申请/专利权人：深圳中科飞测科技有限公司

申请日：2020-06-30

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN111812099A

主分类号：G01N21/88(20060101)

分类号：G01N21/88(20060101);G01N21/01(20060101);G01B11/24(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.10#实质审查的生效;2020.10.23#公开

摘要：本发明涉及一种检测设备及检测方法。本发明的检测设备，用于对待测物进行检测处理，其包括：第一检测模块，用于对所述待测物进行第一检测处理，获取所述待测物表面待测点沿预设方向的高度信息，所述预设方向为所述第一检测模块的光轴方向；第二检测模块，用于对所述待测物进行第二检测处理，获取所述待测物表面待测区的检测信息，所述第二检测模块被配置为在所述检测处理过程中根据所述高度信息进行聚焦处理。本发明的检测设备可以对待测点进行快速定位和聚焦，检测速度快。

主权项：1.一种检测设备，用于对待测物进行检测处理，其特征在于，包括：第一检测模块，用于对所述待测物进行第一检测处理，获取所述待测物表面待测点沿预设方向的高度信息，所述预设方向为所述第一检测模块的光轴方向；第二检测模块，用于对所述待测物进行第二检测处理，获取所述待测物表面待测区的检测信息，所述第二检测模块被配置为在所述检测处理过程中根据所述高度信息进行聚焦处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳中科飞测科技有限公司 检测设备及检测方法

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