【发明公布】检测设备及检测方法_深圳中科飞测科技有限公司_202010617714.2 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技有限公司

申请日:2020-06-30

发明/设计人:陈鲁;王天民;庞志亮

公开(公告)日:2020-10-23

代理机构:广州三环专利商标代理有限公司

公开(公告)号:CN111812099A

代理人:熊永强

主分类号:G01N21/88(20060101)

地址:518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

分类号:G01N21/88(20060101);G01N21/01(20060101);G01B11/24(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.10.23#公开

摘要:本发明涉及一种检测设备及检测方法。本发明的检测设备,用于对待测物进行检测处理,其包括:第一检测模块,用于对所述待测物进行第一检测处理,获取所述待测物表面待测点沿预设方向的高度信息,所述预设方向为所述第一检测模块的光轴方向;第二检测模块,用于对所述待测物进行第二检测处理,获取所述待测物表面待测区的检测信息,所述第二检测模块被配置为在所述检测处理过程中根据所述高度信息进行聚焦处理。本发明的检测设备可以对待测点进行快速定位和聚焦,检测速度快。

主权项:1.一种检测设备,用于对待测物进行检测处理,其特征在于,包括:第一检测模块,用于对所述待测物进行第一检测处理,获取所述待测物表面待测点沿预设方向的高度信息,所述预设方向为所述第一检测模块的光轴方向;第二检测模块,用于对所述待测物进行第二检测处理,获取所述待测物表面待测区的检测信息,所述第二检测模块被配置为在所述检测处理过程中根据所述高度信息进行聚焦处理。

全文数据:

权利要求:

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