权项：1.一种基于区域调制技术的激光扫描装置，其特征在于，包括：激光发生组件，所述激光发生组件用于发射激光光束及光束传输与整形，所述激光发生组件包括激光器和光路传输模块，所述激光器用于发射稳定的激光光束，所述光路传输模块用于实现光束的传输与整形；光束扫描组件，所述光束扫描组件用于实现光束扫描和扫描轨迹与光束能量之间的协同控制，所述光束扫描组件包括光束扫描模块和光束扫描控制模块，所述光束扫描模块用于实现光束的扫描，所述光束扫描控制模块用于扫描轨迹与光束能量之间的协同控制，所述光束扫描控制模块与所述激光器连接；聚焦模块，所述聚焦模块用于实现光束的聚焦。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安中科微精光子制造科技有限公司 一种基于区域调制技术的激光扫描装置及扫描方法

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